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1、镀膜工艺简介 AF、AG、AR,报告人：郭书召 日 期 ：2019/6/1,镀膜工艺简介AF,AG,AR,1,二、真空蒸发镀膜,一、PVD的定义及分类,三、真空溅射镀膜,四、真空离子镀膜,五、AF、AG、AR简介,镀膜工艺简介AF,AG,AR,2,PVD的定义及分类,1.PVD的定义：,从原料中发射粒子（经过蒸发、升华、溅射和分解等过程）； 粒子输运到基片（粒子之间发生碰撞，产生离化、复合、反应， 能量的交换和运动方向的变化）； 粒子在基片上凝结、成核、长大和成膜。,2.PVD的基本过程：,物理气相沉积是一种物理气相反应生长法。沉积过程是在真空或低气 压气体放电条件下，即在低温等离子体中进行的
2、。涂层的物质源是固 态物质，经过“蒸发或溅射”后，在零件表面生成与基材性能完全不 同的新的固体物质涂层。,3.PVD的分类：,真空蒸发镀膜 真空溅射镀膜 真空离子镀膜,镀膜工艺简介AF,AG,AR,3,泛指低于一个大气压的气体状态。与普通大气压状态相比，分子密度较为稀薄， 从而气体分子和气体分子、气体分子和器壁之间的碰撞几率要低一些。,真空蒸发镀膜是在真空条件下，用蒸发器加热蒸发物质使之汽化，蒸发粒子流 直接射向基片并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。 括热蒸发和EB蒸发（电子束蒸发）,真空蒸发镀膜,1.真空的定义：,2.真空蒸发镀膜的定义：,镀膜工艺简介AF,AG,AR,4,真空蒸发镀膜,镀膜
3、工艺简介AF,AG,AR,5,真空蒸发镀膜,镀膜工艺简介AF,AG,AR,6,热蒸发是在真空状况下，将所要蒸镀的材料利用电阻加热达到熔化温度，使原子蒸发，到达并附着在基板表面上的一种镀膜技术。 特点：装置便宜、操作简单广泛用于Au、Ag、Cu、Ni、In、Cr等导体材料。,真空蒸发镀膜,3.热蒸发原理及特点：,镀膜工艺简介AF,AG,AR,7,热电子由灯丝发射后，被加速阳极加速，获得动能轰击到处于阳极的蒸发材料上，使蒸发材料加热气化，而实现蒸发镀膜。 特点：多用于要求纯度极高的膜、绝缘物的蒸镀和高熔点物质的蒸镀,真空蒸发镀膜,4.E-Beam蒸发原理：,镀膜工艺简介AF,AG,AR,8,真空蒸
4、发镀膜,镀膜工艺简介AF,AG,AR,9,给靶材施加高电压（形成等离子状态），使正荷电气体离子撞击靶材、 金属原子飞弹，而在样品表面形成金属皮膜的方法。,真空溅射镀膜,1.真空溅射镀膜的定义：,镀膜工艺简介AF,AG,AR,10,真空溅射镀膜,镀膜工艺简介AF,AG,AR,11,电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞，电离出大量的氩离子和电子，电子飞向基片，氩离子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜。,真空溅射镀膜,2.磁控溅射镀膜的定义：,镀膜工艺简介AF,AG,AR,12,辉光放电是指在稀薄气体中，两个电极之间加上电压时
5、产生的一种气体放电现象。,真空溅射镀膜,3.辉光放电的定义：,镀膜工艺简介AF,AG,AR,13,直流溅射：适用于金属材料 射频溅射：是适用于各种 金属和非金属材料的一种 溅射沉积方法,真空溅射镀膜,镀膜工艺简介AF,AG,AR,14,真空溅射镀膜,4.真空溅射镀膜的优缺点：,镀膜工艺简介AF,AG,AR,15,在真空条件下，利用气体放电使气体或蒸发物质离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时，把蒸发物或其反应物蒸镀在基片上。 离子镀把辉光放电、等离子体技术与真空蒸发镀膜技术结合在一起,真空离子镀膜,1.真空离子镀膜的定义：,镀膜工艺简介AF,AG,AR,16,真空离子镀膜,2.真空离子
6、镀膜的原理：,3.真空离子镀膜的特点：,镀膜工艺简介AF,AG,AR,17,真空蒸镀、溅射镀膜和离子镀的比较,真空离子镀膜,镀膜工艺简介AF,AG,AR,AF防指纹膜简介,AF镀膜产品特性： 1、防污性：防止指纹及油污不容易粘附、轻易擦除； 2、防刮伤：表面顺滑，手感舒服，不易刮花； 3、膜层薄：优异光学性能、不改变原有的纹理； 4、耐磨性：具有真度耐磨性能； AF镀膜产品应用领域： 手机、平板、车载、电视、LED等玻璃显示屏,镀膜工艺简介AF,AG,AR,AF生产工艺简介,真空蒸镀：在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基材表面凝聚成膜的工艺方法。,
7、真空溅镀：利用辉光放电将氩气(Ar)离子撞击靶材表面，靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。,喷涂电镀：利用高压将AF药水均匀喷涂在基材表面形成薄膜。,镀膜工艺简介AF,AG,AR,水接触角：110 油酸接触角：74 玻璃盖板水滴角9点测试，均匀性保证在2左右偏差 耐摩擦测试： 测试条件：使用0000#钢丝绒，1KG压力，接触面积10mm*10mm，摩擦速度30次/分钟， 摩擦行程40mm，摩擦次数3000次 摩擦后水接触角100，水滴角下降3 动摩擦系数： 测试方法：使用BEMCOT无尘布，面积10mm*10mm，负载100G，擦拭速度500mm/min 动摩擦系数0.04,AF性能测试
8、参数,水滴角测试仪,摩擦测试仪,动摩擦系数测试仪,镀膜工艺简介AF,AG,AR,耐汗液测试： 测试条件：汗液浸泡后的无尘布包裹，温度45，湿度55%，放置时间48H，水接触角100 涂层厚度： 12-20nm 涂层硬度： 测试条件：使用7H三菱铅笔，1KG压力，摩擦速度60次/分钟，摩擦行程40mm，摩擦次数1次 表面无划痕,AF性能测试参数,人工汗液,摩擦测试仪,摩擦测试仪,镀膜工艺简介AF,AG,AR,AR膜又称减反射膜又称增透膜， 主要功能:减少或消除透镜、棱镜、平面镜等光学表面的反射光，从而增加这些元件的透光量。 减反射膜是应用最广、产量最大的一种光学薄膜，因此，它至今仍是光学薄膜技术
9、中重要的研究课题. 在很多应用领域中，增透膜是不可缺少的，否则，无法达到应用的要求。 就拿一个由18块透镜组成的35mm的自动变焦的照相机来说，假定每个玻璃和空气的界面有4%的反射，没有增透的镜头光透过率为27%，镀有一层膜（剩余的反射为1.3%）的镜头光透过率为66%，镀多层膜（剩余的反射为0.5%）的为85%。,AR抗（减）反射增透膜简介,AR膜产品结构图,镀膜工艺简介AF,AG,AR,AR镀膜产品特性： 1、高穿透：纳米级光学涂层技术能使玻璃的透光率增加2-3%，透光率可达95%以上； 2、耐用：可在恶劣环境中保持25年； 3、防止结露：大幅抑制玻璃产生结露； 4、防刮划硬度：镀膜后可增
10、加1H硬度防刮划效果； 5、抗积水：水滴在表面水滴角可达110； 6、易清洁：表面污渍极易清理； AR镀膜产品应用领域： 手机、汽车挡风玻璃、太阳能电池板、室外大型广告屏等,AR抗（减）反射增透膜简介,镀膜工艺简介AF,AG,AR,光具有波粒二相性，即从微观上既可以把它理解成一种波、又可以把他理解成一束高速运动的粒子（注意，这里可千万别把它理解成一种简单的波和一种简单的粒子。它们都是微观上来讲的。 红光波的波长=0.750微米 紫光波长=0.400微米。 而一个光子的质量是 6.63E-34 千克. 如此看来他们都远远不是我们所想想的那种宏观波和粒子.) 增透膜的原理是把光当成一种波来考虑的，
11、因为光波和机械波一样也具有干涉的性质。 在镜头前面涂上一层增透膜(一般是氟化钙,微溶于水),如果膜的厚度等于红光（注意：这里说的是红光）在增透膜中波长的四分之一时,那么在这层膜的两侧反射回去的红光就会发生干涉,从而相互抵消,你在镜头前将看不到一点反光,因为这束红光已经全部穿过镜头了. 为什么我从来没有看到没有反光的镜头? 原因很简单,因为可见光有“红、橙、黄、绿、蓝、靛、紫”七种颜色，而膜的厚度是唯一的，所以只能照顾到一种颜色的光让它完全进入镜头，一般情况下都是让绿光全部进入的，这种情况下，你在可见光中看到的镜头反光其颜色就是蓝紫色，因为这反射光中已经没有了绿光。膜的厚度也可以根据镜头的色彩特
12、性来决定。,AR抗（减）反射增透膜简介,AR膜增透原理：,镀膜工艺简介AF,AG,AR,一：单层减反膜 为了减小表面反射光，最简单的途径是在基材表面上镀一层低折射率的薄膜。 理想的单层减反膜的条件是： 膜层的光学厚度为1/4波长 其折射率为入射介质和基片折射率乘积的平方根 在可见区，使用得最普遍的是折射率为1.52左右的冕牌玻璃。根据上面理论计算，其理想的增透膜的折射率为1.23，但现能利用的薄膜的最低折射率是1.28(MgF2)。 AR 膜的两个主要的缺陷： 对于常用的玻璃基底，很难实现零反射 只能实现单一波长零反射，色中性差。,AR抗（减）反射增透膜简介,AR膜增透的分类：AR 膜可以分为
13、单层减反膜和多层减反膜,镀膜工艺简介AF,AG,AR,二：多层减反膜 在薄膜上镀两层以上反射材料的称为多层AR 膜，多层比单层有更好的性能，如下图，左边是单层AR 膜，右边是多层AR 膜。,AR抗（减）反射增透膜简介,AR膜增透的分类：AR 膜可以分为单层减反膜和多层减反膜,镀膜工艺简介AF,AG,AR,AG镀膜产品特性： 1、反射红外线：降低红外线在玻璃表面的通透率来减少入室红外线光； 2、增强透光率：在反射红外线光线的同时增强其他光源的透过，不影响室内采光效果 3、防眩光：将光源发出的光通过漫反射改变反射强光对观察者的视觉刺激 AG镀膜产品应用领域： 1、手机、车载导航、电子黑板、电视屏幕
14、、电脑屏幕、精密仪器仪表屏幕、医疗设备窗口、液晶显示器视窗、电子产品视窗、笔记本触板、无线鼠标触板等； 2、高级画廊和美术馆的名贵字画的镜框，使字画和图片长期保存，永不褪色； 3、博物馆、档案馆等贵重文物保护。,AG防炫膜简介,镀膜工艺简介AF,AG,AR,AG防眩光膜的工艺： 蚀刻AG处理 喷涂AG处理 镀膜AG处理 光学指标要求： 1、透过率(light transmittance)2：88%Min.(380700nm可见光波长范围)，分光光度计测量。 2、光泽度(Gloss)： 1)测试仪器：WGG-60光泽度仪 2)测试方法：按下图所示，在原片上选取5个点进行光泽度测试，其中在每个点上
15、仪器每旋转90度读数一次，共二次，然后10次测试数据取平均值即得到该张原片的光泽度数值。注意对于单面防眩玻璃须测试防眩处理面。 3)光泽度标准： a. 防眩玻璃光泽度采购规格有两种：10010和8010，IQC分别按10013和8015的标准进行进料检验。 b. 尺寸20的常规尺寸玻璃要求同一片玻璃光泽度最大值与最小值之差10; 尺寸20的大尺寸玻璃要求同一片玻璃光泽度最大值与最小值之差20。,AG防炫膜简介,镀膜工艺简介AF,AG,AR,AG防眩光膜的定义：AG防眩光膜行业术语叫偏光片表面处理，是偏光片表面处理的一种。通过对偏光片的表面进行微细凹凸加工，防止光直射入眼睛，从而有效减少眩光和反射，提高LCD（液晶显示器）的显示效果。 AG防眩光玻璃的市场应用：AG玻璃，又叫防眩光玻璃，英文名为Anti-glare glass，是对玻璃表面进行特殊加工的一种玻璃。其特点是使原玻璃反光表面变为哑光无反射表面（表面凹凸不平）。其原理是把优质玻璃片的双面或单面经过特殊加工处理。使其与普通玻璃相比较具有较低的反射比，光的反射率由8%降低到1%以下，用技术创造出清晰透明的视觉效果，让观赏者能体验到更佳的感官视觉。,AG防炫膜简介,镀膜工艺简介AF,AG,AR,30,Thank you!,镀膜工艺简介AF,AG,AR,此课件下载可自行编辑修改，供参考！ 感谢你的支持，我们会努力做得更好！,