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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国， 电 子 行 业 标 准 WG K型微控扩散系统完好要求 和检查评定方法 s J / r 3 1 1 1 2 - 9 4 主肠内容与适用范围 本标准规定了WGK型微控扩散系统的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于 WGK型微控扩散系统。 2 名词与术语 2 . 1 恒温区长度达到稳定温度及精度时炉管内连续温区的长度。 2 . 2 静态炉管两端用耐火材料基本封闭， 炉膛无明显气流扰动的情况。 2 . 3 升温功率从室温升至工作温度的过程中所需的最大功率。 2 . 4 恒温功率达到稳定1 2 0
2、0 时维持恒温所需的功率。 2 . 5 单点温度稳定性达到稳定工作温度后炉管中点在规定时间内温度的偏差。 2 . 6 定值重复性 改 变定值而后重新回 到原定值时温度的偏差。 2 . 7 开机重复性 指 关炉2 4 h 后重新开机达到工作眼度与精度， 其稳定温度与关炉前温度 的偏差。 2 . 8 层间影响多管炉中一管工作时， 相邻管对管的影响。 完好要求 3 . 1主要性 能 3 . 1 . 1 工作温度范围: 标准型: 3 0 0 - 1 2 0 0 C ; 高温型: 3 0 0 -1 3 0 0 C. 3 . 1 . 2 单点温度稳定性: 6 7 0 -1 2 4 0 C士。 . 5 C/
3、 2 4 h ; 3 0 0 - 1 3 0 0 C士1 C / 2 4 h, 3 . 1 . 3 恒温区长度及精度: 士0 . 5 C / 8 0 0 m m ( 1 2 0 0 C) , 3 . 1 . 4 升 温时间: 1 0 0 0 0c 时6 C / m i n ; 墓1 0 0 0 时4 C / mi n 中华人民共和国电子工业部1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准 1 9 9 4 - 0 6 - 0 1 实施 447 s ,l / T 3 1 1 1 2 - 9 4 3 . 1 . 8 定值重复性: 士。 . 5 C; 3 . 1 . 9 开机重复性 : 土。 . 5 C
4、; 3 . 1 . 1 0 层间影响: 士。 . 2 5 C. 3 . 1 . 1 1推角速度 行程1 2 0 0 mm; 摆速1 0 0 3 0 0 / mi n可调; 摆幅1 0 -2 0 mm可调; 3 . 1 . 1 2 石英工序管有效内径) 1 3 0 mm o 3 . 1 . 1 3 净化台操作面净化级别; 一万级厂房中达一百级( 静态) 。 3 . 1 . 1 4 气柜管路系统漏气率1 . 0 1 3 3 X 1 0 - P a - m / s e c - H e ; 3 . 1 . 1 5 电源2 2 0 V士1 0 %, 3 8 0 V士1 0 y o , 5 0 Hz .
5、3 . 2 微机控制系统 3 . 2 . 1 单管单控， C R T显示， 薄膜操作面板， 除装卸片外， 进舟、 氧化、 扩散、 出舟、 送气整个工 艺过程全部由计算机控制。 3 . 2 . 2 可编程工艺步)3 0 步， 每步定时范围。 h o mi n o s -2 9 9 h 5 9 m i n 5 0 s ， 存储五条以上成熟的 工艺曲线、 控制系统具有在线操作、 掉电保护、 工艺曲线存储、 故障自诊断， C R T显示， 恒温区 自调整， 板警保护等功能。 3 . 2 . 3 微机控制系统各开关、 按钮、 操作键完整无损， 动作灵敏、 可靠， 控制装置各组成部分保 持完整、 功能齐全
6、， 性能稳定， 工作状态良好， 显示清晰。 3 . 2 . 4 显示器能正常显示通电自检的正常信息， 微机系统通电自 检功能必须正常。 3 . 2 . 5 输入/ 输出程序正确无误。 3 . 2 . 6 打印机、 穿孔机与主机接口良好. 工作正常。 3 . 2 . 7 装置内部清洁， 布线整齐， 线路无老化、 破裂， 各线路标志齐全、 正确 3 . 2 . 8 所有裸露导体件( 包括外壳) ， 必须与保护接地端子构成通路， 保证有永久良好的导电 性， 保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于l o , 3 . 3 电气系统 3 . 3 . 1 外部导线有完整的保护装
7、置， 线路外套管无脱、 破损、 漏电现象。 3 . 3 . 2 电气箱内清洁， 布线整齐， 线路绝缘层无老化、 破裂现象; 线路标志齐全、 明显， 各端子 联接牢固、 无松动; 电器性能灵敏， 运行可靠。 3 . 3 . 3 各种开关、 按钮动作灵敏， 安全可靠。 3 . 3 . 4 各种仪表指示正确， 误差在允差范围内， 有有效期校验合格证。 3 . 4 气路系统 3 . 4 . 1 气路系统装置齐全、 整洁， 管路联接牢固、 密封性好， 无泄漏。 3 . 4 . 2 各元件动作灵敏、 可靠， 阀与管道联接密封良好， 无泄漏。 3 . 4 . 3 各种仪表性能灵敏， 指示正确， 有有效期内校
8、验合格证。 3 . 5 操作系统 3 . 5 . 1 各操作开关、 按钮启动灵活， 定位标志齐全、 可靠。 3 . 5 . 2 各种保 护装置齐全 ， 性 能灵敏 ， 安全 可靠 。 4 48 S J / r 3 1 1 1 2 -9 4 3 . 6安全 防护 3 . 6 . 1 各安全防护装置、 报警装置状态良好， 功能齐全、 有效， 性能灵敏、 可靠 3 . 6 . 2 设备接地可靠， 标志明显。 I7 维护保养 3 . 7 . 1 净化工作台操作面的净化级别， 必须达到并保持在规定范围内 17 . 2 其 它按 S J / T 3 1 0 0 2 -9 4 设备维护保养通则 执行 检 查
9、、 评定方法 4 . 1 检查方法 4 . 1 . 1 单点温度稳定性 静态下， 升温至工作温度， 待稳定后， 用标准铂铭一铂测量热电偶， 每1 0 m i n ， 连续2 4 h测得 炉膛中点的温度， 然后用均方根值法或最大偏差法( 即所测各点最大值与最小值之间的差值) . 求出温度偏差值， 再除以2 . 4 得单点稳定度。 4 . 1 . 2恒温度 长度 及精 度 静态下， 升温至工作温度， 待稳定后， 沿炉膛中心轴线， 从恒温区距炉口最远点测起， 每 o m i n ( 测量点间隔l o o mm) 测一点， 依次往炉口方向连测9 点， 所测点温度间的最大偏差， 即为 8 0 0 m 。
10、恒温区精度。 4 . 1 . 3 升温时间 将温度预置为1 2 0 0 c， 从开始升温计时. 升至1 2 0 0 时， 所需的时间， 即为升温时间。 4 . 1 . 4 升温功率 静 态 下， 炉 子 全 速 升温 时， 测 得 炉 子 的 总电 流1 ， 然 后 再 测当 时 的 电 网电 压U， 即 得升 温 功率W升二U I。 4 . 1 . 5 恒温功率 静态下， 升温至1 2 0 0 C, 温度稳定后测得炉子的维持电流 练. 再测当时的电网电压v, 即 得恒温功率W, =v I , 4 . 1 . 6 定值重复性 静态下， 升温 至某 一定值 ， 稳定后测得 炉管 中点温 度 ，
11、:， 然后改变定 值 ， 最 后再恢复 原定 值， 待稳定再测炉管中点温度c， 则按下列公式计算: 定 值 重 得 性 一 士 号鱼 一 ( : ， 4 . 1 . 了 开机重 复性 静态下， 升温至工作温度， 待稳定后测得炉管中点温度值t , 值， 稳定后测得炉管中心温度t 2 ， 则: 开机重复性 =士 2 ， 然后关机2 4 h ， 再升温 至原定 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 2 ) 4 . 1 . 8层间影响 静态下， 一管升温至工作温度， 稳定后测得单点稳定性， 再使相邻管工作， 此过程中第二管 对第一管单点稳定
12、性的影响， 即为层间影响 44 9 S J / r 3 1 1 1 2 - - 9 4 4 . 1 . 9 净化台操作面的净化级别 用“ 尘埃粒子计数器” 测量 4 . 1 . 1 0 气路系统的漏气率 按 H e检漏仪的需要， 将每路气路接入检漏仪检漏， 即可得出气路系统的漏气率。 4 . 1 . 1 1 对各系统完好要求所列内容， 在设备现场， 采用主观法检查 车2 评定方法 4 . 2 . 1 完好要求所列内容中， 3 . 1 . 2 , 3 . 1 . 3 , 3 . 1 . 5 , 3 . 1 . 8 , 3 . 1 . 9 , 3 . 1 . 1 3 , 3 . 1 . 1 4 ,
13、 3 . 6 . 1 , 3 . 6 . 2 为主要项目， 其余为次要项目 4 . 2 . 2 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 设 备。 4 . 2 . 3 完好设备的维护保养， 应达到优等设备标准。 附 加说 明 9 本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本标准由电子工业部第4 8 所组织起草。 本标准主要起草人: 陆浩良二 45 0 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/