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1、靜 電 知 識 及 靜 電 防 護 基 礎,目 錄 靜電知識 靜電的概念 靜電產生的物理過程 靜電產生的物理效應 靜電對半導體元件的不良影響 電子廠典型靜電源 靜電防護基楚 靜電控制原理 防靜電用品(裝備)及其使用,靜電的概念,靜電是電荷的產生與消失過程中產生的 電 現 象 的 總 稱,特 點 高電位 低電量 小電流 作用時間短 復現性差 瞬間現象多 受濕度影響較大,靜電產生的物理過程,摩擦起電機理,靜電產生的物理過程,接 觸,電荷轉移,偶電層形成,電荷分離,靜電 產生的方式 接 觸 摩 擦 沖 流 冷 凍 電 解 壓 電 溫 差 .,靜電產生,靜電產生的物理效應,力學效應(靜電吸附) 放電效
2、應(ESD) 放電感應效應(靜電感應),靜電對半導體元件的不良影響(一),靜,附,吸,電,靜電粒子,塵埃粒子,靜電吸附使IC等半導體制程良率受到影響,同時為了防止靜電吸附工廠對於制程空氣的潔淨投入極大成本,靜電對半導體元件的不良影響(二),靜電放電(ESD)引起器件擊穿,接觸-分離,摩擦,感應致人體/設備等產生並釋放靜電荷,芯片局部被形成硬擊穿或軟擊穿,靜電放電中,電荷的 迅速流動會引起很 大的瞬間電流,強烈 的電場和電磁輻射。 當放電通過或接近 電子零件時,會損毀 電子零件。,靜電對半導體元件的不良影響(三),靜電感應之靜電源使半導體蕊線,工具,包裝容器等產生較高靜電壓,會對半導體蕊片介質放
3、電,芯片局部被形成硬擊穿或軟擊穿,容器等上感應靜電形成靜電壓,電,靜電對半導體元件的不良影響(四),1,0,1,0,靜電放電時產生的電磁脈沖信號,計算機正常工作時電平信號,受幹攏后計算機產生翻轉信號,靜電放電時產生的電磁脈沖 1.可使計算機產生誤動作； 2.強能量脈沖,可使靜電敏感器件破壞,靜電對半導體元件的不良影響(五),電子廠典型靜電源,人體靜電源,步 行 起 電 摩 擦 起 電 靜 電 感 應 起 電,人體靜電,產生原因,電子廠典型靜電源,人體靜電源,人體對地的電阻 不同布料制成的服裝和濕度關系 人體電容,影響人體,帶電因素,電子廠典型靜電源,電子廠典型靜電源,電子裝配生產中的靜電源(1
4、),工作服: 同外物摩擦可產生6000V以上的靜電電壓並使人體帶電, 從而通過人體放電使器件電介質擊穿. 工作鞋: 達1013 ohm以上的一般工作鞋同地面摩擦產生的靜電傳 致人體及衣服,使人體靜電不能快速泄漏從而對元器件 產生不良影響. 樹脂、浸漆封裝表面:該類物件包裝后,於運輸過程中同外物摩 擦,在其表面可產生幾百伏以上的靜電電壓,造成器件產 生不良影響.,電子廠典型靜電源,電子裝配生產中的靜電源(2),各種包裝容器: 用PE、PP 、PS 、PVC 、PUR等高分子材料制 備的包裝及元件盒其摩擦靜電壓可達1.53.5 KV. 終端台、工作台: 表面摩擦靜電,可對放置其上的電子器件放電.
5、各種絕緣地面: 易產生摩擦靜電,同時也不利於靜電泄漏. 溫箱: 熱循環空氣同箱體摩擦產生靜電,對器件熱烘處理不利. 空氣壓縮機: 空氣的劇列流動或介質與噴嘴摩擦產生靜電可損壞 電子器件. 某些電子生產設備: 焊烙鐵,波峰焊機等某些元件裝配設備可因 其本身的電流/電壓變化感應靜電電壓而損壞電子器件.,靜電控制原理,靜電泄漏與耗散 靜電中和 靜電屏蔽與接地 增濕,: : : :,防靜電用品(裝備)及其使用(1),人體靜電防護系統,防靜電手腕帶、手套,防靜電用品(裝備)及其使用(1),人體靜電防護系統,防靜電工作鞋、襪,防靜電用品(裝備)及其使用(1),人體靜電防護系統,防靜電工作服 防靜電工作帽,防靜電用品(裝備)及其使用(2),防靜電地坪系統,通常防靜電地坪電阻應設定在105108 OHM范圍內,防靜電橡膠板地面 防靜電塑料地板 防靜電地毯 防靜電活動地板 防靜電瀝青砂漿地坪 水泥類防靜電地坪,: : : : : :,防靜電用品(裝備)及其使用(3),防靜電操作系統,防靜電台墊 防靜電工作椅(凳),: :,防靜電用品(裝備)及其使用(3),防靜電操作系統,防靜電塑料包裝袋 防靜電硬塑料容器 防靜電包裝盒、條、管 防靜電周轉小推車 防靜電維修包 防靜電工具 其它防靜電用品(離子風扇/毛刷/海綿/ 支架/),: : : : : : :,