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1、韩一真空镀膜机操作规程1. 机械检查关键此工程为检查Inter-lock(报警系统). 设备安装后需进行，请检查操作按装阀（冷却水压键贴在水冷系统），按照水冷方法，水压价值变化大。控制设备后面的气压6kgf/cm 2. 加热结束后一般扩散甭的冷却水温度为22-28。2.检查工程1）不供应冷却水2) 供应主电源。3) W-PS 灯闪动时，报警工作。4) 供应冷却水。5) 冷却水灭灯时，报警停止。灯为“on”和冷却水供应状态下报警不工作时，设定冷却水压键大。冷却水供应时状态灯还继续闪动时请检查适当的冷却水量和设定适当的价值最少2.2Kg f/cm2。6)被气体控制器气压设定为6Kg f/cm2 时
2、需供应6Kg f/cm2 以上。气压键要设定最少5Kg f/cm2.3设备操作1)供应设备主电源。2)供应压缩气体。3)供应冷却水。4)按电源键和拨上控制箱（操作箱）里面的主键，通过此电源会供应。电源供应时，此以自动操作为设计。报警工作时停门铃后请检查错误。5)按RUN 操作键(设备准备状态).按RUN 操作键时，机械甭，萝茨甭(Mechanical booster pump), 低真空阀(Fore line valve) 扩散甭(Diffusion pump)自动为ON状态，并且扩散甭(Diffusion pump) 灯会闪动。主扩散甭加热器为加热主扩散甭的加热工作50 分钟内灯会闪动。过5
3、0 分钟，主加热器自动会停而不再闪动。只要扩散甭的主加热器工作，扩散甭灯为ON.4.真空室真空排气及自动操作电源供应后自动操作方式会选择。上述的准备状态结束后请开始自动操作，而真空室为真空状太时请按入下开门方法进行操作。1)真空室真空排气1) 按RUN 操作键(5 秒后，低真空阀为off和粗真空阀为ON。)2）R/V(粗真空阀)为ON时，按RUN键。R/V(粗真空阀) 将会关闭约5 秒后 F/V(低真空阀)会打开而低真空阀打开后又过5 秒后 L/V(充气阀) 将会打开。真空室VENT 结束后真空室门会自动打开而 L/V 将关闭。2)自动运行把设备准备以后开始自动运行。把产品安装在架，按如下顺序
4、进行工作。操作之前，选择下面键为AUTO。(ROTATION, POCKET, SHUTTER, HEATER, 电子束EXT 方式)1） 把产品安装在真空室内部的架上，关闭真空室门后按RUN 键。(此时报警响长一次，确认真空室门会感知门深头与否。自动运行真空工程(关上真空室门而按RUN 键) 为如下 。(F/V OFF (5 秒后) R/V ON(真空室低真空完成真空度5 x 10-2 Torr 真空计接点B2) R/V OFF(5 秒后) F/V ON(15 秒后) M/V ON(5 秒后) 加热器为ON ,架旋转的过程自动会进行。2） 自高真空蒸镀信号出来(蒸镀真空镀为2.0 x 10-
5、5 ，真空计接点D4) IC-5 自动开始，电子束自动点灯着蒸镀全自动地进行。3） 蒸镀完成后从IC-5 收到蒸镀完成信号阀门会自动工作如下。(M/V 关闭, HEATER 关闭,ROTATION 关闭(冷却时间设定状态)冷却计时器工作结束 V/V ON 的过程自动进行。4） VENT 结束后真空室门自动打开。5） 真空室门打开后把产品拿出。5排气工程1) 按VENT S/W 键时， DELAY TIME 后排气。6工作结束后关上设备电源时，工作结束后关上设备时按如下方法关闭。1) 使真空室真空化。2) 使真空室真空化过程中到高真空使真空，真空室真空度达到约2.0 E-4Torr，按 S/OFF键，根据如下顺序阀会工作。M/V 关闭 , D/P 关闭 (50 分钟后) F/V 关闭 (5 秒后) R/P , MBP 关闭 (5 秒后) 电源断绝