现代表面技术的应用.pdf

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1、综? 述现代表面技术的应用 上海交通大学表面工程研究所( 上海 ? 200030)?顾? 迅 ?摘要 ? 阐述了现代表面技术应用的重要性以及在结构材料、 功能材料、 新型材料、 光电子学、 微电子学、 微型机电系统、 环境工 程等领域中的应用概况, 展望了表面技术的应用前景。 关键词:表面技术? 结构材料? 功能材料? 新型材料? 光电子学? 微电子学? 微型机电系统? 环境工程 Application of Modern Surface Technology Gu Xun (Institute of Surface Engineering, Shanghai Jiaotong Univers

2、ity, Shanghai? 200030) ?Abstract In this work, the importance of modern surface technology and its applications in structure materials, function materials, ad? vanced materials, optoelectronics, microelectronics, micro?electromechanical system, environmental engineering are expounded. T he prospect

3、about application of surface technology is looked. Key words:surface technology, structure materials, function materials, advanced materials, optoelectronics, microelectronics, micro ?elec ? tromechanical system, environmental engineering 1 ? 前言 近 30 多年来人们对传统表面技术进行了一系列改进、 复 合和创新, 使大量的现代表面技术涌现出来, 在各个

4、工业部 门、 农业、 生物、 医药以及日常生活中有着广泛而重要的应 用 1。 表面技术的应用所包含的内容十分广泛, 可以用于耐蚀、 耐磨、 修复、 强化、 装饰等, 也可以是光、 电、 磁、 声、 热、 化学、 生 物等方面的应用。表面技术所涉及的基体材料不仅是金属材 料, 也包括无机非金属材料、 有机高分子材料及复合材料。表 面技术的种类很多, 把这些技术恰当地应用于构件、 零部件、 元器件以及各种材料, 可以获得巨大的效益。 表面技术应用的重要性主要在于: (1) 材料的疲劳断裂、 磨损、 腐蚀、 氧化、 烧损、 辐照损伤 等, 一般都是从表面开始的, 而它们带来的破坏和损失是十分 惊人的

5、, 例如仅腐蚀一项, 全世界每年损失金属达 1 亿吨以 上, 工业发达国家因腐蚀破坏造成的经济损失约占国民经济 总产值的 2% 4% 。因此, 采用各种表面技术, 加强材料表 面保护具有十分重要的意义。 (2) 可以赋予材料表面功能特性, 包括光、 电、 磁、 热、 声、 吸附、 分离等等各种物理和化学性能。材料存在的形式或状 态与组成粒子( 分子、 原子、 电子等) 及其结合的特性有关, 在 一些特殊条件下材料能以某种不寻常的形式或状态出现, 并 由此获得各种优异的性能。表面技术可以在广阔的领域中, 通过各种条件的控制, 制备得到一系列新材料和新器件, 成为 光学、 电学、 磁性、 量子、

6、热工、 声学、 光电子、 微电子、 化学、 生 物等功能材料或器件生产的最重要基础之一。 (3) 在许多情况下, 构件、 零部件、 元器件以及产品的性 能和质量, 主要取决于材料表面的性能和质量。 例如许多电 顾? 迅: 男, 教授, 所长。曾任教于金属热处理、 材料科学、 固体物理等 专业。著有!金属学、 !材料科学及其新技术、 !材料表面技术及其应 用手册、 !现代表面技术, 公开发表论文 58 篇。曾获全国高等学校 优秀教材奖、 全国科学大会奖等。收稿日期: 1998 年10 月 8 日 子电器产品由于表面技术有了很大的改进, 材料表面成分和 结构得到严格的控制, 同时又能进行高精度的微

7、细加工, 因而 不仅做得越来越小, 而且生产的重复性、 成品率和产品的可靠 性、 稳定性都获得显著的提高。表面加工技术, 尤其是微细加 工, 已经成为集成电路、 半导体、 微波、 声表面波、 光集成、 微型 机电系统 2等许多先进技术的发展基础。 (4) 许多产品的性能主要取决于材料表面的特性和状 态, 而表面(层) 很薄, 用材十分少, 因此表面技术可以最低的 经济成本来生产优质产品。同时, 许多产品要求材料表面和 内部具有不同的性能或者提出其他一些棘手的难题, 如# 材料 硬而不脆、 # 耐磨而易切削、 # 体积小而功能多等等, 此时表 面技术成了必不可少或唯一的途径。 本文从一些重要的角

8、度概括和探讨了表面技术的应用, 同时展望了表面技术的应用前景。 2 ? 表面技术在结构材料中的应用 结构材料主要用来制造工程建筑中的构件, 机械装备中 的零部件以及工具、 模具等, 在性能上以力学性能为主, 在许 多场合又要求有良好的耐蚀性和装饰性。表面技术在这方面 起着防护、 耐磨、 强化、 修复、 装饰等重要作用。 2?1? 材料防护 表面防护具有广泛的涵义, 这里主要指材料表面防止化 学腐蚀和电化学腐蚀的能力。自然界腐蚀问题是普遍存在 的。工程上主要从经济和使用可靠性等角度来考虑这个问 题。有时宜用价廉的金属定期更换旧的腐蚀体, 但在许多情 况下必须采用一些措施来防止或控制腐蚀, 如改进

9、工程构件 的设计, 加入合金元素, 尽可能减少或消除材料中的电化学不 均匀因素, 控制环境, 采用阴极保护法等等。另一方面采用各 种表面技术也是十分重要的, 因为它们可以改变材料表面的 成分和结构以及施加各种覆盖层来显著提高材料的防护能 力。如前所述, 材料受腐蚀破坏是十分惊人的, 这是人们高度 重视表面技术的一个重要原因。 2?2? 提高材料耐磨性 耐磨性是指材料在一定的摩擦条件下抵抗磨损的能力。 1 !金属热处理1999 年第 4 期 磨损是材料 3 种主要失效形式之一。磨损与材料特性以及载 荷、 速度、 温度等外界条件有关。目前对磨损的分类尚未完全 统一, 大致有磨料、 粘着、 疲劳腐蚀

10、、 冲蚀、 气蚀等磨损, 正确判 定磨损类别是选材和采取保护措施的重要依据。磨损是从材 料表面开始的, 采用各种表面技术是提高材料耐磨性的有效 途径之一。 2?3? 表面强化 强化与防护一样, 具有广泛的涵义。这里说的表面强化, 主要指通过各种表面强化处理来提高材料表面抵御除腐蚀和 磨损以外的环境作用的能力。其中, 疲劳强度是一个很突出 的性能。疲劳破坏也是从材料表面开始的。机械失效有一半 以上归因于疲劳破坏。尤其重要的是, 疲劳为一种潜在的失 效方式, 在最大应力低于屈服应力条件下疲劳裂纹也能成核 和扩展, 从而导致灾难性断裂事故。采用各种表面技术, 如表 面热处理、 化学热处理、 喷丸、

11、滚压、 激光表面处理等, 可以显 著提高材料的疲劳强度。 表面强化还包括其他一些重要情况。例如许多制品要求 表面强度和硬度高, 而心部韧性好, 以提高使用寿命。通过合 理选择材料和表面强化处理, 能够达到这个要求。 2?4? 表面修复 在工程上, 生产与维修都是生产力的重要组成部分, 维修 是保证设备正常运行和充分发挥效能的基本要素之一 5。许 多机器的零部件因表面强度、 硬度、 耐磨性、 耐蚀性等不足而 逐渐磨损、 剥落、 锈蚀, 最后失效。利用堆焊、 电刷镀、 热喷涂、 电镀、 粘结等表面技术, 往往不仅能修复尺寸精度, 而且能恢 复或提高表面性能, 保证生产运行, 延长设备使用寿命, 由

12、此 带来的经济效益也是十分可观的。 2?5? 表面装饰 表面装饰主要包括光亮( 镜面, 全光亮, 亚光, 光亮缎状, 无光亮缎状等)、 色泽(各种颜色和多彩等) 、 花纹( 各种平面花 纹, 刻花, 浮雕等)、 仿照(仿贵金属, 仿大理石, 仿花岗石等) 等 多方面特性。用恰当的表面技术可装饰各种材料表面, 不仅 方便、 高效, 而且美观、 经济, 故应用广泛, 并形成了很大的产 业。 3 ? 表面技术在功能材料中的应用 虽然材料根据所起的作用大致可以分为结构材料和功能 材料两大类, 但是确切地说, 并非结构材料以外的材料都可称 为功能材料。实际上, 功能材料主要指那些具有优良的物理、 化学和

13、生物等功能及其相互转化的功能, 而被用于非结构目 的的高技术材料。这类材料常用来制造各种装备中具有独特 功能的核心部件, 并往往与元器件# 一体化, 即常以元器件形 式对其性能进行评价。表 1 为表面技术在功能材料中的部分 应用情况, 所用的表面技术主要有气相沉积、 涂装、 电镀、 化学 镀、 化学转化处理等。 4 ? 表面技术在新型材料中的应用 新型材料又称先进材料, 为高技术的一个组成部分。它 们是正在发展的、 具有优异性能的材料, 也是新技术发展中所 必需的物质基础, 其中有些新型材料将对今后技术和经济的 发展产生深远的影响。表面技术在研制和生产新型材料方面 是十分重要的, 现举例如下。

14、 4?1? 金刚石薄膜(Diamond Film) 它可以用热化学气相沉积(TCVD)和等离子体化学气相 沉积( PCVD)等技术在低压或常压条件下制得。这种材料硬 度高, 室温导热性好, 绝缘, 稳定, 在很宽的光波范围内透明, 并有较宽的禁带宽度, 可能是新一代半导体材料。 4?2? 类金刚石碳膜( Diamond Like Carbon Film) 它是一种具有非晶态和微晶结构的含氢碳膜, 又名 i ?c 膜、 a ?c%H 膜等, 通常用低能量的碳氢化合物经等离子体分解 或碳离子束沉积技术制得。这种材料的一些性能接近金刚石 膜, 如具有良好的硬度、 导热、 绝缘、 光透过性能。 4?3

15、? 立方氮化硼膜( Cubic Boron Nitride Film) 它主要用气相沉积方法制得, 硬度仅次于金刚石而耐氧 化、 耐热性和化学稳定性比金刚石膜更好, 并且具有高电阻 率、 高热导率, 掺入某些杂质可成为半导体。 4?4? 超导薄膜( Superconducting Film) 如 YBaCuO 膜等, 主要用真空蒸发、 溅射、 分子束外延等 方法制备, 沉积后为非晶态, 经高温氧化处理后转变为具有较 高转变温度的晶态薄膜。 4?5? LB薄膜(Langmuir Blodgett Film) 它是有机分子器件的主要材料, 由羧酸及其盐、 脂肪酸烷 基族以及染料、 蛋白质等有机物构

16、成的分子薄膜。 4?6? 超微颗粒型材料( Ultramicrograined Materi? als) 3 它用气相沉积等方法来制备, 颗粒尺寸大致为 1nm 10nm, 称纳米微粒, 在光、 电、 磁、 热、 力、 化学等方面有着许多 奇异的特性。 4?7? 纳米固体材料( Nanosiyed Materials) 它是由尺寸小于 15nm 的超微颗粒经高压制成, 或再经 一定热处理后形成具有超细组织构成的固体材料, 在力、 热、 磁等性能方面与同成分普通材料往往有很大差异。 4?8? 超微颗粒膜材料(Ultra ?micrograined Film Ma? terials) 它是将超颗粒

17、嵌于薄膜中构成的复合薄膜, 在电子、 能 源、 传感器等方面有良好的应用前景。 4?9? 非晶硅薄膜(Amorphous Silicon Film) 它用气相沉积等方法制备, 具有合适的禁带宽度, 较高的 光吸收系数和光电导率, 便于大面积薄膜工艺生产。 4?10? 碳 60( Buckminster Fullerene) 它是碳蒸气骤冷淬火时通过质谱图发现的, 四周由 12 个 正五边形碳环( 碳?碳单键结构) 和 20 个正六边形碳环(苯环 式) 构成, 宛如一个# 足球, 即由 60 个碳原子组成的空心圆球 状具有芳香性的分子。这种材料及其各种衍生物因具有一些 独特性能( 如超导性等)而

18、备受重视。 4?11? 纤维增强陶瓷基复合材料( Fiber Reinforced Ceramic Matrix Composite) 它是以各种金属、 玻璃、 陶瓷等纤维为增强体, 以水泥、 玻 璃 、 陶瓷等为基体, 构成的复合材料, 其中纤维往往必须通过 2 !金属热处理1999 年第 4 期 表 1? 表面技术在功能材料中的部分应用1, 4 特性功? ? 能应用举例特性功? ? 能应用举例 光学 反射性反射镜 防反射性防眩零件 增透性增透膜 光选择透过 反射红外线、 透过可见 光的透明隔热膜 分光性用多层介质膜组成的分光镜 光选择吸收太阳能选择吸收膜 偏光性起偏器 发光光致发光材料 光

19、记忆薄膜光致变色材料 电学 导电性表面导电玻璃 超导性用表面扩散制成的Nb3Sn 线材 约瑟夫逊效应约瑟夫逊器件 各种电阻特性膜电阻材料 绝缘性绝缘涂层 半导性半导性材料( 膜) 波导性波导管 低接触电阻特性开关 磁学 存储记忆磁泡材料 磁记录磁记录材料 电磁屏蔽电磁屏蔽材料 热学 导热性散热材料 热反射性热反射镀膜玻璃 吸热性, 蓄热性集热板 热膨胀性双金属温度计 保温性, 绝热性 耐热性 吸热性 保温材料 耐热涂层 吸热材料 声学 声反射和声吸收吸声涂层 声表面波声面波器件 化学 选择过滤性分离膜 活性活性剂 耐蚀防护涂层 防沾污性医疗器件 杀菌性餐具镀银 功 能 转 换 光 ?电转换薄膜

20、太阳能电池 电 ?光转换电致发光器件 热 ?电转换电阻式温度传感器 电 ?热转换薄膜加热器 光 ?热转换选择性涂层 力 ?热转换减振膜 力 ?电转换电容式压力传感器 磁 ?光转换磁光存贮器 光 ?磁转换光磁记录材料 一定的表面处理, 使纤维与基体# 相容, 并对纤维有保护作 用。它具有高强度、 高韧性和热化学稳定性。 4?12? 梯度功能材料( Functionally Gradient Materi? als) 用等离子喷涂、 离子镀、 离子束合成薄膜技术、 化学气相 沉积、 电镀等表面技术, 使两种不同性质材料的组成和结构得 到连续、 平稳的变化。这种材料具有优异的耐热性、 机械强度 等性

21、能。 5 ? 表面技术在光电子领域中的应用 光学与电子学相结合而形成的光电子学, 自从出现激光 器, 即人类获得光谱波段的相干电磁振荡源以来, 原来无线电 频率下几乎所有传统电子学的概念、 理论和技术原则上都可 以延伸到光频波段。光电子学及技术是今后科学技术进步的 主要领域之一, 尤其在信息的获取、 传递和处理等方面, 光电 子技术是核心技术, 而大量的光电子材料和器件是用表面技 术加工制造的。 5?1? 光电子器件和材料 光电子器件主要有两大类: 图形曝光技术。包括遮蔽 式复印曝光技术, 投影成像曝光技术, 扫描成像技术; ( 图形 刻蚀技术。包括湿法刻蚀技术, 干法刻蚀技术。 6?2? 精

22、密控制掺杂技术 它是应用离子掺杂技术, 精密地控制掺杂层的杂质浓度、 深度及掺杂图形几何尺寸。内容有: 离子 束直接注入成像技术。 6?3? 超薄层晶体及薄膜生长技术 它是集成电路生产过程中在半导体基体表面生长或淀积 各种外延膜、 绝缘膜或金属膜的工艺技术。内容有: 离子束外延技术; ( 分子束外延技术; )低温 化学气相淀积技术; 热生长技术。 7? 表面技术在机电一体化和现代制造 业中的应用 7?1? 微电子技术与现代制造业 以集成电路技术为代表, 制造和使用微小型电子元器件 和电路, 实现电子系统功能的微电子技术, 是改变人们生产和 生活面貌的先导技术。其中, 微电子技术向机械工业渗透过

23、 程逐渐形成了# 机电一体化的新概念, 并深刻地改变着机械 制造业的内涵和面貌。 实际上机电一体化并非是机械和电子技术的简单叠加, 而是机械、 电子、 信息等多种技术有机融合而成的一种系统技 术; 机电一体化产品便是运用这项技术进行设计和生产, 包含 软、 硬件系统的多功能单机或成套设备。按照这个概念和思 路, 机电一体化的水平也在不断提高, 由低级、 中级, 向高级发 展。目前机电一体化产品越来越多, 性能、 功能和效益越来越 高。产品如机电一体化医疗器械、 机电一体化办工机械、 电子 化量具量仪、 电子化低压电器、 电子化家用电器、 微电子控制 纺织机械、 微电子控制轻工机械、 电子化汽车

24、、 电子控制内燃 机、 卫星导航汽车、 模糊全自动洗衣机、 微电子技术印刷设备、 电子式照相机、 数控锻压设备、 微电子技术焊接设备、 微电子 技术铸造设备、 口授打印机等等, 已经开发和应用。 7?2? 微型机电一体化与纳米技术 机电一体化是一个长期发展和不断提高的过程。现在一 些科学家正在从事把传感器、 电动机和数字智能装置集中在 一块硅片上的# 微型机电系统( MEMS) 的研究。如果把这个 系统设置在网络中, 它们就会互相传递信号, 并执行信息处理 任务。它们还能操纵飞机, 开展健康监测, 预报地震、 部件故 障和桥梁裂纹等等。由于它们功能多、 体积小、 电路少, 因而 生产成本将是低

25、廉的。一些科学家认为, 微型机电系统的开 发和应用, 将会引发一场比 20世纪迅速发展的微电子技术更 加引人注目的大规模行业变革。 我们通常把加工尺度达到纳米量级的技术称为纳米技 术。在机械制造业中, 纳米技术是指制造微型机器所使用的 技术。在 8 年前美国犹他大学研制出直径为 560?m、 每分钟 摆动 10 万多次的微型# 摇摆式电动机。英国沃里克大学研 制的纳米级表面光度仪, 能够在原子水平上绘制物体表面的 等高线图, 可测出物体表面 1nm 的变化。法国生物微孔公司 利用# 原子钻 在薄膜上钻出孔深 480?m、 孔径几个纳米至 1?5?m 的均匀超细微孔。现在科学家们已经用纳米技术制

26、造 出越来越多的微型机器, 具有广阔的应用前景。引人注目的 是, 人们已研制出扫描隧道显微镜( STM )、 原子力显微镜 (AFM) 、 弹道电子发射显微镜( BEEM) 、 光子扫描隧道显微镜 ( PSTM) 、 扫描近场光学显微镜( SNOM) 等, 借助这些精密的 工具, 可以直接操纵原子或分子, 完成对表面的刻蚀、 修饰及 直接书写等。虽然目前要把原子从一个位置推到另一个位置 仍很困难, 但是人们正在努力逐步克服这些困难。在可预料 的将来, 人们真正能按设计和愿望, 较为容易地进行原子级的 加工、 制造, 即驾驭大自然本身创造机器, 完成更彻底的技术 变革。 8 ? 表面技术在环境保

27、护和优化方面的 应用 表面技术在人们适应、 保护和优化环境方面有着一系列 应用, 并且其重要性日益突出。 8?1? 环境保护方面 (1) 净化大气? ? 人们在生产和生活中, 使用了各种燃 料、 原料, 产生大量的 CO2、 NO2、 SO2等有害气体, 引起温室效 应和酸雨, 严重危害了地球环境, 因此要设法回收、 分解和替 代它们。用涂覆和气相沉积等表面技术制成的触媒载体等是 其有效途径之一。 (2) 净化水质? ? 膜材料是重要的净化水质的材料, 可 用来处理污水, 化学提纯, 水质软化, 海水淡化等等。这方面 的表面技术正在迅速发展。 (3) 吸附杂质? ? 用一些表面技术制成的吸附剂

28、, 可以 除去空气、 水、 溶液中的有害成分, 以及具有除臭、 吸湿等作 用。例如氨基甲酸乙酰泡沫上涂覆铁粉, 经烧结后成为除臭 剂, 用于冰箱、 厨房、 厕所、 汽车内。 (4) 除藻污垢? ? 运用表面化学原理, 制成特定的组合 电极, 例如 Cl?Cu 组合电极, 用来除去发电厂沉淀池、 热交换 器、 管道等内部的藻类污垢。 ( 5) 绿色能源? ? 目前大量使用的能源往往有严重的污 染, 因此今后要大力推广绿色能源, 如太阳能电池、 磁流流体 发电、 热电半导体、 海浪发电、 风能等。表面技术是许多绿色 能源装置如太阳能电池、 太阳能集热管、 半导体致冷器等制造 5 !金属热处理199

29、9 年第 4 期 的重要基础之一。 8?2? 抗菌治病方面 (1) 抗菌灭菌? 有些材料具有净化环境的功能。例如 二氧化钛光催化剂可将一些污染的物质分解掉, 使之无害, 同 时又因有粉状、 粒状和薄膜等形状而易于利用。研究发现, 过 渡金属Hg、 Ag、 Pt、 Cu、 Zn 等元素能增强 TiO2的光催化作用, 而且有抗菌、 灭菌作用( 特别是 Ag 和 Cu)。 (2) 活化功能? 远红外光具有活化空气和水的功能, 而活化的空气和水有利于人的健康。例如在净化器上加上能 活化水的远红外陶瓷涂层装置, 已经投入实际应用。 (3) 治疗疾病? 用表面技术和其他技术制成的磁性涂 层敷在人体的一定穴

30、位, 有治疗疼痛、 高血压等功能。涂敷驻 极体膜, 具有促进骨裂愈合等功能。有人认为, 频谱仪、 远红 外仪等设备能发出一定的波, 与生物体细胞发生共振, 促进血 液循环, 活化细胞, 治疗某些疾病。 (4) 生物医学? ? 具有一定的理化性质和生物相容性的 生物医学材料已受到人们的高度重视, 而使用医用涂层可在 保持基体材料特性的基础上, 或增进基体表面的生物学性质, 或阻隔基材离子向周围组织溶出扩散, 或提高基体表面的耐 磨性、 绝缘性等, 有力促进了生物医学材料的发展。例如在金 属材料上涂覆生物陶瓷, 用作人造骨、 人工牙、 植入装置导线 的绝缘层等等。目前制备医用涂层的表面技术有等离子

31、喷 涂、 气相沉积、 离子注入、 电泳等。 8?3? 优化环境方面 表面技术将在人们控制自然、 优化环境方面起着很大的 作用。例如人们正在积极研究能调光、 调温的# 智慧窗, 即通 过窗玻璃的表面涂敷或镀膜等方法, 使窗可按人们的意愿来 调节光的透过率和光照温度。 9 ? 结论 表面技术广博精深, 在各个工业部门、 农业、 生物、 医药以 及日常生活中有着广泛而重要的应用, 尤其是近 30 多年来人 们对传统表面技术进行一系列改进、 复合和创新而发展出来 的现代表面技术, 不仅是光电子、 微电子等许多先进产业的重 要基础, 并且取得了巨大的效益, 而且也是 21 世纪占优势地 位的关键技术之一

32、。 参考文献 1? 钱苗根主编? 材料表面技术及其应用手册? 北京: 机械工业出版 社, 1998 2? 袁正光, 刘学谦, 张锡玲主编? 现代科学技术知识辞典? 北京: 科 学出版社, 1994 3? 师昌绪主编? 材料大辞典? 北京: 化学工业出版社, 1994 4? !功能材料及其应用手册编写组 ? 功能材料及其应用手册 ? 北 京: 机械工业出版社, 1991 5? 徐滨士主编? 表面工程与维修? 北京: 机械工业出版社, 1996 6? Kasturi Lal Chopra, Inderjeet Kaur. Thin Film Device Applications. New Yor

33、k and London, 1983 7? 史锦珊, 郑绳楦 ? 光电子学及其应用 ? 北京: 机械工业出版社, 1991 8? 卢春生? 光电探测技术及应用? 北京: 机械工业出版社, 1992 9? 杨经国、 冉瑞江、 杜定旭、 刘新民? 光电子技术? 成都: 四川大学出 版社, 1990 10? 日 稻场文男, 永井? 淳主编, 后藤显也著, 林礼煌、 候印春译? 光电子学入门? 北京: 机械工业出版社, 1991 11? 澳 马丁+格林著, 李秀文等译? 太阳电池工作原理? 工艺和系 统的应用? 北京: 电子工业出版社, 1987 12? 忻贤? 半导体物理与器件? 上海: 上海科学技

34、术出版社, 1991 13? 黄德群, 单振国, 干福熹? 新型光学材料 ? 北京: 科学出版社, 1991 14? 陶世荃? 高密度光学全息存储技术的新进展, 向光盘存储挑 战? 物理, 1997, 26( 2): 79 84 15? 刘榴娣, 常本康, 党长民? 显示技术 ? 北京: 北京理工大学出版 社, 1993 16? 柴天恩? 平板显示器原理及应用? 北京: 机械工业出版社, 1996 17? 赵仲刚等? 光纤通信与光纤传感? 上海: 上海科学技术出版社, 1993 18? 彭吉虎, 吴伯瑜? 光纤技术及应用? 北京: 北京理工大学出版社, 1995 19? 刘德明, 向? 清, 黄德修? 光纤光学 ? 北京: 国防工业出版社, 1993 20? 蔡伯荣主编? 集成光学? 成都: 电子科技大学出版社, 1990 21? 中国科学技术协会主编, 王守觉等编著? 微电子技术? 上海: 上 海科学技术出版社, 1994 6 !金属热处理1999 年第 4 期