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1、中 华人民共和国机械行业标准 J B/ T 8 3 2 0 -1 9 9 6 电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管 1 主题内容与适用范围 本标准规定了电力半导体器件工艺用涂层石英玻璃管( 下称涂层管) 的结构、 规格尺寸、 技术要求、 检 验方法和规则等。 本标准适用于由天然水晶作原料、并在管壁表面制成耐高温薄层、用于电力半导体器件工艺的石英 玻璃 管。 弓! 用标准 GB 3 2 8 4 GB 5 9 4 9 G B 9 6 5 7 GB 1 0 7 0 1 石英玻璃化学成分分析方法 透明石英玻璃气泡、气线检验方法 半导体用透明石英玻璃管 石英玻璃热稳定性检 验方法 术语 3 . 1晶纹 石
2、英玻璃管拉制过程中，在管壁上形成各种微小不闭合的炸纹. 3 . 2 生料颗粒 石英玻璃管内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。 33 透明颗拉 石英玻璃管中未完全熔化的透明石英质颗粒。 3 . 4 波 纹 气炼透明石英管的内、外壁圆周呈现的波浪形凹凸不平。 3 . 5色斑 在石英玻璃管壁上的黑、白、 褐色 等任意 形状的 色点。 3 气泡群 石英玻璃管壁中由 微 小气泡( 小于标准中的气泡的下限 尺寸) 密集 而成的群集泡. 3 . 7 揪痕 排除石英玻璃管上较大杂质点、气泡等弊病操作后留下的痕迹. 3 . 8暗疤 气炼产品壁内 呈现的一 种斜状、 透明、 有明显界 面玻璃态( 俗
3、称雪花、 破皮或梅花) . 在高温熔烧中 发橙色亮光。 3， 析 晶 石英玻璃管在高温下 发生的晶形转变， 造成低 温下失透. 3 . 1 0 弯曲度 石英玻璃管实际中 轴线对标称中轴线的最大偏 离距离与标称中 轴线长度之比。 机械工业部 1 9 9 6 -0 4 -0 1 批准1 9 9 6 -1 0 -0 1 实施 4 5 免费标准网( w w w . f r e e b z . n e t ) 标准最全面 免费标准网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册 即可下载 J B / T 8 3 2 0 -1 9 9 6 3 . 1 1 炸裂 石 英玻璃管受外界
4、 温度变化影响发 生的破裂。 3 . 1 2 涂敷层 在石英 玻璃管壁( 内或/ 和外壁) 制成的 耐高沮 薄息。 3 . 1 3 桔皮 涂敷层上出现的“ 桔皮， 状凹凸不平的区域. 3 . 1 4 基体 管; 坯管 制作涂 层石英玻璃管 时， 欲在其表面 制作涂敷层的 原透明石 英玻璃管. 3 . 1 5热 稳 定 性 石英玻 璃承受温度剧 变的能力. 用试样 承受加热至规定的上限 温度t , , 随即放 入冷水( 或空 气) 中的下 限温度t : 所造成的温差 t 一t = ? L表示。 3 1 高温变形率 石英玻璃管作高温形变试验时，加热前后外径的相对变化率。 4 涂层管的构成 4 .
5、1 涂层管是由 基体管和创作在 其管壁表面的涂敷层两部分构成。 4 . 2 涂敷层可制作在基体管的外 管壁， 也可制作在内管壁， 或者内、 外管壁都制作涂敷层。 5 外形尺寸 5 . 1 各种涂层管的外形尺寸范围见表1 , 表 1rnm 外 径 范 圈外 径 公 差 壁厚范围璧厚公差 必5 0 - 6 0 士 2 . 02 . 5 - 3 . 5 士 0 . 3 必 6 1 . 7 0 土 0 . 3 必7 1 - 8 0士 2 . 03 . 0 - 3 . 5士 0 . 4 必8 1 - - 9 0士 2 . 53 . 0 - 4 . 0士 0 . 4 必 9 1 - 1 0 0士2 . 5
6、3 . 5 - 4 . 5士 0 . 5 必1 0 1 -1 2 0士3 . 03 . 5 - 5 . 0士 0 6 曰1 2 1 -1 5 0士瓦 03 . 5 - 5 . 5土 0 . 6 5 . 2 各种涂层管的标准长度为 I m, 1 . 5 m和 2 m三两种. 管子为两端开口亦可一端开 口。封口管其弧 度部分不包括在 井 示 准长度之内。 5 . 3 特殊形状的石英玻璐管由用户与厂家合同中规定。 技术要求 . 1 外形尺寸公差 6 . 1 . 1 外径和壁厚的公差见表1 . . 1 . 2 偏壁度: 同一横截面璧厚之 差不得大于壁厚公差绝 对值。 . 1 . 3 椭圆度: 同一横截
7、面长短轴 之差不得大于外径公差绝对值. . 1 . 4 弯曲度: 1 m长度涂层管不大 于千分之三， 1 . 5 m和2 m长度涂 层管不大于千分之四。 6 . 1 . 5 涂 敷 层 区 : 长 度一 般术 小 于6 0 0 m m , 6 . 2 杂质含量 a 6 免费标准网( w w w . f r e e b z . n e t ) 标准最全面 免费标准网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册 即可下载 J B / T8 3 2 0 一 1 9 9 . 2 . 1 基体管中 杂质含量应符合表2 要求. 表 2 PPm 杂质U N .C. 决 L C u
8、 总含盆 含量 444 、 4O. 吕2 0 0 2 涂层区石英玻璃管杂质含量指标与测试方法由企业标准给出. 物理性能指标 涂层石英管的物理性能指标应符合表 3 要求. 表 3 - 书黔二 斗一 嘿黔二一 注:作热稳定性的样品，段.其中未涂层部分不得少于10 m m，但不得多子30 mm。 丘丘 析品性能 由创造厂给出 “ 外 观 要 求 ) 6 . 4 . 1 涂敷层应表面光滑， 透明或颜色均匀， 桔皮长径应小于 10mm，总数里不超过 3 块. . 4 . 2 涂层管的其它外观应符合表 4 要求。 不能有剥皮、 顺校、 裂纹等。 但允许有少t小面积的枯皮。 表 4 项目 指标 气泡 直 径
9、 ，rn m( 0 . 5 数t，个/cm ， ( 8 气泡群 长 径 。mm 1 0 总数，个/ 1 o o c m， 牙 暗疤 长径，mm成 5 数t， 条/ 1 0 0 。 m，( 3 色斑 长 径 .mm成 2 . 0 致址.个/ 1 00 c m， l 0 歌痕一 必3 0 9 0二m 管材 深度，m m 0 ， 3 直径.m m 1 3 数 盆 ， 个 / m 4 一一 必9 1 1 5 0mrn 管材 !深度。m m( 0 ， 3 直径。m m成 1 S 数量.个/ m簇 l O 透明顺位个/ m l oo 内 壁波 纹m m0 。 4 晶纹、云雾、析晶、裂纹、指坟印、生料顺校不
10、允许 7 出厂检验和型式试验 71 同 种原料、 同种工艺在基本相同条件下生产 的产品形成生产批. 检验批可以 是生产批， 也可以小于 生产批， 4 7 免费标准网( w w w . f r e e b z . n e t ) 标准最全面 免费标准网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册 即可下载 J B/ T 8 3 2 0 -1 9 9 6 7 . 2 出厂检验 7 . 2 . 1 产品 交货时， 应按表6 规 定的 项目 进行出厂 检验. 7 . 2 . 2 按表5 规定项目 检验 合格的批， 把抽 样检验出的 不合格品 换为合格品 后全数收交。 检验不
11、合格的 批，应进行全检，剔去不合格品后收交。 7 . 3 型式 试验 7 . 3 . 1 有下列情况之一，应进行型式试验: a ) 连接生产的产品，生产期已达 1 2 个月; b ) 断续生产的产品，在生产条件无大的变化.产品数量已达到或超过 5 o 件; 。 ) 原材料、工艺或设备系统有较大改变时; d ) 生产中断三个月或更长时间. 7 . 3 . 2 型式试验按表5 和 表6 规定的所有项目 和要求 进行。 表 5 序号 ! 试验方法合格判据 抽样方案 ( L TP P ) 1 外 径 、壁 厚G B 9 6 5 7的7 . 7 . 1 ,? . ? . 2条符合表1规定 7 偏壁度GB
12、 9 6 5 7的7 . 7 . 3 条符合 6 . 1 . 2 条要求 椭圆度G B 9 6 5 7的7 . 7 . 条符合 6 . 1 . 3 条要求 弯曲度 GB 9 6 5 7的7 . 7 . 5条符合 6 . 1 . 4 条要求 2 涂敷层正常视力和正常照明下目测 符合 6 . 4 . 1 条规定 7 3 其它外观指标GB 9 6 5 7的7 . 8条符合表5 规定1 0 表 6 序号试 验 项 目试 脸 方 法合格判据 抽样方案 ncd 1热稳定性 GB 1 0 7 0 1方法A符合表 3 要求 ;: 2 析晶制造厂给出 3高温变形率 G B 9 6 5 7的7 . 6 条， 1
13、2 8 0 士1 0 C , 3 0h 符合表 3 要求 ;: 4 荃体管杂质含量 G B 3 2 8 4 符合表 2 要求 ;: 8 标志、包装、运抬和贮存 8 . 1 每支涂层管应附有产品合格证.合格证上应标明产品名称、 型号、制造厂名、 生产日期、 规格和编 号， 还应说明涂层情况. 8 . 2 每批 产品出 广时应附有产品 使用说明 书， 写明 该批产品的物 理、 化学质量分析结果和注意事项。 8 . 3包装 5 . 3 . 1 涂层管应用塑料薄膜封装， 然后装纸盒，必要时填、 垫泡沫塑料.两支以上包装的必须避免运输 中的碰撞。 8 . 3 . 2 产品包装时应随带产品合格证、装箱单、
14、产品说明书。 8 . 3 . 3 包装上应贴有储运图示标志，如“ 小心轻放” 、“ 请勿倒置” 、“ 玻璃制品” 、“ 防潮” 等字样和图形. S . 4 运输 免费标准网( w w w . f r e e b z . n e t ) 标准最全面 免费标准网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册 即可下载 J B/ T 8 3 2 0 -1 9 9 6 装卸、运输都要轻拿轻放，不得扔摔、碰撞. 8 . 5 贮存 产品贮存在无有害气体、干操清洁的地方，不能放在户外。并防止管子受压而损坏 附加说明: 本标准由机械工业部西安电力电子技术研究所提出并归口。 本标准由西安电力电子技术研究所、长沙电子材料厂负责起草。 本标准主要起草人:苗宏、刘一华、吕湘辉。 免费标准网( w w w . f r e e b z . n e t ) 标准最全面 免费标准网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册 即可下载 标 准 王 国 豆丁网标准下载地址 http:/ 欢迎您再次访问！