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1、EDS分析技术,TS14180002,EDS,EDS可以与SEM，TEM等组合，其中SEMEDS组合是应用最广的显微分析仪器，EDS的发展，几乎成为SEM的标配。是微区成份分析的主要手段之一。,能谱仪：EDS (Energy Dispersive Spectrometer),能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成。 对试样与探测器的几何位置要求低，可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果。 能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小。 检测限一般为0.1%0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相
2、误差约为2%。,能谱的特点,定性分析,X射线的能量为Eh h为普朗克常数，为光子振动频率。 不同元素发出的特征X射线具有不同频率，即具有不同能量，只要检测不同光子的能量（频率）, 即可确定元素定性分析。,能谱定性分析原理,定量分析,分析方法 有标样定量分析：在相同条件下，同时测量标样和试样中各元素的X射线强度，通过强度比，再经过修正后可求出各元素的百分含量。有标样分析准确度高。 2. 无标样定量分析：标样X射线强度是通过理论计算或者数据库进行定量计算。,试样中A元素特征X射线的强度IA与试样中A元素的含量成比例，所以只要在相同条件下，测出试样中A元素的X射线强度IA与标样中A元素的X射线强度I
3、(A)比，近似等于浓度比： KA=IA/I(A)CA/C(A) 当试样与标样的元素及含量相近时，上式基本成立，一般情况下必须进行修正才能获得试样中元素的浓度。 KA=CA/C(A)(ZAF)A/(ZAF)(A) (ZAF)A和(ZAF)(A)分别为试样和标样的修正系数,EDS定量分析原理,ZAF定量修正 ZAF定量修正方法是最常用的一种理论修正法，一般EPMA或能谱都有ZAF定量分析程序。 Z：原子序数修正因子。（电子束散射与Z有关） A：吸收修正因子。（试样对X射线的吸收） F：荧光修正因子。（特征X射线产生二次荧光）,EDS定量分析原理,半定量分析,无标样定量分析 无标样定量分析是X射线显
4、微分析的一种快速定量方法。强度比KIS/IStd。 表达式中IStd是标样强度，它是由纯物理计算，或用标样数据库给定的，适应于不同的实验条件。其计算精度不如有标样定量分析。,EDS的分析方法点分析,电子束（探针）固定在试样感兴趣的点上，进行定性或定量分析。该方法准确度高，用于显微结构的成份分析，对低含量元素定量的试样，只能用点分析。,EDS的分析方法线扫描分析,电子束沿一条分析线进行扫描时，能获得元素含量变化的线分布曲线。结果和试样形貌像对照分析，能直观地获得元素在不同相或区域内的分布。,EDS的分析方法面分布,电子束在试样表面扫描时，元素在试样表面的分布能在屏幕上以亮度（或彩色）分布显示出来（定性分析），亮度越亮，说明元素含量越高。研究材料中杂质、相的分布和元素偏析常用此方法。面分布常常与形貌对照分析。,EDS的分析方法的特点,Thank you !,