tfc中文说明书后半部分.docx

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1、第三部分 TFCalc优化指南Introduction(介绍)Optimization Targets(优化目标)Broadband Designs(宽带膜系)High-Reflectance(Low-Transmittance) Designs(高反膜系)Controlling Endpoint Behavior(控制端点)Multi-Band Designs(多带膜系)Better:More Targets(更多目标)Inequality Targets#不等式目标Multiple Targets(多个目标)Color Targets(颜色目标)Derivative Targets(派生目

2、标)Global Optimization(全局优化)Starting Designs(开始设计)Best Desings(最佳设计)Other Local Minimums其他局部最小值Needle Optimization针优化方法Tumeling Method隧道优化方法Local Optimization Parameters拒不优化参数Optimizing Sensitivity优化灵敏度Goto Next SectionGoto above section介绍这部分的目的是帮助你生成最好的膜系。因为使用TFCalc的用户的水平不平均,从新手到专家。所以这部分所提供的信息范围从适合新

3、手到高手。在几乎所有的情况下,实际的膜系设计都要用到优化,这是因为理想条件(没有色散、没有吸收的材料、垂直入射、平均偏振等)是不存在的。了解优化过程的一个好的方法就是将它看成是一个控制问题;优化方法企图通过下列方法控制薄膜的输出:(1) 收集不同优化目标下的信息(2) 使用这些信息调整膜系的膜厚和/或折射率。所有的设计开始都是治标或需求,有时候,指标是非常明显的。设计者的工作就是将这些指标值翻译成TFCalc能够使用的输入值,以下是薄膜膜系物理模型所描述的输入:l 优化目标l 基底入射和出射介质l 使用的膜料l 层数l 光源l 探测器用户必须指定的优化参数l 全局优化global optimi

4、zationl needle/tunneling优化l 局部优化方法l 重复次数l 评价函数(merit function)l 公差本部分将讨论所有这些问题。优化目标(Optimization Targets)TFCalc接受不同的目标类型:l 反射率;l 透射率;l 吸收系数;l 光强;l 反射后相位变化;l 透射后相位变化;l Psi;l 上面量的1级、2级、3级偏差(与波长或波数有关);l 颜色l 光源对于颜色和光源目标,波长范围是从380 到 780 nm,对伊所有其他的目标类型,设计者必须给出目标的波长,此外,设计者必须指定下列目标的其它波长:l 入射角l 偏振l 目标值l 公差下面

5、我们将详细解释。宽带设计(Broadband Designs):工作在较宽的波长范围,优化目标应该是与波长或波数的,这是因为:(1)光谱曲线与波数的特征(最大值和最小值)和(2)优化方法需要膜系工作的整个光谱范围内精确的信息。这就是通常的规律:优化方法仅仅按照目标要求(波长范围、角度和偏振等)控制薄膜膜系。下面的图显示了辐射分布于波数的关系特征,上面图水平轴是波长(nm);底图显示相同的曲线,但水平轴是波数 (1/cm)。High-Reflectance (Low-Transmittance) Designs, 如果在宽带范围保持高反射率,使用介质膜料是很困难的。有2种方法:(1)使用一系列四

6、分之一膜堆 (见TFCalc举例部分)或 (2)使用优化找到非四分之一波长设计。这类膜系需要大量的膜层,因此膜系也更复杂。对于高反射率膜系,有许多的目标是非常重要的。为了看高反射率或透射率膜系的行为,最好是观察其光学强度,使用dB。在设计中,光线强度是一个重要的因素,因此使用强度目标是非常灵敏的。例如,使用目标不等式3表示透射率应该小于 0.1%。随着层数的增加,目标数也将必须增加,才能控制更复杂的膜系。控制端点行为(Controlling Endpoint Behavior):相当普遍,波长端点的膜系行为需要改善。以下考虑减反射膜系图。注意,端点的反射率显著增加,这个问题可以通过修改端点公差

7、来解决,也就是说,如果所有目标的公差是1.0,那么将端点公差设为 0.5,然后重新优化,则端点性能大大改善,下面的图显示其改善后的波形。注意,在其它光谱段反射率稍微增加了。通过这个例子,我们得出一个规律:如果膜系在优化后,行为需要改善,则应减小目标的公差。多带膜系设计(Multi-Band Designs):有时候需要2个或多个(也许不相邻)光谱带,许多传统的设计均属于这一类问题,如带通滤波器、边缘滤波器、陷波滤波器。也包括许多新的膜系:多带减反射、多带带通滤波器、多带带通和多带介质滤波器。这些膜系设计比仅有一个光谱范 围的更困难。多带设计中的一个共同的问题是,一个或多个带的性能不满足目标的要

8、求。通常,可以使用不平衡目标来找到这个问题。如果一个带有100个目标,并且另一个带有10个目标 (并且公差是相同的),那么对于第1个带,优化方法非常好,另一个因素是每个带的尺寸(多少波数宽),带宽越宽需要的目标就越多。如果用Wi表示第i个目标的公差,Nj表示第j个带的宽度(波数),则如果对于每个带均有:则目标是平衡的(式中对第j个带所有的目标求和)。这个分析不考虑薄膜的物理性质。可能有物理原因,为什么一个带比另一个带更难控制。我们总结了如下规则:较好:更多的目标(Better: More Targets):当有疑问是,最好使用更多的目标。这是因为目标数多:(1)给优化方法提供更多的信息;(2)

9、评价函数变得非常光滑,将加速优化过程;(3) it is less likely that the 优化方法很少能快速地达到局部最小值,(4)好的设计将自动找到。目标越多,消耗的时间就越长,占用更多的计算机内存。Inequality Targets:在许多情况下,不等式目标是很有用的,例如:(1) 一个AR膜系,在380nm-780nm波段反射率 1% from 380 to 780 nm;(2) 彩色滤波器(x,y)颜色可能是(20.1, 30.1),它可以处理为四个不等号; (3) 分光片膜系反射率501%。不等式目标的优点就是它告诉优化方法什么是最重要的。例如,如果设计一个膜系的目的是在

10、380nm-780nm波段的反射率 97.5%图:多个目标(Multiple Targets):TFCalc计算在同样波长和角度条件下进行。意思是,如果设计者在相同的波长和角度条件下使用多个目标(如反射率和反射后的相位改变),将不会将第优化的速度。颜色目标(Color Targets):设计者能够控制膜系反射或投射光的颜色,这一点在许多可见光波段的应用是非常重要的。但设置;颜色目标时,TFCalc自动生成380nm-780nm波段,增量为5nm的隐含目标,注意,如果增量为10 nm,那么色坐标的计算速度会加快,但精度降低。最终的设计设置10nm比较合理。派生目标(Derivative Targ

11、ets):设计者可以生成控制性能曲线形状的目标。注意:如果设计使用折射率、光源或探测器数据是从包含对于一个数据点的表中获得的,那么在表中该波长下生成的派生目标将是不连续的;如果表中数据非常平滑,则不连续将不会是一个问题。对于光滑的派生目标,使用色散公式或不变折射率膜料。全局优化(Global Optimization)TFCalc全局搜索有以下几种用途:l 寻找好的设计开始l 寻找最佳设计l 寻找其他的局部最佳设计开始设计(Starting Designs):输入简单的设计,例如(HL)5,全局搜索能够很快找到几个能够用局部优化方法优化的膜系。最好的设计(Best Design):通常,很难找

12、到全局最小最好的设计。如果找到了最小的,总是需要一个数量,例如“使用7层由TiO2和SiO2组成的膜系,这个设计可能是做好的”。最佳设计的方法:l 开始非优化设计,使用优化设计将采用全局搜索;l 在Global Search Parameters参数对话框中使用“Exclude Designs Having a Deviation ” 选项,全局搜索不会找寻远远偏离目标的设计,查找最接近底部的“谷”(最小值)。保证不要将偏差设置的太小,否则全局搜索将很难找到可接受的设计。其他的局部最小值(Other Local Minimums):当找到局部最小值时,只要将 “Maximum Change f

13、rom Current Design”值设为一个小的数值(例如10%),全局搜索步骤可以用来搜索接近局部最小值的值。.Needle OptimizationNeedle优化是最近发展起来的最重要的薄膜膜系设计优化方法。Appendix B中已经简单介绍了他的功能,在这里我们将继续介绍:l 记住,当使用needle优化时,需要执行;一系列局部优化,因此,所需的计算时间比simple局部优化要长;l Needle方法找到的设计称为最佳设计,意思是(使用给定目标和膜料),设计不可能再通过needle方法进一步优化;l 如果needle方法是从一个单层开始,厚度将确定最终找到的设计。例如,设计一个AR

14、膜系,其基底是玻璃(n=1.52),波长范围是380-780 nm,所用膜料折射率 L=1.38和 H=2.3。初始厚度L在一个范围内都导致相同的结果,这里是结果:膜层初始厚度(nm)所有膜层最终厚度(nm)92-120118130-260145280-540523550-840805选择最接近你期望的终厚度值的初始厚度,例如初始膜层厚度5000 nm。如果你不清楚膜系需要多厚,可以使用Needle/Tunneling方法生产一系列膜层。l Appendix B规定,如果初始膜层与基底之间比较是大的最好。也就是说,如果基底折射率低,使用H膜料作为初始膜层。尽管这种方法很好,但是有些膜系不能采用

15、这种方法获得;l 如果在膜系设计中使用多于 2 种膜料,其中一个膜料与基地折射率相同,即L与基底相同,使用L最为初始膜层。这样很容易增加其他与基底临近的L膜层就能增加膜系的厚度;l 如果希望反射率更高,则可以使用同时增加多层( “Add Many Layers Simultaneously”)选项,对于其他需要多层的膜系,也可以使用该选项;l 对于某些膜系(垂直入射ARs),可以证明2种膜料足够可以设计出满意的膜系,其他的膜系(如宽带非偏振分光镜)则至少需要3种膜料;l 如果某些膜系包含非常薄的H 或 L层,则可以用第三种膜料(M)来代替,该膜料折射率介于H 和 L之间。M膜层将比其代替的膜料

16、的膜层厚度要厚,并且性能不变;l 因为(a) 包含薄的膜层难以在镀膜时实现和(b)needle优化方法随着他接近最佳设计时产生薄膜层,最好在到达最佳设计时停止needle优化,用局部优化替代,这样甚至能得到好的结果;l 对于某些膜系,特别是那些开始膜层非常厚的,通过needle优化增加的膜层仍然是薄的,直至已经增加了大量的膜层。这是另一种情况,通过 “Add Many Layers Simultaneously”选项加速优化。隧道方法(Tunneling Method):needle优化方法的扩展,利用needle优化增加更多的膜层,重复改变膜层厚度,能够改善任何膜系设计。这里是对于利用tun

17、neling方法的建议:l 已经输入了足够的优化目标。Tunneling将增加膜层的厚度,膜系结构更复杂,因而必须要更多的目标控制;l 使用不等号目标,并且在Tunneling Parameters对话框中将最大允许偏差值设为0.0,这样tunneling 优化将一直进行直至达到目标;l 如果tunneling优化因为达到最大厚度而停止,则在上述对话框中增加最大厚度,并重新开始优化;l 允许tunneling优化方法生成的膜厚比期望值厚。在许多情况下,这样做能够使tunneling优化找到其它的设计。;l Tunneling优化产生一系列设计后,可以检查他们并且确定复杂性、能否制造以及相关的性

18、能。局部优化参数(Local Optimization Parameters)正如在Set Optimization Parameters 部分所述,有三种局部优化方法:梯度(Gradient)、简单(Simplex)和可变评价函数(Variable Metric)。对于大多数设计而言,我们推荐下面的设置:方法:Variable Metric。该方法通常比Gradient速度更快。如果优化大膜层的膜系,使用Gradient方法能减少内存的使用。这些方法可能针对不同的设计。最大重复次数(Max. Iterations):1000。使用大的数字,可以使优化方法找到局部最小值。公差:(Error T

19、olerance):1.0e-6。使用较大的值将导致到达局部最小值之前优化停止。为了使设计最接近于最小值,使用公差1.0e-8。最大改变(Max. Change (%)):10.0。该值仅对于Simplex方法有用,对于其他方法没有意义。乘方(Power):2。大多数情况下取该值结果都不错。如果最终设计;为了产生有相同纹波的膜系,该值取16,即power = 16;Stop Optimizing Zero-Thickness Layers:Yes.。0厚度层时停止优化;Display Index Profile While Optimizing:Yes。 尽管该选项不需要设置,但是折射率轮廓能

20、够使设计者了解折射率变化的情况。优化灵敏度(Optimizing Sensitivity)TFCalc 能够优化膜系设计的灵敏度,也就是说,能够找到一个设计,该设计对制造误差的灵敏度非常小。因为有许多过程需要计算,因此该优化是非常慢的。例如,下图显示的是450-650nm波段,4-层AR膜系设计灵敏度曲线(假设5% 的误差) 优化灵敏度后,膜系最坏的性能的情况已经改善:也可以减小颜色的灵敏度.对于更复杂的设计,改进可能更显著。第四部分 TFCalc实例介绍Antireflection FiltersSingle-LayerAR- 1Two-Layer V coatingAR- 2Two-Lay

21、er (W coating)AR- 3Three-LayerAR- 4Four-Layer Two-MaterialAR- 5Two-ZeroAR- 6Graded-IndexAR- 7Graded-Index, Equal RippleAR- 8Wide BandAR- 9Detector-RelativeAR-10Bandpass FiltersFabry-PerotBP- 1Phase ConjugateBP- 2Narrow-BandBP- 3Wide-BandBP- 4Beam Splitters NeutralBS- 1Cold MirrorBS- 2PolarizingBS- 3

22、NonpolarizingBS- 4Edge FiltersLong Wave Pass 1ED- 1Long Wave Pass 2ED- 2Long Wave Pass 3ED- 3Extended RejectionED- 4Extended Rejection, Two-SidedED- 5Short Wave PassED- 6Notch (or Minus) FiltersBoudotNF- 1RugateNF- 2Phase RetardersAchromatic, 1800PR- 1Achromatic, 2700PR- 2ReflectorsMetallicRF- 1Enha

23、nced MetallicRF- 2Dielectric 1RF- 3Wide-Band Dielectric 1RF- 4Dielectric 2RF- 5Dielectric 3RF- 6Wide-Band Dielectric 2RF- 7Wide-Band Dielectric 3RF- 8 返回上第二部分返回第三那部分Introduction下面显示了各种膜系,目的是:(1)显示TFCalc的特征和(2)给TFCalc用户提供方便,使其能够解决他们自己的问题。每一个例子都有一个说明、图以及注释。通常情况下,修改这些设计产生类似的膜系有三种方法:l 改变参考波长。如果将光学厚度设为优先

24、,那么膜系的特征将变化。例如在single-layer减方滤波片设计中,700nm波长下最小反射率 参考波长是700 nm;l 可以修改膜料、基底、出射介质和光源。许多例子都是在可见光波段,如果是红外波段,则膜料、基底必须选择能够透过红外的。做些改变,就可以得到红外波段的膜系。如果折射率不同,最好使用优化改变设计;l 许多设计都是基于膜堆公式例如(HL)9 1.2(HL)9。改变这些公式的乘方和因子以及膜系膜料就可以达到你的目的。当修改这些实例时,最好将你的设计另存为其他名称。注意:这些例子中某些对改变是非常灵敏的,因此,如果你的膜料设计与这些膜系的不同,你可以使用自定的折射率优化这些设计。注

25、意:这些设计膜层的厚度或配置可能很难或不可能镀膜。可能不是最终的产品设计。减方滤波片(Antireflection (AR) Filters)AR-1Single-Layer说明:这是最古老的AR设计。假定入射介质是空气,基底折射率Ns,膜层是由折射率小于Ns膜料组成的四分之一波长厚度的膜层,其反射在参考波长下最小。若膜层的折射率是Ns的平方根,则在参考波长处其反射为零。若Ns1.9,则不存在反射可以降到零的任何膜料。在这种情况下,我们需要两层的膜系。裸基底的反射率大约是4.2%,四分之一波长厚度的MgF2会将其在550nm处的反射降到大约1.3%。AR-2Two-Layer (V coati

26、ng)说明:一个两层膜的AR膜系比单层的在反射上有更多的控制。一个两层膜的滤波片可以在某单一波长处反射为0,这就是称其为V型膜系的原因。对于给定的两个膜料,有两种设计方法能够产生0反射。但此种膜系的缺点就在于0反射处波长对于加工误差很敏感,可以用本软件显示其敏感度来说明。此图显示的是两种设计的反射。一个相当厚的ZrO2膜层处在玻璃基板和MgF2膜层之间。为使反射降到0,可以用优化来确定两个膜层的厚度。AR-3Two-Layer (W coating)说明: 一个两层膜的AR膜系比单层的在反射上有更多的控制。一个两层膜的滤波片的另一特性是可使某一范围内的反射很低(但不为0)。这就是为什么称它为W

27、型膜系这是经典的H/2 L/4设计AR-4Three-Layer说明:一个三层膜的AR膜系比两层的在反射上可以有更多的控制。这种膜系的成功之处很大程度在于找到三种折射率可以和基底,入射介质相兼容的膜料。这是经典的M/4 H/2 L/4设计。它具有在一定程度上消除色差的优点。AR-5Four-Layer Two-Material说明:三层的AR膜系为了得到最好的性能,需要3种膜料,这是其弱点,也很难找到。现在,只要将贴着基底的那个膜层用等价的3层的膜堆取代,就可以克服这一缺点,这里的膜堆是由其它两种膜料组成的。Thelen依据W.Geffcken理论给出了不同基底的设计的表格。对于指定的基底和波

28、长范围,我们采用TFCalc可以很容易的设计出4层的膜系。细线表示的是用等价的膜堆HLH取代膜层1后的4层设计的反射曲线。在波长范围450-650nm内优化后,其反射就是粗的那条曲线。注意反射范围已经在00.5%变化,性能更好。AR-6Two-Zero说明:对于一个在两个波长处减反射的膜系来说,一个三层膜的设计便是其基础。这样的膜系在倍频处(即一处的波长是另一处的2倍)经常发生。通常的设计是使用三个四分之一波长厚度的膜层,用优化来调整两个膜层的折射率,在期望的两个波长处的反射为0。若调整后的折射率与实际膜料的不接近,则其中一层或两层都要被等价的LHL膜堆代替。在这种情况下,需要再次优化设计,以

29、校正因LHL膜堆带来的轻微色散造成的影响。这并不是一个倍频的例子;波长是600和1100。此时,我们允许优化来调整膜层的厚度和折射率。不同的折射率会被由ZrO2和MgF2组成的不同的膜堆所代替。同样的技术对各种各样的基底都有效。AR-7Graded-Index说明:正如Dobrowolski所述,均匀的膜系都适合高折射率的基板,例如GE。通常,非均匀膜层的折射率是单调的从基底变化到入射介质。直线型的,指数型的以及双曲线型的折射率轮廓与此都很相似。一个非均匀膜系可以用一系列折射率不同的均匀膜层模拟出来。然后用优化来改善这些离散的滤波片的性能。这是GE上的一个宽带的AR膜系。上面的曲线是最初的10

30、层的设计的反射,它的四分之一波长厚度的膜层的折射率线性地由1.35变化到3.735。通过优化,其反射得到了实质性的降低,如图中下面的曲线。AR-8Graded-Index,Equal Ripple说明:Thelen提出了一些有关具有均等波动属性的AR膜系生产的理论。但是,这些合成方法的一个基本问题是依赖于实际中不存在的折射率。一个可以替换的方法是用优化来创造一个均等波动的膜系。如,在前一页的Graded-Index设计中,在长波段处,反射升高了,这看起来很不顺眼。将优化目标改成不等式就可补救这一点。通过将优化目标改成R0.5,来改善GE上的这个宽带的AR膜系;然后,我们努力向均等波动设计的方向

31、优化,如上图所示。反射图以波数为函数来突出反射曲线的对称。AR-9Wide Band说明:通过增加膜层的数量,运用优化,设计宽带AR膜系还是有可能的。此图显示的是个21层膜系的反射率。基底材料是Ge,膜料是Ge和ZnS。其RMS评价函数的值是0.6%。AR-10Detector-Relative说明:若一个检波器的特性已知,则设计一个AR膜系还是有可能的。考虑到人眼对可见波段不同波长的敏感度不同,我们可以尽可能降低此膜系的反射光量。这是个四层的例子,我们通过优化使反射光量最小。细线是原始设计;粗线是优化后设计。反射光量由0.08%降到0.04%。Bandpass Filters BP-1Fab

32、ry-Perot说明:该滤波片实际上是2个镜子组成的腔。峰值宽度随着腔长或镜子上的膜层数的增加而减小。腔长必须是半波长的整数倍。如果制造误差导致峰值功率出现在比期望波长长的位置,则膜系使得峰值移到的波长位置。BP-2Phase Conjugate说明:此设计比起前面的Fabry-Perot滤波片来,对加工误差的敏感度要小些。主要峰值稍微偏离了参考波长。BP-3Narrow-Band说明:运用多个腔可以创建一个窄带滤波器。增加腔的尺寸可以增加曲线过度处的倾斜度,但这样做,会在一定程度上降低通过区域的宽度。这是个含有三腔的滤波器。BP-4Wide-Band说明:制造非常宽的带通滤波片的方法是镀2个

33、边带滤波器,长波通上方的短波通滤波器或基底2边的滤波器。这种方法的优点是很容易定位2个边带滤波器,很容易设计任意宽度的滤波器。此例子是由“Long Wave Pass 3 ”和“Shot Wave Pass”创造而来BS-1Neutral说明:此种滤波器的目的就在于将给定波段内的入射光束分成两部分。虽然50%-50%是最常见的分法,但其他比例的分法同样需要。入射角度可以是垂直的,也可以不是。在非垂直入射下,偏振的影响是个很重要的考虑因素。在非垂直入射下,此种膜系会被放置在两个棱镜之间,使得入射和出射介质一样。和减反射膜系一样,优化提供了最好的设计方式。如果使用介质膜料,我们可以按照垂直入射的情

34、况设计,然后调整膜层的厚度来适应其它的入射角度。这是个由TiO2和SiO2组成的8层的膜系,通过优化,可以在400-700nm处将光束分成50%-50%的比例。对于一个Cold Mirror,红外波段要通过,可见光波段要反射。用一个edge filter 也可以达到这个目的,但通常在截止处没必要像edge filter那样的陡峭。在一些应用中,反射光的颜色很重要。若光源已知,就已经对此膜系进行优化了。此种类型的另一个膜系- Hot Mirror,则是在红外波段反射,在可见光波段通过。这是由TiO2和SiO2组成的12层的膜系,通过优化,可以在400-700nm段反射,在800-2000nm段透

35、过。BS-3Polarizing 说明:斜移边带滤波片,并优化提高P偏振光透过率,就可以生成一个介质偏振光束分束片。用两种膜料在brewster(.布儒斯特角)处可以设计出最宽的偏振范围,但在其他角度处同样设计出这样的滤波器也并不困难。在525-565nm段优化一个edge filter。BS-4Nonpolarizing 说明:在非垂直入射下设计非偏振光束分束片是个困难的问题。Thelen阐明了几种理论方法,这给我们优化提供了一个好的开始。这是个17层的MgF2-AnS膜系,在45度时,在一个相当宽的波段内反射率20%。P和S分量都在目标反射率的1%范围之内。Edge FilterED-1L

36、ong Wave Pass 1说明:对于这类滤波器,目的是增大给定波长下面的透射率并减小它上面的透视率。这些膜系通常是(HL)p。膜系为A(0.5LH0.5L) 9B,其中A和B是膜层膜料,他的折射率运行改变。利用优化方法减小反射带的透射率以及增大通过带的透射率。膜层A和B可以采用等价膜堆合成。ED-2Long Wave Pass2说明:可以采用优化方法改善这类滤波器的性能。膜系为A(0.5LH0.5L) 12,头三层和最后三层厚度允许改变。利用优化方法找到减小反射带透射率以及增大通过带的透射率。注意,结果与上例非常接近,但膜层A和B可以不能合成。ED-3Long Wave Pass3说明:优

37、化可以改善这类膜系的性能。膜系设计与上述相同,允许四层膜层厚度变化。注意,在通过带,透射率大于99%。ED-4Extended Rejection说明:通过将一个边带滤波器膜系镀在另一个顶部,可以扩展其反射带的范围,第二个波长参考波长稍微移动。膜系:(0.5LH0.5L) 12 0.75(0.5LH0.5L) 12。头五层和最后五层厚度允许改变。利用优化方法减小反射带透射率以及增大通过带的透射率。ED-5Extended Rejection Two-Sided说明:在基底材料2边各镀一个边带滤波器膜系,可以扩展其反射带的范围,第二个波长参考波长稍微移动。将边带滤波器镀在基底材料的2边。头五层和

38、最后五层厚度可以改变,2个边带滤波器同时优化。ED-6Short Pass说明对于这类滤波器,目的是增大给定波长下面透射率并减小它上面的透射率。设计基于膜堆(HL)p。37层膜系,使用优化方法改善其通过带的性能。NF-1Boudot说明:陷波或付滤波器其特征为减小反射带的透射率,并增大带外波段。这类滤波器膜系设计通常非常困难。该图源自薄膜“challenge”,FTG软件设计的结果NF-2Rugate说明:经典的rugate是折射率相对于平均折射率Na同时改变的膜系。为了反射波长w,Rugage的每个周期的物理厚度必须是0.5w/Na,增加周期数可以改善反射率。Rugage的优点是(1)仅在窄

39、带能够反射,并且(2)能够增加rugages使得能够反射多个窄带。膜系类似于H(LH) 24。在20个薄层中,将rugate除以每个周期可得到rugate膜系。Phase RetarderPR-1Achromatic 1800说明:介质相位缓冲器,可以通过优化生成。在该设计中,总的内部反射100%反射光束。膜系镀在棱镜的斜边使得入射介质是玻璃,出射介质时空气。注意:使用Abeles相位约定。PR-2Achromatic 2700说明:介质相位缓冲器,可以通过优化生成。在该设计中,总的内部反射100%反射光束。膜系镀在棱镜的斜边使得入射介质是玻璃,出射介质时空气。注意:使用Abeles相位约定。

40、ReflectorRF-1Metallc说明:优点:所有入射角类似的颜色;宽带反射;金属膜层可以用作部分反射镜。缺点:除了金之外,所有膜料均与空气相作用;膜层软;因为金属吸收光导致热损伤,因而作为激光反射镜不理想。包括Ag、Al和Au反射镜。在550nm波长处,金的反射率最低,银的反射率最高。RF-2Enhance Metallic说明:优点:加保护膜避免氧化;硬膜;所有入射角条件下颜色类似;宽带反射;薄金属膜层可用作部分反射镜;因为吸收减小,可以作为激光反射镜。缺点:与裸金属材料相比,反射相移更大。细线表示裸金属材料铝的反射率,粗线表示铝材料上镀6层介质膜料后的反射率。RF-3Dielect

41、ic 1说明:反射带宽随着折射率比值nH/nL的增加而加宽。并且反射率随着膜层数的增加而增加。优点:低吸收率缺点:有限的反射带和反射后相位发生移位。H(LH) 24反射镜RF-4Wide-Band dielectric 1说明:改变膜层的厚度,使得相邻膜层比值相同,可以得到宽带介质反射镜。如果比值小于1,、r、r2、r3那么从外层开始,每层的QWOT将是1、r、r2、r3等等。最终反射率将不是四分之一波长膜堆的系数,但是宽度变宽。使用优化可以进一步改善这种几何设计。上图显示由MgF2和ZnS组成的35层膜堆,比值为0.97RF-5Dielectric 2说明:稍微修改四分之一膜堆就可以改善带外

42、透射率。图示的是(0.5LH0.5L)9反射镜膜系的结果,它改善了短波透视性能。RF-6Dielectric 3说明:稍微修改四分之一膜堆就可以改善带外透射率。图示的是(0.5LH0.5L)9反射镜膜系的结果,它改善了长波透视性能。RF-7Wide-Band Dielectric 2说明:产生宽带反射镜的另一种方法是2个或多个反射镜重叠。这种膜系的膜堆公式是:(0.5LH0.5L)p f(0.5LH0.5L)p,其中p值由获得期望的效率确定,而f值通过测试误差或优化确定。该设计的优点是大多数膜层光学厚度相同。该图显示的是由SiO2和TiO2膜料组成的21层膜系的反射率。移动一直使用组优化方法优

43、化。使用折射率比值更多的膜料,反射带宽会更宽。RF-8Wide-Band Dielectric 3说明:利用TFCalc的组优化功能也可以实现叠加。假设膜堆公式为(0.5LH0.5L)p b(0.5LH0.5L)p c(0.5LH0.5L)p d(0.5LH0.5L)p e(0.5LH0.5L)p f(0.5LH0.5L)p g(0.5LH0.5L)p h(0.5LH0.5L)p i(0.5LH0.5L)p j(0.5LH0.5L)p,式中p是最小整数并且必须指定比值a、b、c、d、e、f、g、h、i、和j。注意,如果所有数均为1,那么反射集中在参考波长;将优化目标设置为整个波长范围,然后使用组优化方法优化,则得到宽带反射镜。即使p=1,0.5LH0.5L也很难说是一个好的反射镜。但膜系膜料是色散的,使用这种方法可以得到好的结果。同时产生某些非常薄的层比优化所有层要好。该图显示的是由SiO2和TiO2膜料组成的21层膜系的反射率。使用组优化产生10个移位因子。初始设计时,头5个组比例系数均被设为1,最后5个组比例因子设为1.41优化优化头五层,移动一直使用组优化方法优化。使用折射率比值更多的膜料,反射带宽会更宽。

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