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1、气体质量流量计MFM 和气体质量流量控制器MFC 小知识1、什么是气体质量流量计？质量流量计，即Mass Flow Meter (缩写为MFM ) , 是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。2、什么是气体质量流量控制器？质量流量控制器, 即 Mass Flow Controller (缩写为MFC) , 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC 自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定
2、或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。3、气体质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。(2)测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示、累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为 0+5V或420mA,数字式M
3、FC/MFM 还配有RS232或RS485数字串行通讯口 ,能非常方便地与 计算机连接, 进行自动控制。(3)精确地定量控制流量质量流量控制器可精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。(4)适用范围宽有很宽的工作压力范围，产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体，如 HCL);有很宽的流量范围，产品最小流量范围可达05 sccm,最大流量范围可达 01500 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2100% (量程比为-50:1),因此在很多领域得到广泛应用。4、质量流量控制器的工作压
4、差范围是个什么概念?质量流量控制器(MFC) 中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程，在工作的过程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。MFC的工作压差范围通常为0.10.3MPa,若压差低于最低值(0.1 MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.3MPa)， 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。 用户使用 MFC 时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使MFC 进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内，并且要求气压要相对稳定。5、使用挥发性液体蒸发汽，气压很低，如何定制质量流量控制器的低压降产品?部分用户使用挥发性液
5、体蒸发汽做气源（如用丙酮等），气压很低，用普通MFC，不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明，定制低压降的质量流量控制器。通常可定制工作压差低于 0.01MPa的MFC,这时MFC的工作压差范围，也会变小。注意使用挥发性液体蒸发汽时，不能让汽化物在MFC 中结露，结露会影响MFC 的正常工作。为防结露，可以对管路和MFC 适当加温，但MFC 的工作环境温度通常不得超过50。如果用户要MFC 的工作环境温度超过65以上，需要特殊购买高温产品。6、质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗?如何选择密封材料?质量流量控制器可以用于控制各种气体，包括腐蚀性气体和特殊气体，但是要注意，对于使用
6、腐蚀性气体和特殊气体，需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，需要向供货厂商特殊声明使用气体，以免因为选型或选择密封材料错误，造成严重损失。通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L 不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等，密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC 原则上可以用于任何气体，包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD 使用的金属氧化物气体建议最好采用金属密封的MFC 。 由于金属密封的MFC 价格较高，通常要求不高的场合，均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明，MF
7、C都采用氟橡胶密封，可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于氯化氢等卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体，需要采用特种橡胶。氨气需要采用耐氨橡胶，如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶;有机溶剂汽氛（丙酮、 甲苯等 ）需要采用硅橡胶;三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等需要采用全氟橡胶。7、怎样进行不同气体的质量流量换算？产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体，当流量检测值相同时，实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气） 的质量流量转换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的质
8、量流量时，先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量；反之， 在确定所购产品的量程时，以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定产品的流量值。空气、O2、H2、CO、HCL、HF等气体，其转换系数约为1.0,一般可直接用按氮气标定显示的产品，不必换算。8、模拟输出的MFC 怎样和计算机相连接？计算机可以直接和MFC 相连，也可以通过流量显示仪和MFC 相连。对于模拟的MFC, 一般需要在计算机上配 A/D、D/A转换板，模拟/数字转换用于接收流量测量值，数字 /模拟转换用于给出0-5VDC 流量设定信号，这种转换板在工业控制产品市场上很容易买到；如果是MFC 直接与计算机连接，需要用户自己提供±15V 电源（要求电源抗干扰能力要强） ；将“设定”线接计算机 D/A 输出；将“流量检测”线接计算机 A/D 输入端；MFC信号地与计算机信号线连结即可。如果MFC 通过流量显示仪与计算机连接，将流量显示仪的“外设”线接计算机 D/A 输出；将“流量检测”线接计算机 A/D 输入端；显示仪的信号地与计算机信号线连结即可。当然，另外还需要配相应的软件。