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1、空气洁净度等级测试C.1.1空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器，采样量应大于1L/ min。测试粒径大于等于0.5卩0粒子时，宜采用光散射粒子计数 器；测试粒径大于等于0.1的粒子时，宜采用大流量激光粒子计数器（采样量每分钟28.3L）;测试粒径小于0.1 “的超微粒子时，宜采 用凝聚核激光粒子计数器。C.1.2洁净度等级测试前，应先进行风速，风量、静压差、过滤器检 漏和围护结构密闭性检测。C.1.3采样点确定C.1.3.1应下式计算最少采样点N L =A（ C.1.3）式中Nl最少采样点，四舍五入取整数；A 洁净室（区）的面积。在水平单向流时，指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以川计。
2、C.1.3.2采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区 咼度。C.1.4每次米样的最少米样量C.141每个采样点的每次采样量（Vs ）应按下式计算：20Vs 2 1000 L（C.1.4）Cn .m式中：Cn.m被测洁净室（区）空气洁净度等级被测粒径的允 许限值（个/m3）;20 在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时，可检测到的粒子数。C.1.4.2每个米样点的米样量至少为2L,米样时间最少为1min,当洁 净室（区）仅有1个采样点时，则在该点至少采样3次。当Vs很大时，采样时间会很长，可参照采用ISO14644-1附录F 中规定的顺序采样法。C.1.5对于单向流洁净室，采样口应对
3、着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。C.1.6室内测试人员必须穿洁净服，不得超过 3人，应位于测试点下 风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减 少人员对室内洁净度的干扰。C.1.7每个采样次数为2次或2次以上的采样点，应按式 C.1.7计算 平均粒子浓度。(C.1.7)Xi.i Xi* X iXin式中：Xi 采样点I的平均粒子浓度，I可代表任何位置；Xi.i至 Xi.n 每次采样的粒子浓度；N在采样点i的采样次数。C.1.8采样点为1个时，应按式C.1.7计算该点平均粒子浓度。采样 点为10个或10个以上时，按式C.1.7计算各点的
4、平均浓度后，再按 式C.1.8计算洁净室（区）总平均值。(C.1.8)X I.1 X I.2 宀X i.mX 二m式中：X 各采样点平均值的总平均值；Xi.1至 Xi.m 按式C.1.7计算的各个采样点的平均值，既 洁净室（区）总平均值；m采样点的总数。C.1.9置信上限（UCL）的计算C.1.9.1当采样点只有1个或多于9个时，不计算95%置信上限。C.1.9.2采样点为1个以上10个以下时，根据式C.1.8计算出各采样 点平均值和总平均值后，还应按式 C.1.9.1计算出总平均值的标准偏 差（S）。(C.1.9-1)Xi.1 -X 2 Xi.2 X !亠 Xi.m X(m-1)C.1.9.
5、3最后按式B.1.9-2计算出总平均值的95%置信上限(UCL )。 =S95%UCL =X t( C.1.9-2)Im式中t分布系数，见表 B.1.9。表C.1.995%置信上限（UCL ）的t分布系数采样点数（m）2345679t6.32.92.42.12.01.9C.1.9.4 如果每个采样点测得粒子浓度的平均值 Xi以及洁净室总平 均值95%置信上限均未超过空气洁净度等级的浓度限值， 则认为该洁 净室（区）已达到规定的空气洁净度等级。如果测试结果未能满足规定的空气洁净度等级，可增加均匀分布 的新采样点进行测试，对包括新增采样点数据在内的所有数据重新计 算的结果，作为最终检验结果。C.1
6、.10空气洁净度等级计算例C.1.10.1被测洁净室面积（区）为1000m2，空气洁净度等级为IS05 级，规定受控粒子粒径为 0.3 am （Di）、0.5 um（ D2）。根据测试结果 确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值。 规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围，并符合D2> 1.5D 的要求。计算最大允许悬浮粒子浓度对0.3 的粒子：Cn =105 01=10176，取 10200 个/m3。110.3对0.5 的粒子：208Cn =105=3517，取 3520 个/m3。II 0.5 按式（C.1.3）计算采样点数量：NL = A = 1000 =31.62，取
7、32由于采样点数大于10,不计算95%置信上限。采样点每次采样量（Vs）,按式（B.1.4）计算20VS1000 =5.69L3517选用采样量为28L/min的粒子计数器。这一选择满足：VS>2L、Cn.m20 个/m3的要求，其采样时间 1min 在每个采样点仅作一次采样（28L/min ）,测试得到的计数记 录如下：采样点粒子数（ 0.3卩m）粒子数（0.5 gm）采样点粒子数（0.3 gm）粒子数（0.5 gm）1265581768252664818583531951819202154125282022205134182121286165162217897172823158108
8、7492414212910572511813101153826116011135172712821216816281083138515299841495123013861518811311488161620321189以测试数据，折算为每立方米的粒子数（Xi）:采样点Xi(>0.3 g m)Xi( >0.5 gm采样点Xi(> 0.3 g m)xi(>0.5 gm1946420711724288932235717141820711250369636431972135364446410002079280547856432175712866589257122635832176142286235642357826433212450714299375025025421346410410713572641420114821607274571711259995712838571071330355362935001431433924293049282141567143933152852861657850324214321