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1、精品 料推荐脉冲激光沉积PLD简单来说,脉冲激光沉积 PLD(Pulsed Laser Deposition) 就是脉冲激光光束聚焦再固体靶面上,激光超强的功率使得靶物质快速等离子化,然后溅镀到目标物上。脉冲激光沉积的优点有:1. 由于激光光子能量很高,可溅射制备很多困难的镀层:如高温超导薄膜,陶瓷氧化物薄膜,多层金属薄膜等; PLD 可以用来合成纳米管,纳米粉末等2. PLD 可以非常容易的连续融化多个材料,实现多层膜制备3. PLD 可以通过控制激光能量和脉冲数,精密的控制膜厚。脉冲激光沉积对激光器的要求有:1.尽可能避免热效应:激光波长越短,越容易实现“冷加工 ”所以 193nm,248
2、nm 的准分子激光器和266nm,355nm 的高次谐波ND:YAG 固态激光器为客户所常用2. 大能量,短脉冲创造超过靶材的阈值的功率密度3. 比较高的重复频率,提升溅射速度。4. 激光器使用简单,寿命长,易于维护(这一点Nd:YAG 固态激光器要好于准分子激光器)1精品 料推荐先锋公司相关产品激光光源部分:法国Quantel 公司的脉冲Nd:YAG 激光器,(链接 )推荐型号:1.Brillant B 系列:即插即用型 3倍频( 355nm), 4 倍频( 266nm)结构;用户使用方便,也是商用 PLD 系统 OEM 厂家的选择。2.YG980 系列:高能量输出,工作稳定,维护方便。是科研用PLD 系统的首选。测试系统部分:1.等离子体光谱测试系统:英国 Andor 公司,2.真空腔残余气体分析仪:美国SRS 公司 RGA200 等3.红外热像仪:美国 Electrophysics 公司 PV320 等2