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1、真空镀膜机操作程序真空镀膜机操作程序，是参照北京仪器厂生产的DM-450C型说明书修改编写。具体操作时请参照该设备说明书 和设备上仪表盘指针显示及各旋钮下的标注说明。 检查镀膜机各操作控制开关是否在 " 关"位置。 打开总电源开关，设备送电。 低压阀拉出。开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。 安装固定钨螺旋加热子。把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。把铝丝穿放在螺旋加热子内 清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。落下钟罩。启动抽真空机械泵。开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)a. 左旋钮“ 1”顺时针旋转至指向 2 区段的加热位置。b. 低真空
2、表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。 当低真空表“ 2”内指针再次顺时针移动至 6.7Pa 时，低压阀推入。这时左旋钮“ 1”旋转至指向1 区段测量位置。 开通冷却水，启动扩散泵，加热 40min。 低压阀拉出。重复一次动作程序：左下旋钮“1 ”转至指向2区段测量位置。低真空表“ 2”内指针顺时针移动，当指针移动至 6.7Pa 时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。? 等低真空表“ 2”内指针右移动至 0.1Pa 时，开规管灯丝开关。a. 发射、零点测量钮“ 9”旋转至指向发射位置。b. 左下旋钮“ 1 ”旋转至指向 1 区段
3、测量位置。? 旋转发射调节钮“ 4”，使高压真空表“ 5”内指针指向 5。?发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。? 旋转零点调节钮“ 10”，让高压真空表“ 5”内指针指向 0位置。?发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。? 旋转标准调节钮“ 3”，让高压真空表“ 5”内指针指向 10。?旋转“倍加器”开关钮“8”至指向 10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过 1 时，再把“倍加器”开关旋钮“ 8”旋转至指向 10-3。?当高压真空表“ 5”内指针逆时针移动超过 6.7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。? 开蒸发钮开关。 把电流分插塞插入蒸发电
4、极分配孔内 （设有 1 、2 、 3 、4 孔，可插入任意一孔） 。? 右手旋转右侧调压器手轮，慢慢旋转升压。a. 从视镜窗口观察钨螺旋加热子的加热温度颜色变化情况。b. 当钨螺旋加热子颜色变成黄橙色，铝丝开始熔化时，左手操作挡板钮，移开钨螺旋上方挡板。c. 铝丝全部熔化蒸发，挡板回原位。d.右手旋转调压器手轮回零位。第一次蒸镀工作完成。21. 如果再想蒸镀一次（为了增加电极金属层厚度）：把电流分插塞拨出插入另一个电极分配孔。重 复? 操作动作。22. 关闭规管灯丝开关。关闭高压阀（逆时针转手柄）。关闭工件旋转。关闭蒸发。旋转机械泵钮至 指向扩散泵位置。23. 低压阀拉出。钟罩充气。充气一段时
5、间，当没有气 . 声时，升钟罩。24. 钨螺旋加热子内加铝丝。PVDF薄膜调换另一面向下（原下面已镀一层铝膜面向上）。紧固在转动圆盘上。25. 落钟罩。开机械泵。a. 左下旋钮“ 1”旋转至指向 2 区段测量位置。b. 当低压真空表“ 2”内指针顺时针移动到 6.7Pa 时，低压阀推入。c. 左下旋钮“ 1”旋转至指向 1 区段测量位置。d. 当低压真空表“ 2”内指针顺时针移动到 6.7Pa时，开高压阀。旋钮“ 1 ”旋转至指向2区段测 量位置。e. 当低压真空表“ 2”内指针顺时针移动到指向 0.1Pa时，开规管灯丝。f. 由 ? 开始重复操作至 ? 。26. PVDF 薄膜蒸镀完铝层后，按顺序关闭规管灯丝、高压阀、机械泵、扩散泵。把低压阀拉出。钟罩 充气，充气完毕后升钟罩。取出工件，做好钟罩内清理工作。a. 落下钟罩。b. 开机械泵，抽35min，停机械泵。c. 切断供电总开关。d. 1h 后再关闭冷却水。操作全部完成。27. 正常生产中，如遇到突然停电时，要立即切断高真空测量，关闭规管灯丝，高压阀、低压阀拉出。 来电后，先让机械泵启动工作 35min 后，再转入正常生产。