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1、O CHOTEST中图仪器产品解决方案产品名称：SJ6000激光干涉仪联系人：联系电话：公司地址： 深圳市福田区上梅林凯丰北路利丰大厦 24楼公司网址：深圳市中图仪器科技有限公司SJ6000激光干涉仪O CHOTEST中图仪器产品开发背景激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵敏 度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。目前，国产激光干涉仪无论在测量精度、最高测速，还是 在最高测速下的分辨率及测量范围等方面，都与国外的产品有着一定的差距。由于技术上的差距，导 致了国内的激光干涉仪市场一直由国外占领，且形成了价格垄断。SJ6000激光干涉仪在测量精度、测量
2、速度等方面基本上达到进口品牌的水平，能够填补我国在中高端测量技术上的空白，打破国外在 价格和技术上的垄断，推动激光干涉测量技术的普及，降低企业的检测成本，提升了我国在高精密测 量方面的检测水平进而提高我国在高端制造领域的整体竞争力。表1国内外典型激光干涉仪性能参数对比Reni shawAPIAgile ntZYGO成都工具 所中图仪器SJ6000单/双频单频双频双频双频双频单频产生双频的方法/塞曼效应塞曼效应声光调制塞曼效应/最大频差（MHz）/44201.2/激光稳频精度（ppm 0.05ppm 0.05ppm 0.02ppm 0.1ppm 0.1ppm 0.05ppm最高测速（mm/s40
3、00/3000510020004000分辨率（nm）1110.31201测量范围（m）804540402040线性测长精度（ppm） 0.5 0.5 0.40.5 1.5 0.5针对国产激光干涉仪测量精度低、测量速度小、测量系统操作复杂、测量功能少、检测过程复杂、 数据不客观等缺点和不足，以及国外激光干涉仪价格昂贵等因素，我司于2015年在国内首家推出高性能重大产品一一高精密SJ6000激光干涉仪。该产品具有测量精度高、测量速度快、最高测速下分辨率高、测量范围大等优点。测量范围广： 通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的 测量；在相关软件的配合
4、下，还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精度等动态参量， 可以进行机床振动测试与分析， 滚珠丝杆的动态特性分析，-1 -O CHOTEST111鬥SJ6000激光干涉仪驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有极高的精度和效率，而且及时处理数据，为 机床误差修正提供依据；二、产品图片产品型号：SJ6000产品名称：激光干涉仪三、产品描述SJ6000采用美国进口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制
5、技术，实现快速（510分钟）、高精度（0.05ppm）、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精 度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。使用时，操作者先按照设计的几何光路安装相配合的镜组，几何光路是以迈克尔逊型激光干涉仪原理为基础设计的，下图是迈克尔逊干涉仪的基本原理图：迈克尔逊干涉仪的基本原理图迈克尔逊干涉仪的原理是一束入射光分为两束后各自被对应的平面镜反射回来，这两束光从而能够发生干涉。干涉中两束光的不同光程可以通过调整干涉臂长度以及改变介质的折射率来实现，从而形成不同的干涉图样。干涉条纹是等
6、光程差点的轨迹，因此，要分析某种干涉产生的图样，必求出相 干光的光程差位置分布函数。搭建好几何光路后，在检定软件上设定测量的开始、结束位置，点击“开始”按钮，软件界面会 实时显示测量所得动态数据； 扫描结束后，操作者可通过对测量所得数据曲线进行分析，得到如长度、角度、直线度、垂直度、平面度等参数。并根据系统内置的检测标准对被测件的各项参数进行合格判 定，检测结束后自动生成检定结果。四、功能特点1. 应用范围广：可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测；在相关软件的配合下,还可以对数控机床进行动态性能检测，如可以测量数控机床的定位精度、重复定位精度、微量位移精-4 -SJ6000
7、激光干涉仪O CHOTEST度等动态参量，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。2. 测量精度高：以激光干涉技术为核心， 测量结果可达纳米级； 采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。3. 采用先进的PSD技术（光电位置敏感检测器，可将光敏面上的光点位置转化为电信号），光路调节迅速、方便。一次安装能测量 6项精度指标包括线性定位误差、XX及YY两个方向直线度、偏摆角、俯仰角、滚动
8、角。4. 内置各种类国标（GB ）、ISO （国际）、BS （英制）、美标、DIN （德标）、JIS （日标）等机床检验标 准。具有动态测量分析功能，能够实时采集、显示数据，可进行快速测量分析。5. 安装方便：基本重量为 15kg，简单便携；云台自带三维水平校正仪，安装调光方便；断光无影响，方 便导轨的安装调试；6. 界面友好，更符合中国用户操作习惯；7. 测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；8. 可从数据库中选定多条记录成批打印检定记录或者检定证书；9. 可将检定数据输出到 Word、Excel
9、、AutoCAD （选配）文档；10. 具有数据备份和还原数据库功能；11. 输出多种 Word格式报表，并支持完全的自定义报表，定制检定记录报表和检定证书的格式，特别适合国内计量机构对报表方面的要求；五、技术指标1. 线性测长精度： ）.5ppm（040 C ）激光稳频精度：0.05ppm-5 -O CHOTEST111鬥讥电SJ6000激光干涉仪2. 分辨率：0.001um3. 最大测量速度：4.0m/S ;4. 最高采样频率：0-40m5. 预热时间：510分钟6. 环境补偿精度：空气压力：1.0mBar，空气湿度：5%，材料温度：0.1 C7. 基本重量（含三脚架，包装）：15Kg六、
10、检测标准激光干涉仪测量分析软件支持以下机床检验标准:ISO230-2老版国际标准ISO230-1997新版国际标准ANSI B5.54美国国家标准ASME B89.1.12M美国机械工程师协会标准NMTBA美国机床协会标准BS 3800英国机床标准BS 4656英国三测机标准JIS B6330日本国家标准GB 17421-2000中国国家标准VDI 3441德国机床标准VDI 2617德国三测机标准E60-099法国国家标准-6 -SJ6000激光干涉仪O CHOTEST中图仪器七、产品配置清单1. 标准配置：1）SJ6000 主机 1 台；2）环境补偿模块1台；3）线性测量光学镜组1套；4）
11、测量软件1套；5）便携式笔记本电脑1台6）铝合金仪器配件箱1个；7）产品使用说明书1套；8）产品合格证、保修卡 1套;9）免费保修1年。2、选配镜组：1）线性测量光学镜组-7 -SJ6000激光干涉仪-# -SJ6000激光干涉仪固定角谁反射说-# -SJ6000激光干涉仪-8 -SJ6000激光干涉仪2）线性测量光学镜组-# -SJ6000激光干涉仪O CHOTEST中图仪器-9 -SJ6000激光干涉仪-# -SJ6000激光干涉仪-# -SJ6000激光干涉仪-# -SJ6000激光干涉仪3）直线度测量光学镜组-# -SJ6000激光干涉仪-# -SJ6000激光干涉仪正视图俯视图4）垂直度测量附件-10 -O CHOTEST111鬥r*虽SJ6000激光干涉仪-11 -O CHOTEST111鬥r*虽SJ6000激光干涉仪大角锥反射锐俯视图大角锥皮射镜正视图5）平面度测量附件-12 -O CHOTEST111鬥扣电SJ6000激光干涉仪-13 -