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1、中华人民共和国建筑材料工业部 气+t+.+材 r十 t+-十.+1+又 部标准 Q S G 1 . Q S G 2 透明石英玻璃增塌 十 一 卜 月 卜一 呻 . 叫 卜， 叫 卜一 卜 J C 1 7 9 一 8 1 代替 1 C 1 7 9 -7 3 州 卜一 叫 卜向 叫 卜 . 辛 叫 卜闷 卜 ， 分 卜. 小 . 本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英玻璃柑坍。 半导体用透明石英玻璃增坍有QS G1 高纯透明石英玻瑞增坍与QS G2 透明石英玻瑞增飒两种。 、技术要求 1 . 物理、 化学性能指标 ( 1 ) 化学成分 a . Q S G1 高纯透明石英玻璃琳涡 铝、 钙、 镁
2、、 铁、 铜、 铁、 钻、 镍、 锰、 翻、 钾、 钠、 锉十三个杂质元素的总含1 t 不得大于 0 - 0 0 1 %. 其中: 铝簇5 X1 0 - 4 写;铜成0 . 1 X 1 0 - 写; 铁(0 . 5 X1 0 - , %;翻簇0 . 1 X1 0 - 1 %; 钾簇1 X 1 0 - %;钠成1 X 1 0 - 写。 b . Q S G 2 透明石英玻璃琳端 铝、 钙、 镁、 钦、 铜、 铁、 钻、 镍、 锰、 翻、 钾、 钠、 锉十三个杂质元素的总含f不得大于。 . O l 0 a o 其中: 铝续6 0 X1 0 - , %;铜O . 1 X 1 0 - 4 写; 铁5 X
3、 1 0 -写;翻O . 3 X1 0 - , %; 钾镇4 X1 0 - 0 %;钠簇4 X1 0 - , %. ( 2 )热稳定性 试样在1 1 0 0 至2 0 C 温度急变下试验三次， 不产生裂纹。 ( 3 ) 抗析晶性 试样在 1 2 0 0 C温度下恒温半小时， 对于高纯透明石英玻瑞柑坍不允许出现直径大于 0 . 5 毫米的析 晶白点; 对于透明石英玻瑞柑飒不允许出现直径大于 3毫米的析晶白点， 0 . 5 3毫米的析晶白点， 每 1 0 0 平方厘米不得超过 1 0 个。 2 . 外观指标 ( 1 ) 两种增竭均按外观指标分为二级( 见表 1 ) . 中华人民共和国建筑材料工业部
4、发布 建 筑 材 料 科 学 研 究 院提出 1981年 3月 1日实施 趁筑材料科学研究院起草 d o 1 7 9 一 8 1 表 1 项目 外观指标 一级二级 气 泡 直径 毫米 弧度部分0 . 1 - 0 . 20 . 3 - 0 . 4 直线部分0 . 1 - 0 . 30 . 30 . 7 允许数t( 个/ 厘米， )36 气 泡 群 丝状长径( 毫米)0 . 5 - 3 . 01 . 0 - 7 . 0 点状直径( 毫米) 0 . 3 - 2 . 00 . 5 3 . 0 允许总数( 个/ 1 0 0 厘米z 158 暗 疤 长径 奄米 弧度部分1 - 21 - 4 直线部分1 -
5、 -32 - 4 允许数t( 条/ 1 0 0 厘米z 12(4 色 斑 丝状长径( 毫米)0 . 1 - 1 . 00 . 2 - 1 . 5 点状直径( 毫米)0 . 1 - 0 . 30 . 2 - 0 . 5 允许总数( 个/ 1 00 厘米艺 )24 揪 痕 揪痕直径( 毫米)不允许簇 1 3 揪痕深度( 奄米)不允许0 . 3 揪疲 数t D 1 0 0 奄米以下增炯 不允许 2 D 1 0 1 - 1 3 0 庵米柑用3 透明顺枚允许1 k =( 个/ 1 0 0 厘米z 1簇1 0簇3 0 波纹( 奄米)0 . 20 . 3 枯皮不允许 按标样 云多不允许 不允许 注: 缺陷宽
6、度小于点状下限的按丝状计 非圆形块陷的直径按算术平均值计。 ( 2) 柑塌口部应细磨( 内外倒角) 或烧圆。不得有缺口， 不得有深、 宽大于4 毫米的表皮崩落。 ( 3) 柑锅表面光滑整洁， 内表面不允许有色斑。 ( 4) 不允许有沾污和析晶。 二、 形状与规格尺寸 3 . 半导体用透明石英玻璃增竭的形状与规格尺寸应符合下图及表 z 的规定。 4 7 2 J c 1 7 9 一8 1 单位 : 毫米表 2 外径 D 高度 H 底 半 径 R 厚 度 范 围 同一横截面的厚度公差 8 0 11 9 0 - 8 : e 1 0 0 - 跳 1 0 6 = 枕 1 1 4 = 0, : 急 1 3
7、0 绍复 6 0 - ; 7 0 - 8 0 - ; 9 0 - 7 5 士 2 1 1 0 士2 D-1 2 D-1 2 刀一 2 2 刀一 1 2 D-1 2 D-1 2 2 . 0 2 . 8 2 . 0 - 2 . 8 2 . 0 - 2 . 8 2 . 0 - 2 . 8 2 . 0 - 2 . 8 2 . 0 - 2 . 8 0 .3 0 .3 0 3 0 . 3 0 . 3 0 . 4 注; D 1 3 0 奄米以上柑坍按协议。 三、 试脸方法 4 . 化学成分 按J C 1 8 6 -8 1 石英玻璃原料及制品中徽量杂质元索的分析方法 中的规定进行。 5 . 热稳定性 按I C 1 8 7 -7 3 石英玻瑞热稳定性检验方法 中的规定进行。 6 ， 抗结晶性 按J C 1 8 8 -7 3 石英玻瑞抗结晶性检脸方法 中的规定进行。 7 .气泡 按J C 1 9 0 -8 1 透明石英玻确气泡、 气线检验方法 中的规定进行。 4 7 3