冷场发射扫描电镜安全操作规程.doc

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1、冷场发射扫描电镜安全操作规程参与对象:本科生规程制定者:徐泽忠基本信息制定时间:2017年5月14日执行时间:2017年5月14日用房安全员:赵茂俞事故紧急联系电话:62158367仪器操作规程适用地点:43#101室1开机1.1检查真空、循环水状态。1.2 开启 “Display ” 电源。1.3电脑启动后,根据提示,按 “Ctrl+Alt+Delete ”,口令为空,进入 系统;启动电镜程序,口令为空。2样品放置、撤出、交换2.1严格按照高度规定高样品台,制样,固定。2.2按交换舱上“Air ”键放气,蜂鸣器响后将样品台放入,旋转样品 杆至“Lock”位,合上交换舱,按“Evac”键抽气,

2、蜂鸣器响后按“Ope6键打开样品舱门,推入样品台,旋转样品杆至“ Un lock ”位后抽出,按“Close”键。3观察与拍照3.1根据样品特性与观察要求,在操作面板上选择合适的加速电压与束 流,按“06键加高压。3.2用滚轮将样品台定位至观察点, 在操作界面中调整样品台高 度。3.3选择合适的放大倍数,点击“Align ”键,调节旋钮盘,逐步调整电子束位置、物镜光阑中、消像散基准。3.4在“TV'或“Fast”扫描模式下定位观察区域,在“Red'扫描模式 下聚焦、消像散,在“Slow”或“Cssc”扫描模式下拍照。3.5选择合适的图像大小与拍摄方法,按“Capture”拍照。

3、3.6根据要求选择照片注释内容,保存照片。4关机4.1将样品台高度调回 8mm4.2按“Home键使样品台回到初始状态。4.3 “Home指示灯停止闪烁后,撤出样品台,合上样品舱。4.4退出程序,关闭电脑,关闭“Display ”电源。注意事项及(1)实验开始前,检查电源火线、零线、地线连接是否正确,电预防措施线是否有破损,确认无误后才能给装置通电。(2)先打开循环水冷却系统,再开启仪器主机。注意事项循环冷却水机的注意事项:1、先开循环冷却水机再开仪器主机;2、关机时先关闭仪器主机,待循环水 机运行至少 15分钟后再关闭冷却水 机。电源火线、零线、地线连接不正确及 破损的危险特性如果电源火线、零线、地线连接 是否正确或者电线有破损,将有可能 引起漏电而电到或者烧坏仪器的危险预防措施防护措施严格注意开关机顺序;1-3个月需检查和清晰X射线管的水过滤器;1年要检查清洗水管和水箱,防止由于水垢而降低冷却效果。一旦发生故障故障,立即停止实验。防护措施实验开始前,检查电源火线、零线、地线连接是否正确,电线是否有破损,确 认无误后才能给装置通电。分析测试中心2017年5月14日

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