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1、文件名称：4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书编号：XXX.XXX版本号：XXXX 页码1文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书xxx.xxx1目的为了标准化4英寸单面抛光蓝宝石衬底的采购和使用，特制定本技术规格。2适用范围本技术规格规定了单面抛光蓝宝石衬底的技术规格和使用要求，适用于制作4英寸图衬和外延生长使用。3技术要求3.1 规格要求NO.ItemsSpecificati onDefin iti on1SurfaceOrie ntati on0.20 ° ± 0.1 °晶格面C面往M轴由偏2Orie ntatio nFlat0°±
2、; 0.25 °平边面为A面3Diameter100± 0.25mmSapphire 直径4Thick ness650土 15 口 mSapphire 厚度5Primaryflat32 ± 1mmSapphire平边长度6WaferEdgeRounded7Fron tsideRough ness< 3?正面粗度是指Sapphire正面的起伏 程度8BacksideRough ness< 0.7 1.5 口 m背面粗度是指Sapphire背面的起伏 程度9TTV< 15 口m总厚度差10LTV< 10 m区段厚度差11TIR< 10 m
3、12BOW-10rr0(im取一焦平面并以Sapphire中心点为 基准，中心点形状高低点的比较。13Warp< 10 口mSapphire以一焦平面为基线，取晶 片弯曲的最高点与最低点的差距即 为WARP其值为正数。14EPDV 1000晶体缺陷密度/cm215LasermarkBackside非使用面3.2 外观要求particlepitBumpScratchStain编制审核批准编制日期审核日期批准日期4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书XXX.XXX3.3 Lasermark 要求3.3.1 打在非使用面、字迹清晰可见、打头字母代表厂家3.3.2 位置、大小要求如下图A- 11*2
4、0）OiieiiEKioi FU:Marking位置：距离Flatlength 边缘约1mmMarking内容：字母+数字如 ABCD1234*总体尺寸：约1mm（字高）*12mm（总宽度）文字方向：从左至右朝上如 ABCD1234*编制审核批准编制日期审核日期批准日期文件名称：4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书编号：xxx.xxx 版本号：xxxx页码2文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书xxx.xxx4使用要求4.1可直接使用于外延反应炉生长；4.2可先制作图形加工，再使用于外延反应炉生长。5包装要求5.1产品包装：采用防静电袋包装两层，内、外层都抽真空，下图所示，文件名称：
5、4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书编号：xxx.xxx 版本号：xxxx页码2文件名称：4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书编号：xxx.xxx 版本号：xxxx页码2标签上的内容包括Spec、LOTNOWaferNO CassetteNO QTY每盒25片。并帖上标签，如标签材质为无尘纸。编制审核批准编制日期审核日期批准日期文件名称：4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书编号：xxx.xxx版本号：XXXX页码3文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书XXX.XXX5.2运输包装：外壳为纸箱包装，内放为间隔放置，如下图所示,防震材料为聚苯乙烯泡沫板，保证在运输中不因碰撞、摔伤，而造成破裂、变形、吸潮等有害缺陷；包装无泄漏。6每批供货时必须有质量书6.1抽取比例为10%6.2质量书内容为第3项中的所有项目，另外还需提供规格检测结果 wafermapping图、外观检测 结果 wafermapp ing 图。6.3质量书可以是电子版或纸版。7相关文件编制审核批准编制日期审核日期批准日期文件名称：4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书编号：xxx.xxx 版本号：xxxx页码4