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1、UDC 6 2 1 . 3 8 . 0 3 2:6 2 1 . 3 1 7:0 0 1 . 4 L 3 2 中 华 人民 共和国 国 家 标 准 GB / T 1 26 3 3 一 90 压 电 晶 体 性 能 测 试 术 语 T e r m s f o r t h e me a s u r e m e n t s o f t h e p r o p e r t i e s o f t h e p i e z o e l e c t r i c c r y s t a l s 1 9 9 0 一 1 2 一 2 8 发布 1 9 9 1 一 1 0 一 0 1 实施 国家技术监督局 发 布 目
2、次 ) 符号表 ， ， ， ， ， ， ， - ，一(1 ) z 一般术语 ， ， . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .( a) 3 压电 振子与 特征频率 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ，
3、- ， ( 1 0 ) 4 振动 模式与测试方法 ， ， ， 。 ， ， 一( 1 2 ) 5 祸合系数 ，. 。 ， “ ， ， ， c t a 6 声波 ， ， 甲 ， ， ， ， ， ， 4 ， ， ， “ ， ， ， ， ， ， 。 ， ( 土 们 附 录A 汉 语 索引 ( 参 考 件 ). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ， c i )
4、附 录B 英文索引( 参考件)， 4 ， ， ， ， U 9 ) 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 压 电 晶 体 性 能 测 试 术 语 G B/ T 1 263 3一 90 T e r ms f o r t h e me a s u r e m e n t s o f t h e p r o p e r t i e s o f t h e p ie z o e l e c t r i c c r y s t a l s 本标准规定了声表面波、 体波器件用压电晶体性能测试常用名词术语的定义及符号， 适用于压电晶 体性能测试。 1 符号表 本标准所采用的符号、 名称及单位见下表: 序
5、 号 符 号名称!单 位 面 积 宽 度 电 容 压电振子等效电路的并联电容 压电振子等效电路的动态电容 受 夹 电容 自由电容 有效弹性常数 弹性劲度常数 弹性劲度背数分量 开路弹性劲度常数 开路弹性劲度常数分量 短路弹性劲度常数 短路弹性劲度常数分量 m c二自户口 g RL 4 3?2 - 一一 一 一 一G m一 辰 孟 而 蔺 一一一一=户 一 一 一 压 电 应 变 常 数 分 I一 C / N 或 。 ，N 一 - 一 一一 一升-_ _ 电 场强度为 零或恒定 一 _ _ 二_ 上 矫顽电场强度 电场 强 度 分 员 国家技术监督局 1 9 9 0 - 1 2 一 2 8 批准
6、19 91一 10 一 01实施 GB / T 126 33一 90 续表 序号 符号名称单位 2 3 艺 丹。一 。. 压电应力常数 压电应力常数分量c / m ? 或N / v m 2 5 2 6 2 7 2 8 2 9 3 0 3 1 3 2 3 3 3 4 3 5 3 6 3 7 f j 。 f 。 j 。 了 ， f f 儿. j ， . 么 了 价 j 一 ， j . ， 好 ， 频率 反谐振频率( 零电抗， 电阻大) 最大导纳( 最小阻抗) 频率 最小导纳( 最大阻抗) 颇率 并联谐振( 最大电阻) 频率 谐振频率( 零电纳， 电导大) 串联谐振( 最大电导) 频率 第仍次泛音反
7、谐振频率 第爪次泛音谐振频率 反谐振频率与谐振频率之差 最大传输频率 最小传输频率 并联谐振频率与串联谐振频率之差 HZ : 9。一 9. 压电电压常数 压电电压常数分量 m 丫C或 V m/ N :;h或 、 压电劲度常数 压电劲度常数分量 N / c或 V/ m 4 3 4 4 4 5 4 6 4 7 4 8 k， 无 肠 : 蚝 哟5 . 雌 哟。 平面机电藕合系数 声表面波机电锅合系数 纵向长度伸缩机电藕合系数 横向长度伸缩机电藕合系数 厚度切变机电藕合系数 厚度伸缩机电根合系数 4 9亡 长 度 刀1 50L二 压电振子等效电路的动态电感 H 51M 压电振子的优值 5 2N 颇率常
8、数 Hz o m 5 3 刀电矩 C ， m 5 4 5 5 5 6 ， 。 P. 产 P.即 热 释 电系 数 一级热释电系数 二级热释电系数一 D :;交 电极化强度 C/ m Z 剩余电极化强度 GB / T 1 2633 一 9 0 续表 序号 符号 名称单 位 : 尸 P 自发极化强度 明方向的自发极化强度分量 C / m 6 1Q电荷 C 6 2 Q 1 1 L 械品质因数 6 3 Rl压电振子等效电路的动态电阻 幻 :S 应变 应 变 分 量一I 相速度 线热膨胀系数 介质隔离率 介质R A 离率分量 受夹介质满离率 受 夹 介 质 雨 离 率 分 i F ( 自由介质隔离率 自
9、 由介 质 隔 离 率 分 6 t K一 一一寸 m / 严凡尸 OUqn训1 ROUOU口 F/ m ce / T 12 633 一 90 续表 序号符号名称单位 9 4 9 5 9 6 9 7 9 6 . e “ 产 t 乱 君 0 介电常数分量 受夹介电常数 自由介电常数 自由介电常数分量 真空介电常数 F / m 9910 0 Cq , 自由相对介电常数 受夹相对介电常数 1 01 尸密度k g / m 1 0 2 0角度( 平面角) ( 0 ) 1 0 3口 角频率r a d / s 一般术语 单晶体 s i n g le c r y s t a l 如果一种晶 体中的 原子或它形成
10、的基元周期性地由晶 体的一端连续排列到另一端， 中间没有排列 方位的改变， 而且任何方向都如此， 则这种晶体称为单晶体。 晶系c r y s t a l s y s t e m 晶体学中按晶体所具有的宏观对称分成七大类， 称为七个晶系。 每个晶系具有一种特征对称， 凡具 有该特征的晶体归属于该晶系。 七个晶系， 即: 三斜晶系; 单斜晶系; 正交晶系( 斜方晶斜) ;四方晶系; 三方晶系; 六方晶系; 立方晶 系。 点 群 p o i n t g r o u p 通过一点组合在一起的对称元素的所有对称操作形成一种点群。 晶体的宏观对称性中有八种基本 对称元素， 即1 , 2 , 3 , 4 ,
11、 6 , 丁 , m和 万 。 晶体所具有的宏观对称就是这些对称元素或它们 过一点的组 合。 共有3 2 种组合， 称为3 2 种点群或宏观对称类型。 空间 群 s p a c e g r o u p 分布在空间的包括宏观对称元素和微观对称元素在内 的对称元素的 组合， 称为空间 群。 共有2 3 0 种 组合， 即2 3 0 种空间群。 点阵l a t t i c e 晶体结构中相同的点( 原子、 离子、 分子或它们 形成的基元) 在空间作周期性重复排列的总体称为 点阵。 直角坐标系 r e c t a n g u l a r c o o r d i n a t e s s y s t e
12、m 参考晶轴而规定的笛卡儿座标( 垂直伸出右手三个指头， 食指代表x 轴， 中指代表Y 轴， 大拇指代 表z 轴) 。 切型c u t t y p e 晶体在直角座标系中按某种空间取向切割的方式。 切型符号s y m b o l s o f c u t t y p e 用来表示晶片切型的一组符号。 该符号由字母( x , Y , z , l , b , t ) 和角度组成。 注: 该符号的头两个字母表示晶片的原始方位 ce / T 126 33 一 90 a . 第一个字母( : ， 犷 或之 ) 代表晶片的厚度方向. b . 第二个字母( . , y 或: ) 代表晶片的长度方向， 如图1
13、( a ) 所示。 符号中的其余字母表示旋转切割时晶片的边棱. 符号中的第三个字母是I , b 或 ， 视晶片第一次旋转时的旋转轴是长度方向， 宽度方向， 还是厚度方向而 定. 如果只有一次旋转， 符号只有三个字母， 如图1 ( b ) 所示. b . 符号中的第四个字母是l , 或亡 ， 视晶片第二次旋转时的旋转轴所在的方向而定， 如果只有两次旋转， 符号 中只有四个字母， 如图1 ( c ) 所示. e . 符号中的第五个字母是! , b 或L ， 视晶片第三次旋转时的旋转轴所在的方向而定。 在这组符号中， 无需多于 五个字母， 一个三次旋转切割如图1 ( d ) 所示。 符号字母后面是一
14、个、 二个或三个旋转角， 分别对应一次、 二次、 三次旋转， 负方向旋转角用负号表示。 从旋转轴的正端向原点看旋转方向时， 正角度表示反时针方向旋转， 负角度表示顺时针方向旋转。 l , b 和 所在的轴的正端是三个坐标轴x , y , : 的正方向指向端。 比以 0, =3 0 0 ( a) ( v Z ) 切 ( b ) ( y z t ) 3 0 。 切 ( y Z t ) 切， 烧 厚度 旋 转 3 0 ( c ) ( y zt b ) 3 0 / 4 0 切 在图b的基础上，再绕 宽度旋转4 0 0 ( d ) ( y zt b t ) 3 0 / 4 0 0 / 1 5 。 切 在
15、 . i6 的 基 础 上 ， 再 绕 厚度旋转1 5 0 图 1 几种切型示意图 2 . 9 自 发极化 s p o n t a n e o u s p o l a r iz a t i o n 外电 场 为 零 月 注 扭 铁电 晶 体 内由 于电 偶 极 子 有 序 排 列 而产 生 的 极 化 GB / T 1 2633 一 90 2 . 1 0 2 . 1 2 极化处理 p o l i n g 在某一温度下， 外加直流电场， 使铁电晶体的铁电畴沿外电场方向作有序排列的过程称为极化处 理， 简称为极化。 铁电晶体 f e r r c e l e c t r i c c r y s t
16、a l 呈现电滞回线特性的晶体。 铁电畴f e r r cele c t r ic d o m a i n 铁电晶体内， 自发极化方向一致的区域称为铁电畴， 两个畴之间的界面称为畴壁. 电 滞回 线 f e r r c e l e c t r ic h y s te r e s i s lo o p 铁电晶 体在外加交变电场的作用下， 电 场强度呈周期性变化时， 表示电极化强度和电场强度滞后 关系的闭合曲线。 如图2 所示。 图 2 铁电晶体电滞回线 几一剩余电极化强度; 几一 自发极化强度; E , 一矫顽电场强度 2 . 1 4 电 极化强度 e l e c t r i c p o l a
17、 r iz a t io n 单位体积内电介质的电矩矢量和。 2 . 1 7 2 . 1 8 2 . 1 9 P= q l 式中: ， 电 矩， C “ m ; 9 电荷， C; l 正负电 荷间的 矢径， m , 剩余电极化强度 r e s id u a l e l e c t r i c p o l a r iz a t i o n 去掉电场后电介质的电极化强度。 矫顽电场强度 c o e r c iv e e l e c t r i c f i e l d s t r e n g t h 使铁电体的电极化强度回 到零所需要的 外加电场强度。 铁电居里温度 f e r r c e le c
18、 t r ic c u r i e t e m p e r a t u r e 铁电体从铁电相到顺电相或从顺电相到铁电相的相变温度 自由电容 f r e e c a p a c i t a n c e 压电晶体在应力为零( 或常数) 时的电容， 它的值等于频率远低于振子的荃频时测得的电容。 受夹电 容 c l a m p e d c a p a c i ta n c e 压电晶体在应变为零( 或常数) 时的电容， 它的值等于频率远高于振子高次泛音频率时测得的电 容。 GB/ T 1 263 3一 90 2 . 2 0 介电常数( 电 容率) d i e l e c t r i c c o n
19、s t a n t ( p e r m i t t i v i t y ) 描述电位移与电场强度关系的一个二阶张量， 用 二 ( m, n=1 , 2 , 3 ) 表示。 它所满足的矩阵关系式 为: D = e E 式中: D电位移， C / m ; E电场强度， V / m, 2 . 2 1 自由 介电常数( 自由电 容率) f r e e d i e l e c t r i c c o n s t a n t ( f r e e p e r m i tt iv i ty ) 压电晶 体在应力为零( 或常数) 时的介电常数， 用e m . ( 二 ， ， =1 , 2 , 3 ) 表示。 2
20、 . 2 2 受夹介电 常数( 受夹电 容率) c l a m p e d d ie l e c t r i c c o n s t a n t ( c la m p e d p e r m i t t iv i t y ) 压电晶 体在应变为 零( 或常数) 时的 介电常 数， 用e m . ( m , n = 1 , 2 , 3 ) 表示。 2 . 2 3 自由 相对介电常 数( 自由 相对电容率) f r e e r e la ti v e d i e l e c t r i c c o n s t a n t ( f r e e r e la t iv e p e r m i t t
21、i v i t y ) 压电晶体的自由介电常数与真空介电常数之比。 e :二 e m . / e u 式中: e . . 自由 介电常数， F / m; 。 。 真空介电 常数， F / m, 2 . 2 4 受夹相对介电 常数( 受夹相对电 容率) c l a m p e d r e l a t i v e d ie l e c t r i c c o n s t a n t ( c l a m p e d r e l a t i v e p e r m i t - t i v i ty) 压电晶体的受夹介电常数与真空介电常数之比。 e ;= e . . / e o 式中: 4 受夹介电常数
22、， F / m; e o 真空介电常数， F / m, 2 . 2 5 介质隔离率 d i e l e c t r i c i m p e r m e a b i l i t y 描述压电晶体的电 场强度与电位移关系的一个二阶张量， 用,6 .m ( n , m二1 , 2 , 3 ) 表示。 它所满足 的矩阵关系式为: 刀= P - E 之= fi - , 。 与 刀互为逆矩阵。 式中: D电位移， C / m “; 介电常数， F / m, 2 . 2 6 自由 介质隔离率 f r e e d ie l e c t r i c i m p e r m e a b i l i t y 压电
23、晶体在应力为 零( 或常数) 时的介质隔离率， 用瓜 ( ， ， 二=1 , 2 , 3 ) 表示。 2 . 2 7 受夹介质隔离率 c l a m p e d d i e l e c t r ic i m p e r m e a b il i t y 压电 晶体在应变为 零( 或常数) 时的介质隔离 率， 用禺 ( n , m二1 , 2 , 3 ) 表示。 2 . 2 8 介电损耗d i e le c t r ic lo s s 电介质从时变电场中吸收并以热的形式耗散的能量。 2 . 2 9 机械品质因数 m e c h a n i c a l q u a l it y f a c t o
24、 r 压电振子在谐振时贮存的机械能与在一个周期内损耗的机械能之比， 用 R . 表示。 它与压电振子参数的关系为: 心。 = 2叮, L , / R , = 1 / 2叮 C, R 式中: f , 串联谐振频率， H z ; L , 动态电感, H; R动态电阻， 。 ; C , 动态电容， F o cs / T 126 33一 90 2 . 3 0 电容比c a p a c it a n c e r a t io 压电振子等效电路中 的并联电 容与动态电容之比。 Y= Co / C, 式中: C o 并联电容， F ; C , 动态电容， F , 2 . 3 1 压电振子的优值 f i g
25、u r e o f m e r i t f o r p ie z o e l e c t r i c v ib r a t o r 压电振子的机械品质因数与电 容比 之比。 M 二Q . / v 式中: Q , 机械品质因数; v 电 容比。 2 . 3 2 动态电阻mo t i o n a l r e s i s t a n c e 压电1子简化等效电路的串联支路中表示机械损耗的电阻。 2 . 3 3 弹性常数 e l a s t i c c o n s t a n t 描述弹性体应变与应力关系的四阶张量. 它所满足的矩阵关系式为 : S= S T或T= C S 式中: s 弹性顺度常数，
26、m / N ; 。 弹性劲度常 数， N / m ; T应力， P a ; S应变。 2 . 3 4 弹性顺度常数 e l a s t i c c o m p li a n c e c o n s t a n t 应力分量改变一个单位所引起应变分量的变化量。 S ,; = ( a S ./ a T i ) ( i , 9 = 1 , 2 . . . . . . . . 6 ) S ; ， 有两种表示式， S 0 二( a s , / a F , ) o 或S ; 二( ,I S , 1 3 T ; ) S 式中: S开路弹性顺度常数分量, m / N; S ,“, 短路弹性顺度常数分量, m
27、/ N; S ; 应变分量; T ; 应力分量, P a ; D( 上标) 电 位移为 零或恒定; E( 上标) 电 场强 度为零或恒定。 2 . 3 5 弹 性劲度常数 e l a s t ic s t i f f n e s s c o n s t a n t 应变分量改变一个单位所引起应力分量的变化量。 c is ” W , / d s . ) ( i , 7=1 , 2 ， ， 6 ) c ; ; 有两种表示式. c q . 二 ( d T ; / d S ; ) 。 或弓= (T;/as) : 式中: c 开路弹性劲度常数分量, N / m ; c ; ; 短路弹性劲度常数分 量,
28、N / m ; 召 ， 应变; ， ， 应力， P a ; D 上标) 电 位移为零或恒定; E( 上标) 电场强度为零或恒定。 2 . 3 6 压电效应p i e z o e l e c t r ic e f f e c t 在压电振子的适当方 向加一机械力时， 能产生与应变成正比的电极化. 这种现象称为正压电效 ca / T 12 633一 9 0 应， 简称压电效应。 反之， 压电振子在外电场作用下能产生与电 场成正比的应变 这种现象称为 逆 压电效应。 2 . 3 7 压电晶体p i e z o e le c t r ic c r y s t a l 具有压电效应的晶体. 2 . 3
29、8 压电常数p i e z o e le c t r ic c o n s t a n t 描述压电材料的 力学量和电学量之间锅合关系的三阶张量。 有四 种压电常数( 即: 压电 应变 常数; 压电应力常数; 压电电压常数; 压电劲度常数) ， 它们 所满足的矩阵关系式为: D=d T+ 8 T E或D二e S十e E E二一9 T十尸D或E二一h S十 尸D 2 . 3 9 压电 应变常数 p i e z o e l e c t r i c s t r a i n c o n s ta n t 应力恒定( 或为零) 时， 电 场强度的变化， 引起应变的变化量与电场 强度变化量之比; 或电 场
30、恒定 ( 或为 零) 时. 应力的变化引 起电位移的变化量与应 力变化量之比。 d , : 二 ( as;/m, ) : 或d; = ( a D/ r7 f , ) s ( m, n= 1 , 2, 3 ; i , j二 1 , 2 . . . . . . . . 6 ) 式中: E . 电 场强度分量, V / m; D . 电 位移 分量 C / - I ; S ; 应变分量; ， 应力分量, P a , 2 . 4 0 压电应力常数p i e z o e l e c t r i c s t r e s s c o n s t a n t 应变恒定( 或为零) 时， 电 场强度的 变化引
31、起应力的变化量与电场强度变化量之比; 或电 场恒定 ( 或为零) 时， 应变的变化引起电位移的变化量与应变变化量之比。 e . ; 二 ( - 9 T ,/ a E . ) 二 或、 二 ( 3 D ,. / a S , ) r. ( m, n = 1 , 2 , 3 ; i , j二 1 , 2 . . . . . . . . 6 ) 式中: D m 电位移分量, C / - I , E . 电场强度分量, V / m; S ; 应变分量; T i 应力分量, P a , 2 . 4 1 压电电 压常数 p i e z o e l e c t r i c v o lt a g e c o n
32、 s t a n t 电位移恒定( 或为 零) 时， 应力的 变化引起电 场强度的变化量与应力变化量之比; 或应力恒定( 或 为零) 时， 电位移的变化引起应变的变化量与电位移变化量之比。 外 ， = ( 一 a E . / d T) 。 或9 . 1 = ( a S ; / a D m ) * ( m, n= 1 , 2 , 3; i , j二 1 , 2, - 一 ， 6 ) 式中 : D m 电 位 移 分 量, C / - I , F电场强度分量, V / m; S应变分量; ， ， 应力分量, P a , 2 . 4 2 压电劲度常数 p i e z o e l e c t r i
33、c s t if f n e s s c o n s t a n t 应变恒定( 或为零) 时， 电位移的变化引起应力的变化量与电位移变化量之比; 或电位移恒定( 或 为 零) 时， 应变的变化引起电 场强度的 变化量与应变变化量之比。 h ,， 二 ( 一 a 7 , / d D ) ; 或气 二 一a E/ d S) 。 ( m, n= 1, 2, 3 ; i , j二 L , 2 , - 一， 6 ) 式中 D ， 一 一电 位移 分量， C / m ， ; r一 一 电场强度分量N/ m; GB / T 126 33 一 9 0 s ; 应变分量; T ; 应力分量， P a , 4
34、3 电致伸缩效应e l e c t r o s t r i c t io n e f f e c t 2 . 4 4 2 . 4 6 某些压电 晶体在电场 作用下因感应极化产生弹 性应变， 且应变与电 场的 极性无关， 应变的大小与 电场强度的平方成正比， 这种关系称为电致伸缩效应。 热释电效应 p y r o e l e c t r i c e f f e c t 因温度的变化， 使某些压电 晶体的自 发极化发生变化的 现象称为热释电 效应。 具有 热释电 效应的 晶体称为热释电晶体。 热释电晶体一般具有一级和二级热释电效应。 热释电系数p y r o e le c t r ic c o e
35、 f f i c i e n t 自 发极化强度随温度的变化率称为热释电系数。 凡 = 尸 韶 + 尸 . ”( m二 1 , 2 , 3 ) P . , = OP - / a T ) s s s 氏 ” 一L d , C r a , J ， 1 式中: P . , 二 方向的一级热释电 系数， C / m “ K ; P n二 方向的二级热释电 系数， C / m = “ K ; P -二 方向的自 发极化强度分量， C / m ; T热力学温度， K ; d . i 压电应变常数分量, C / N; c ;. 一 弹 性 刚 度 常 数 分 量, N / m z ; a线热膨胀系数， K
36、- 1 , 频率常数 f r e q u e n c y c o n s t a n t 是压电晶体的某一特征频率与决定该频率的线度尺寸的乘积。 压电振子与特征频率 压电晶 体振子 p ie z o e l e c t r i c c r y s t a l v i b r a t o r 被覆电 极， 能激励振动的 压电晶 体称为压电晶体振子。 压电 振子等效电 路 e q u i v a l e n t c ir c u i t o f p i e z o e l e c tr i c v i b r a t o r 在不考虑介电 损耗的 条件下， 低阻尼单一 振动模式的压电 振子在谐振频
37、率附 近的 参数和特性用 一 相应的电路来表示， 这个电路称为压电振子等效电路。 通常用图3 所示的简化等效电路来表示。 图 3 压电振子的简化等效电路 C 。 一并联电容; C ， 一动态电容; p一动态电阻; L一动态电感 .3 . 3 压电振子的导纳圆 和阻 抗圆 a d m i t t a n c e a n d im p e d a n c e c i r c l e o f p i e z o e le c t r ic v i b r a t o r 在谐振频率附近 ， 压电振子的导纳矢量终端随频率变化在电导、 电纳复平茵上的轨迹圆称为导纳 圆 如图4 ( a ) 所示。 同样，
38、 在 谐振 频率附近， 压电振子的阻抗矢量终端随频率变化在电 阻、 电抗复平 而仁的轨迹圆称阻抗圆。 如图4 ( b ) 所示。 1 0 cc / T 1 2633 一 90 ( a )导 纳 圆 恻蜘 电阻 3 . 6 3 . 7 ( b )阻抗圆 图 4 J 一 谐 振 频 率( 零电 纳， 电 导大 ) ; f 一 反 谐 振 频 率 ( 零 电 抗， 电 阻 方 ) ; f一串联谐振 ( 最大电导) 频率; f ， 一并联谐振 ( 最大电阻)频率; f 。 一最大导纳 ( 最小阻抗)频率; f 一 最小导纳 ( 最大阻抗)频率; c 。 一并联电容; R ; 一动态电阻; 叭一角频率
39、谐振频率 r e s o n a n c e f r e q u e n c y 对于给定的一种振动模式， 在压电振子电纳为零的两个频率中， 对应电导较大的一个频率称为谐 振频率。 反谐振频率 a n t i r e s o n a n c e f r e q u e n c y 对于给定的一种振动模式， 在压电 振子电抗为零的 两个频率中， 对应电阻较大的 一个频率称为反 谐振频率。 串 联 谐 振 频 率 。e r ie s r es o n a n c e fr e q u e n c y 在压电 振子等效电 路中， 串 联支路的 谐振频 率称为串联谐振频率， 也称为最大电 导频率。 并
40、联谐振频率 p a r a l le l r e s o n a n c e f r e q u e n c y 在压电振子等效电路中， 并联回路的谐振频率称为并联6 r , 振频率。 也称为最大电阻频率 最大导纳频率 m a x i m u m a d m i t t a n c e f r e q u e n c y 压电振子导纳最大时的频率称为最大导纳频率， 也称为最小阻抗频率。 Ga/ T 1 263 3一 90 3 . 9 最小导纳 频率 m i n i m u m a d m it ta n c e f r e q u e n c y 压电振子导纳最小时的频率称为最小导纳频率， 也
41、称为最大阻抗频率. 3 . 1 0 最大传输频率 m a x i m u m t r a n s i s s i o n f r e q u e n c y 包含压电振子在内的传输网络最大传输时的频率。 3 . 1 1 最小传输频率 m i n im u m tr a n s i s s i o n f r e q u e n c y 包含压电振子在内的传输网络最小传输时的频率。 3 . 1 2 基音频率 f u n d a m e n t a l f r e q u e n c y 在给定的一种振动模式中， 最低的谐振频率称为基音频率， 简称基频。 3 . 1 3 泛音频率o v e r t
42、 o n e f r e q u e n c y 在给定的一种振动模式中， 除基频以外的谐振频率称为泛音频率。 振 动模式与测试方法 振动模式v i b r a t i o n mo d e 在外电场激励下， 压电振子的振动方式。 压电晶体常用的振动模式有伸缩振动模( 包括横向长度伸缩振动模; 纵向长度伸缩振动模; 径向伸 缩振动模等) ， 切变振动模。 横向长度伸缩振动模 t r a n s v e r s e l e n g t h e x t e n s i o n a l v i b r a t i o n m o d e 在如图5 所示的交变电场激励下， 薄长条片振子产生沿长度方向的
43、 伸缩振动， 其质点振动方向 与弹 性波的传播方向都与电场方向垂直， 这种振动模式称为横向长度伸缩振动模。 电场方向 几n“n“八订v 质 点振动方 向 ，目 目一-一. .卜 波的 传播方向 图 5 横向长度伸缩振动模 4 . 3 纵向长度伸缩振动模 lo n g i t u d in a l l e n g t h e x t e n s io n a l v ib r a t i o n m o d e 在如图6 所示的交变电场激励下， 细长棒振子产生沿长度方向的伸缩振动 其质点振动方向与弹性 波的传播方向都与电场方向平行， 这种振动模式称为纵向长度伸缩振动模 波的传接方向 ，.于、.
44、质点振动方向 电场方向 口“凸V 图 6 纵向长度伸缩振动模 4 . 4 径向伸缩振动模r a d ia l e x t e n s io n a l v i b r a t io n mo d e 在外加交变电 场激励下， 若薄圆片振子产生沿半径方向 的伸缩振动， 这种振动模式称为 径向伸 缩 振动模。 该模式的质点振动方向与弹性波的传播方向都与半径方向平行， 如图7 所示 c s / T 1 2 6 3 3 一 9 0 电场方向 .八异”凸V d -I 传播向 图7 径向伸缩振动模 厚度伸缩振动模t h i c k n e s s e x t e n s io n a l v i b r
45、a t io n m o d e 在外加交变电 场激励下， 若薄片振子产生厚度方向的伸缩振动， 这种振动模式称为厚度伸缩振动 模。 该模式的质点振动方向与弹性波的传播方向 都与 厚度方向 平行， 如图 8 所示。 电场方向 血n丫”“Ov ( a) 垂直场( b ) 平行场 图 8 厚度伸缩振动模 4 . 6 厚度切变振动模t h i c k n e s s - s h e a r v i b r a ti o n m o d e 在外加交变电 场激励下， 若与 厚度方向平行的晶片截面产生切变振动， 这种振动模式称为 厚度切 变振动模。 该模式的质点振动方向与弹性波的传播方向垂直， 如图9 所
46、示。 质点 振动方 向 波的传播方向 电场方向 六n下“业U丫 ( a) 垂 直 场( b ) 平 行 场 图 9 厚h切变振动模 cs / T 1 263 3一 90 4 . 7 传输线路法t r a n s m i s s i o n c i r c u it m e t h o d 通过测量包含压电振子在内的传输网络的最大传输频率和最小传输频率， 情确确定被测压电振子 的串联谐振频率和并联谐振频率的方法。 通常采用的传输线路法有定电压传输线路法和定电流传输线路法。 4 . 8 谐振一 反谐振法r e s o n a n c e - a n t i r e s o n a n c e m e t h o d 用谐振、 反谐振频率确定材料参数的方法。 4 . 9 泛音比法o v e r t o n e r a t i o me t h o