第五章数控检测装置.docx

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1、第五章 数控检测装置5.1 概 述组成：位置测量装置是由检测元件（传感器）和信号处理装置组成。作用：闭环数控系统为反馈控制的随动系统，它的输出量是机械位移、速度或加速度，利用这些量的反馈实现精确的位移、速度控制目的。数控系统的检测装置（即传感器）起着测量和反馈两个作用，它发出的信号传送给数控装置或专用控制器，构成闭环控制。从一定意义上看，数控机床的加工精度和定位精度主要取决于检测装置的精度。传感器能分辨出的最小测量值称为分辨率。分辨率不仅取决于传感器本身，也取决于测量线路。5.1.1 检测装置的分类表51 数控机床检测装置分类分 类 增 量 式 绝 对 式 位移传感器 回转型脉冲编码器、自整角

2、机 、旋转变压器、圆感应同步器 、光栅角度传感器 、圆光栅、圆磁栅 多极旋转变压器 、绝对脉冲编码器 绝对值式光栅 、 三速圆感应同步器 、磁阻式多极旋转变压器 直线型直线应同步器 、光栅尺、磁栅尺 、激光干涉仪 霍耳位置传感器 三速感应同步器 、绝对值磁尺、光电编码尺 、磁性编码器 速度传感器 交、直流测速发电机 、 数字脉编码式速度传感器 、霍耳速度传感器 速度角度传感器（Tachsyn）、数字电磁、磁敏式速度传感器 电流传感器 霍耳电流传感器 数控系统中的检测装置分为位移、速度和电流三种类型。根据安装的位置及耦合方式直接测量和间接测量。按测量方法增量型和绝对型。按检测信号的类型模拟式和数

3、字式。根据运动型式 回转型和直线型。按信号转换的原理光电效应、光栅效应、电磁感应原理、压电效应、压阻效应和磁阻效应等。5.1.2 数控测量装置的性能指标及要求传感器的性能指标应包括静态特性和动态特性，主要如下。 1.精度：符合输出量与输入量之间特定函数关系的准确程度称作精度。要满足高精度和高速实时测量要求。2.分辨率：分辩率应适应机床精度和伺服系统的要求。3.灵敏度：灵敏度高、一致。4.迟滞：对某一输入量，传感器的正行程的输出量与反行程的输出量的不一致，称为迟滞。要求迟滞小。5.测量范围和量程：满足要求，留有余地。6.零漂与温漂：随时间、温度变化要小。其它：可靠，抗干扰性强、使用维护方便、成本

4、低等。5.2 旋转变压器旋转变压器是一种控制用的微电动机，它将机械转角变换成与该转角呈某一函数关系的电信号。在结构上与二相线绕式异步电动机相似，由定子和转子组成。定子绕组为变压器的一次侧，转子绕组为变压器的二次侧。励磁电压接到定子绕组上，其频率通常为400Hz、500Hz、1000Hz和5000Hz。旋转变压器结构简单、动作灵敏，对环境无特殊要求，维护方便，输出信号幅度大，抗干扰性强，但测量精度较低，一般用于精度要求不高或大型机床的粗测及中测系统。5.2.1 旋转变压器的结构和工作原理旋转变压器（Resolver）简称旋变，又称作解算器或分解器。分类：有电刷集电环结构和无刷结构。每一类又分为单

5、对极元件、多对极元件（或称多极元件）。工作原理：旋转变压器的工作原理和普通变压器的基本相似，区别在于普通变压器的一次、二次绕组是相对固定的，所以输出电压和输入电压之比是常数；而旋转变压器的一次、二次绕组之间是随着转子的角位移发生相对位置变化的，因而其输出电压的大小也随之而变化。也就是说当定子绕组加上交流电压时，转子绕组输出电压的大小取决于定子与转子两个绕组磁轴线在空间的相对位置。转子绕组电压的频率与定子绕组的相同，但幅值随转子与定子的相对角位移的正弦函数而变化。所以只要测出转子的输出电压的幅值，就可求出转子相对定子的角位移。 当转子绕组磁轴与定子绕组磁轴垂直时，=0，不产生感应电压；当两磁轴平

6、行时，=90，感应电压最大；当两磁轴为任意角度时，感应电压为： U2=KU1sin=KUmsintsin 式中： K变压比(转子绕组与定子绕组的匝数比)， U1励磁电压， Um励磁电压的幅值， 励磁电压的角频率。5.2.2 旋转变压器的应用旋转变压器的工作方式 1. 鉴相工作方式该方式是通过旋转变压器转子绕组输出电压的相位确定被测角位移，即给定子的两个绕组分别通以同幅、同频但相位差为90的励磁电压，这两个励磁电压在转子绕组中产生的感应电压是叠加在一起的。因而转子中的感应电压为两个电压的代数和，转子输出电压的相位角和转子的偏转角之间有严格的对应关系，只要检测出转子输出电压的相位角，就可以知道转子

7、的转角。 Vs=Vmsint Vc=Vmcost E2=KV m cos- KV csin =KV m (sintcos- costsin) =KV m sin(t-) 鉴幅工作方式该方式是通过旋转变压器转子绕组输出电压的幅值确定被测角位移，即给定子的两个绕组分别通以同相、同频但幅值不同的交流励磁电压，转子输出电压的幅值随转子的偏转角而变化，测量出幅值即可求得转子转角值。Vs=Vmsin电sint Vc=Vmcos电sint E2=KV m cos机- KV csin机 =KV m sint(sin电cos机- cos电sin机 =KV m sin(电-机) sint感应电势（E2）是以为角频

8、率、以Vm sin(电 -机 )为幅值的交变电压信号。若电气角电已知，只要测出E2 幅值(利用E2 =0)，便可间接的求出机械角机 ，从而得出被测角位移。(第一讲) 5.3 感应同步器 (第二讲)感应同步器是利用电磁耦合原理，将位移或转角变为电信号，借以进行位置检测的反馈控制，在数控机床上使用极为普遍。按其用途可分为两大类：直线感应同步器和圆感应同步器。前者用于直线位移的测量，后者用于转角的测量。在结构上，两者都包括固定和运动两大部分，对旋转式分别称为定子和转子；对直线式分别称为定尺和滑尺。5.3.1感应同步器的结构和类型感应同步器是一种电磁感应式多极位置传感元件，由旋转变压器演变而来。它的极

9、对数可以做得很多，一般取360对极、720对极，最多的达2000对极。由于多极结构，在电与磁两方面对误差都起补偿作用，所以具有很高的精度。感应同步器的励磁频率一般取210kHz。1. 圆感应同步器它由定子和转子组成。转子绕组为连续绕组；定子上有两相正交绕组（sin绕组和cos绕组），做成分段式，两相绕组交差分布，相差90电相角。属于同一相的各相绕组用导线串联起来。2. 直线式感应同步器考虑到接长和安装，通常定尺绕组做成连续式单相绕组。 滑尺上配置断续绕组，并且分为正弦励磁绕组和余弦励磁绕组，这两个绕组在空间上错开90电相角。 5.3.2 感应同步器的工作原理当滑尺上励磁绕组和定尺上的绕组位置重

10、合时，耦合磁通最大，感应电动势也最大。当继续平行移动滑尺时，感应电动势逐渐减小，当移动到1/4节距位置处，在感应绕组内的感应电动势为零。继续移动到半个节距处，可得到与初始位置极性相反的最大感应电动势。在3/4节距处，感应电动势又 变为零。移动到下一个节距时，又回到与初始位置完全相同的耦合状态，感应电动势最大。这样，感应电动势随滑尺相对于定尺的移动而呈周期性变化。 5.3.3 感应同步器的应用(1) 鉴相型系统当在正弦绕组加励磁电压Us=Umsint，它在定尺绕组中产生的感应电动势为： Uos=KUscos=KUmsintcos式中 K耦合系数， 与位移X对应的角度，定、滑尺相对移动一个节距P=

11、2，从0变到2，即 = 2X/P = x/同理，在余弦绕组加励磁电压Uc=Umcost，它在定尺绕组中产生的感应电动势为： Uoc=KUccos（+/2）= -KUmcostsin应用迭加原理，定尺上的感应电动势为： Uo= Uos+ Uoc = KUmsin（t-）下张片子中上面这张图是鉴相检测系统方框图；下面这张图是脉冲相位变换器方框图。2. 鉴幅式系统比较器数模转换放大环节速度单元工作台测量及信号处理电路伺服电机进给指令 鉴幅式伺服系统原理框图进入比较器的信号有两路，一路来自进给脉冲，它代表了数控装置要求机床工作台移动的位移量。另一路来自测量及信号处理电路，以数字脉冲形式出现，体现了工作

12、台实际移动的距离。鉴幅式系统工作之前，数控装置和测量元件的信号处理电路都没有脉冲输出，比较器的输出为零，工作台不移动。出现进给脉冲信号后，比较器的输出不为零，经数模转换电路将比较器输出的数字量转化为电压信号，经放大后，由伺服电机带动工作台移动。同时，工作在鉴幅状态的感应同步器的定尺感应出电压信号，经信号处理线路转换成相应的数字脉冲信号，该数字脉冲信号作为反馈信号进入比较器与进给脉冲进行比较。若两者相等，比较器输出为零，工作台不动；若两者不相等，说明工作台实际移动的距离还不等于指令信号要求移动的距离，伺服电机继续带动工作台移动，直到比较器输出为零时停止。 感应同步器的使用特点 精度高由于感应同步

13、器是直接对机床位移进行测量，中间不经过任何机械转换装置，测量精度只受本身精度限制。定尺和滑尺上的平面绕组，采用专门的工艺方法制作精确。再加上它的极对数多，定尺上的感应电压信号是多周期的平均效应，从而减少了制造绕组局部误差的影响，所以测量精度高。目前直线感应同步器的精度可达0.001mm,重复精度0.0002mm,灵敏度0.00005m。直径为302mm的感应同步器的精度可达0.5,重复精度0.1，灵敏度0.05。 可拼接成各种需要的长度 根据测量长度的要求，采用多块定尺接长，相邻定尺间隔也可以调整，使拼接后总长度的精度保持（或略低于）单块定尺的精度。尺与尺之间的绕组连接方式有两种：当定尺少于1

14、0块时，将各绕组串联连接，当多于10块时，先将各绕组分成两组串联，然后将此两组再并联，以不使定尺绕组阻抗过高为原则。 对环境的适应性强 直线式感应同步器金属基尺与安装部件的材料的膨胀系数相近，当环境温度变化时，两者的变化规律相同，而不影响测量精度。感应同步器为非接触式电磁耦合器件，可选耐温性能好的非导磁性材料作保护层，加强了其抗温防湿的能力，同时在绕组的每个周期内，任何时候都可以给出与绝对位置相对应的单值电压信号，不受环境干扰的影响。 使用寿命长 由于感应同步器定尺与滑尺之间不直接接触，因而没有磨损，所以寿命长。但是感应同步器大多装在切屑或切削液容易入侵的部位，所以必须用钢带或折罩覆盖，以免切

15、屑划伤滑尺与定尺的绕组。 注意安装间隙感应同步器安装时要注意定尺与滑尺之间的间隙，一般在（0.020.25）mm0.05mm以内，滑尺在移动过程中，由于晃动所引起的间隙变化也必须控制在0.01mm之内。如果间隙过大，必将影响测量信号的灵敏度。 5.4 直线光栅光栅用于光谱分析和光波波长的测定，是测量数控机床工作台位移的光电检测元件。光栅分为物理光栅和计量光栅。物理光栅刻线细密，用于光谱分析和光波波长的测定。计量光栅比较而言刻线较粗，但栅距也较小，在0.0040.25mm之间，测量的位置精度非常高，分辨率也很高，达0.1m，主要用在数字检测系统。光栅传感器为动态测量元件，按运动方式分为长光栅和圆

16、光栅：长光栅用来测量直线位移；圆光栅用来测量角度位移。根据光线在光栅中的运动路径分为透射光栅和反射光栅。一般光栅传感器都是做成增量式的，也可以做成绝对值式的。目前光栅传感器应用在高精度数控机床的伺服系统中，其精度仅次于激光式测量。在加工中心等高精度数控机床上应用较广。 5.4.1 长光栅检测装置的结构1长光栅检测装置的结构光栅是由光源、聚光镜、主光栅、指示光栅和光敏元件等构成。主光栅和指示光栅分别安装在机床的移动部件及固定部件上，两者相对移动，相互平行，它们之间保持0.05mm或0.1mm的间隙。主光栅和指示光栅的刻线错开一定的角度，以得到莫尔条纹。 主光栅和指示光栅通称为光栅尺，它们是在真空

17、镀膜的玻璃片或长条形金属镜面上光刻出均匀密集的线纹。光栅的线纹相互平行，线纹之间的距离称为栅距。对于圆光栅，这些线纹是圆心角相等的向心条纹。两条向心纹线之间的夹角称为栅距角。 栅距和栅距角是光栅的重要参数。对于长光栅，金属反射光栅的线纹密度为2550/mm；玻璃透射光栅为100250/mm。对于圆光栅，一周内刻有10800条线纹（圆光栅直径为270mm，360进制）。标尺光栅312431245图5.9 光栅的结构 图5.10 光栅读数头 1-防护垫 2-光栅读数头 1-光源 2-准直镜 3-指示光栅3-标尺光栅 4-防护罩 4-光敏元件 5-驱动线路什么叫莫尔条纹？栅距相同的主光栅和指示光栅，

18、刻线面相对的重叠在一起，中间留有适当小的间隙，并且两者刻线错开一定的角度，两块光栅的刻线就会相交。这样由于光的干涉效应，就会产生和栅线接近于垂直的明暗相间的条纹，这些条纹就是莫尔条纹。图4-41 莫尔条纹严格地说，莫尔条纹排列的方向是与两片光栅线纹夹角的平分线相垂直。 莫尔条纹中相邻两条亮纹或两条暗纹之间的距离称为莫尔条纹的间距。 摩尔条文宽度B的理论公式莫尔条纹的特征（特点）： (第三讲)（1）莫尔条纹的变化规律两片两光栅相对移过一个栅距，莫尔条纹移过一个条纹间距。由于光的衍射与干涉作用，莫尔条纹的变化规律近似正（余）弦函数，变化周期数与两光栅相对移过的栅距数同步。 （2）放大作用 用W（m

19、m）表示莫尔条纹的宽度，P(mm)表示栅距，(rad)为光栅线纹之间的夹角，在两光栅栅线夹角较小的情况下，如图4-41所示则有 莫尔条纹宽度W与角成反比， 越小，放大倍数越大。就不需要经过复杂的光学系统，便能将光栅的栅距放大，从而大大减化了电子放大线路。（3）均化栅距误差作用莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同组成，例如，200条/mm的光栅，10mm宽的光栅就由2000条线纹组成，这样栅距之间的固有相邻误差就被平均化了，消除了栅距之间不均匀造成的误差。（4） 辨向作用当光栅尺移动一个栅距P时，莫尔条纹也相应地向上或向下准确地移动一个间距 W。只要通过光电元件测出莫尔条纹的数目，就可知道光栅移动了多

20、少个栅距，工作台移动的距离可以计算出来。若光栅移动方向相反，则莫尔条纹移动方向也相反（见图4-41）。若标尺光栅不动，将指示光栅转一很小的角度，两者移动方向及光栅夹角关系如下表所示。因莫尔条纹移动方向与光栅移动方向垂直，可用检测垂直方向宽大的莫尔条纹代替光栅水平方向移动的微小距离。莫尔条纹移动方向与光栅移动方向及光栅夹角的关系表指示光栅转角方向标尺光栅移动方向 莫尔条纹 移动方向逆时针方 向右下左上顺时针方 向右上左下5.4.2 光栅位移-数字变换电路利用莫尔条纹的上述特点，光敏元件可以把光强变化转换成相应的电压信号，根据电压信号的变化，我们就可测量出光栅的相对位移情况，如位移大小、位移方向和

21、移动速度等。在光栅测量系统中，为了提高分辨率和测量精度，不可能仅靠增大栅线的密度来实现。工程上采用莫尔条纹的细分技术。细分技术有光学细分、机械细分和电子细分等方法。伺服系统中应用最多的是电子细分法。最基础的是4倍频光栅位移-数字变换电路。这种电路的组成就是后面这张图。abcd差动放大差动放大(sin)(cos)整形整形反向反向微分微分微分微分ABCDACBDY1Y2Y3Y4Y8Y5Y6Y7H1H2正向脉冲反向脉冲sincosABCDABCD相加ABCD相加正走反走由4块光电池发出的信号分别为a、b、c和d，相位彼此相关90。 a、c信号是相位差为180的两个信号，送入差动放大器放大，得到sin

22、信号。将信号幅度放大到足够大。 同理b、d信号送入到另一个差动放大器，得到cos信号。sin、cos信号经过整形器的整形变成两个方波，这两个方波信号再经过反向又得到两个方波信号。然后将这4个方波信号再经过微分变成4个窄脉冲，由与门电路把0、90、180和270四个位置上产生的窄脉冲组合起来，根据不同的移动方向形成正向脉冲或反向脉冲。最后再计算出脉冲个数，来测量光栅的实际位移。光栅移动时产生的莫尔条纹由光电元件接受。然后经过位移-数字变换电路形成正走、反走时的正向、反向脉冲。5.5 光电脉冲编码器 5.5.1 脉冲编码器的分类与结构脉冲编码器是一种旋转式脉冲发生器，能把机械转角变成电脉冲，可作为

23、位置检测和速度检测装置。脉冲编码器分为：光电式、接触式和电磁感应式。从精度和可靠性方面来看，光电式脉冲编码器优于其他两种。脉冲编码器是一种增量检测装置，它的型号是由每转发出的脉冲数来区分。数控机床上常用的有：2000P/r、2500 P/r和3000 P/r等。1234567图5. 14光电脉冲编码器的结构1-光源； 2-圆光栅； 3-指示光栅； 4-光电池组； 5-机械部件； 6-护罩；7-印刷电路板这种检测方式的特点是：检测方式是非接触式的，无摩擦和磨损，驱动力矩小；由于光电变换性能的提高，可得到较快的响应速度。其缺点是抗污染能力差，容易损坏。5.5.2 光电脉冲编码器的工作原理信号处理装

24、置abz码盘基片透镜光源光敏元件透光狭缝光欄板节距m+/4两个光电元件错开90相位角安装。当圆盘旋转一个节距时，在光源照射下，就在光电元件上得到一个光电波形输出。A相比B相导前90。若A相导前B相时为正方向旋转，则B相导前A相时就是负方向旋转。利用A相与B相的相应关系可以判别编码器的旋转方向。A、B信号为具有90相位差的正弦波，这组信号经放大器放大与整形，得下图所示的输出方波。5.5.3 光电脉冲编码器的应用光电脉冲编码器在数控机床上，用在数字比较伺服系统中，作为位置检测装置。光电脉冲编码器将位置检测信号反馈给CNC装置有几种方式：一是适应带加减计数要求的可逆计数器，形成加计数脉冲和减计数脉冲

25、。二是适应有计数控制端和方向控制端的计数器，形成正走、反走计数脉冲和方向控制电平。应用一：适应带加减计数要求的可逆计数器，形成加计数脉冲和减计数脉冲。A相信号a+B相信号整形整形dbcef-可逆计数&单稳反向abcdefabcdef光电脉冲编码器的输出脉冲信号A、A、B、B经过差分驱动传输进入CNC装置，仍为A相信号和B相信号。将A、B信号整形后，变成规整的方波（电路中a、b点）。当光电脉冲编码器正转时，A相信号超前B相信号，经过单稳电路变成d点的窄脉冲，与B相比反向后c点的信号e相，由e点输出正向计数脉冲。f点由于在窄脉冲出现时，b点的信号为低电平，所以f点也保持低电平。这时可逆计数器进行加

26、计数。当光电脉冲编码器反转时，B相信号超前A相信号，在d点窄脉冲出现时，因为c点是低电平，所以e点保持低电平。f点输出窄脉冲，作为反向减计数脉冲。这时可逆计数器进行减计数。这样就实现了不同旋转方向时，数字脉冲由不同通道输出，分别进入可逆计数器做进一步的误差处理工作。应用二：适应有计数控制端和方向控制端的计数器，形成正走、反走计数脉冲和方向控制电平。ABA1B1CD13高电平“1”低电平“0”高电平“1”高电平“1”ABA1B1CD13A相脉冲B相脉冲整形整形单稳单稳B1D S R12Q3脉冲方向计数有方向端的可逆计数器A1CQ正走时，A脉冲超前B脉冲，B方波和A1窄脉冲进入C“与非门”，A方波

27、和B1窄脉冲进入D“与非门”，则C门和D门分别输出高电平和负脉冲。光电脉冲编码器的输出脉冲信号A、A、B、B经过差分驱动传输进入CNC装置，为A相信号和B相信号，该两相信号为本电路的输入脉冲。经整形和单稳后变成A1、B1窄脉冲。这两个信号使由1、2“与非门”组成的“R-S”触发器置“0”，（此时，Q端输出“0”，代表正方向），使3“与非门”输出正走计数脉冲。反走时， B脉冲超前A脉冲，B方波和A1窄脉冲；A方波和B1窄脉冲同样进入C、 D“与非门”，但由于其信号相位不同，使C门和D门分别输出负脉冲和高电平。从而将 “R-S”触发器置“1”，（此时，Q端输出“1”，代表负方向），使3“与非门”输

28、出反走计数脉冲。不论正走、反走，与非门3都是计数脉冲输出门、 “R-S”触发器的Q端输出方向控制信号。5.6 编码器5.6.1 绝对值编码器1.绝对值编码器的种类绝对值编码器是一种直接编码、绝对测量的检测装置。与增量脉冲编码器不同，它是通过读取绝对编码盘、编码尺（通称为码盘）的代码（图案）信号指示绝对位置。电源切除后，位置信息不丢失，也没有积累差。从编码器使用的计数制来分类，有二进制编码、二进制循环码（葛莱码）、余三码和二一十进制码等编码器。从结构原理来分类，有接触式、光电式和电磁式等绝对值式编码器。2.结构及工作原理绝对式编码器通过读取编码盘上的图案来表示数值。其结构及工作原理是：图中空白的

29、部分透光，用“0”表示，涂黑的部分不透光，用“1”表示。二进制编码器的主要缺点是图案转移点不明确，将在使用中产生较多的误差葛莱编码盘是改进后的，它的特点是每相邻十进制数之间只有一位二进制码不同。因此，图案的切换只用一位数进行。所以能把误读控制在一个数单位之内，提高了可靠性绝对值式编码器一般都做成二进制编码，码盘的图案由若干同心圆环（码道）组成。码道的数量与二进制的倍数相同。靠近圆心的码道代表高倍数码，越往外倍数越低，最外圈是最低位。复习题1.数控检测装置有哪几类？常用的数控检测装置有哪些？作用是什么？2.直线光栅的工作原理是什么？画出光栅检测四倍频位移数字变换电路原理图及波形图，并简述工作过程。3.说明光电脉冲编码器的结构、工作原理及其应用场合。4.画出光电脉冲编码器的检测电路原理图及波形图，并简述工作过程。19