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1、半导体无尘车间环境噪声改善1 .前言:随着科技不断进步，企业对无尘车间使用越来越多，无尘车间带来恒温恒湿、无尘环境同时， 也带来另一个问题，无尘车间内的噪声很难控制和消除， 随着国家对员工职业健康的关注和员工自我 防护意识的加强，治理改善无尘室作业环境噪声的需求越来越高。噪声职业病对企业的经济成本和社会成本的影响也迫使企业加强对无尘车间噪声环境改善。但目前没有发现比较好的或成熟方法和措 施，本篇把我在半导体企业治理无尘车间躁声的经验分享给大家。2 .编制依据a) 工业企业设计卫生标准(GB Z1-2010 );b)工业企业噪声控制设计规范(GBJ87-1985 );c) 工业企业厂界噪音标准(
2、GB12348-2008 );d)社会生活环境噪声排放标准(GB22337-2008);e)中华人民共和国国家职业卫生标准(GBZ 2.2-2007 )f) * * *车间提供的有关资料和要求；g) 现场踏勘记录；3 .参与人员a)公司环境安全部门负责人-负责无尘车间环境噪声测量监控b)公司设备部门负责人、各生产部门负责人、各生产部门设备责任人-负责设备噪声降噪改善和控制c)动力运行责任人一负责无尘车间环境噪声降噪改善和控制d)南京*声学所宋总一提供理论支持和分析e)南京*声学企业一降噪产品支持4 .车间噪声原始数据及状况公司在内部生产环境检测时发现部分车间环境噪声严重超标，部分区域达到或超过
3、工业企业噪声环境控制范围。附改善前环境噪声数据及相关标准。4 6487一1勺的工业企业厂区啾声控制设计规范工业企业厂国内各类地点嘘声标很序号地点类别噪声限值dB（A）备注1生产车间及作业场所（工人每天逐段接触曝出g小时）90K本表所列哪市限值. 均应接现行国家机准 刑量确定.2、对于工A/无接触噪 声不足g小时的场合J 可报实除接触噪声的 时间，按接触时何娥 半噪声限值赠加m dB :的原则,确定其喋而 限也九本表所列簟啊背景曦 母级，指在室内无由 激发府条件下.从军 外经由端、门”窗（门 窗后闭状态为常规状 赵J闯入室内的室内 平均丹声燕1前喷请年间设置的他本空、现察富、休息室f室内若氨噪声
4、破）753精宙建配畿器畲加工车团的工作地 点、计算机厝1E常工作优志,704年间所属办公室、实险空、设冲电C室内首弟噪信缴）705主授制室,集中控制至、淞讯室、电M 总机宴，消防值班宣（室内背景曜声级J606匕部所属J卜公空、必设空.设计富、中 心实验室室内背景噪声缀）607医务空,敕氢哺乳堂.托儿所工人 心班室工型内背景修声级）55表9工作场所噪声职业接触限值（GBZ 2.2-2007 ）接触时间接触限值dB（A）备注5d/w , =8h/d85非稳态噪声计算8h等效声级5d/w ,丰 8h/d85计算8h等效声级w 5d/w85计算40h等效声级标准来源：GBZ/T 229.4-2012工
5、作场所职业病危害作业分级第4部分:噪声喔声作业：3.5 作业 work(job)expoded to noise存在有损听力，有害健康或有其他危害的声音，目8md或40W周噪声暴都等效声级之80dB的作也4.3.1稳冬并qE椁壬连名同呼声按照CBZT1即$2007的要求进行噪声作业涮量,位据嗓声暴露情况计算LX7sh或IE1后，根据表I确定嗓声作业缤别，共分理a分提示例见附录即一表】欢声作业分缎分组等效芦组北工跖dB危孟样阂1乏工工励=加转度危害卜nWLEX,3h-lM中度危吉，inP5LEKS100重度危#IVLEXSh. 工况也重危闻I注：表中等效声圾LEX,知与LEK,.等效使用一5分级
6、管理彘则5-1对于此d或40h周爆声暴露等效声级SOdB但啰三dB的作业人员j在目前的作世方式和防护措。玉不受 的情况下，应进行健康监护j 一旦作业方式或控制效果发生变化j应重新分细. 5J辑度危言(I级=在目前的作业条价不可能对劳动看弱斤力卢生不熨区循h应改善工作环境，降低分 LT触小k设置早声危一害】.邛士上.限期摸三二丁用品芳二;.吉商亍歌一二三后打 工矍职 韭健康监疔.定期作业场所监测等措施53卬度卮击“驾t)：在目重的作业条件下，很可能对割情的听力产生不良黄响针对企业特点，在采取, 上述措施的摩t采取纠正和首理行动，降低劳动者实际接触水平。八改善前生产现场噪声数据如下54953616
7、116216316416516616716816917017117284.0dB (A)85.6dB (A)16015915815715615515415315215115022055555455355255155014614714886.541213713613514314414514113012917653253153052952812412512712822186.5535534533527526525524123122121120119氮柜氮柜4368889909192939495969785.8 dB(A)83.2 dB(A)87868584838281807978687767584
8、95748403031323334353637383985.2 dB(A)292827262524232120101991立柜立柜B229B228B204B203B202B224B227B226B225B152B141B280B636B601B599B602B591B603B300B28385.4dB(A)B285B122B138B127B32B31B30B125B126B137B29B124B135B136B123B115B11683.5dB(A)B178B177B151B37B38B179B180B113B114B17B25B23B24B106B107B105B159B33B15B16B1
9、8B109B154B153B14B26B49B158B162B157B13B161B34B35B155B160B182B174B181B287B286B111B156B27B28B293B291B292B271B270B145B148B146B14783.1dB(A)B295B296B294B172B173B164B170B169B163B284B171B175B176B166B168B167B165B207B208B75B92B99B62B90B77B86B104B102B101B187B186B185B39B10B21B20B19B140B128B205B212B216B120B117B2
10、13B217B247B143B263B238B237B22B12B9B7噪声治理a）设备噪声源:通过对现场全范围逐台设备的环境噪声测试（测试方法取作业面.5米高，距离机台产品作业的距离取0.5米；1米)查找每台设备噪声值，对噪声值偏高设备单独测试查找噪声来源进行更换材料、隔离、调整工艺等做法来改善噪声源。这一块作为无尘车间噪声改善的重点方向，因不同公司设备不同产生噪声源方式不同，本篇不做详述。但必须知道降低设备噪声是无尘车间环境噪声改善重点。b)环境噪声：环境噪声改善在无尘室厂房施工方面没有成熟方案，无尘室厂房降噪相关原理和经验均 比较缺乏。本次拟根据相关降噪原理，结合第一次改善的经验、教训作
11、一次验证性改善。取 得相关经验后再结合其他厂区实际噪声状况进行改善和规划。i. 环境噪声测量方式及仪器:dB ,只是理论上的值，硕!实中，必须要通过一定 的设施进行测量才知道结果，为了照顾人的感觉r分 利设计了三种计量(实际就是计权)方式，并按此方 式设计了计量设备。所以在现实中测出来的只能是 dB(A) r不后在dB根据所使用的计权网不同，分别称为A声级、B声级 和C声级，单位记作dB四、dB(B dB(C)t A计权 声级是BB以人耳对55dB以下低强度噪声的频率特性, B枚计启缎是模拟5 5d B到85dti的中等强度噪声的频 率特性r C计权声级呈模拟高强度噪声的频率卑也 三者的主要茎
12、别是无臊声期麻分的衰减程度，A衰 减最多，B次之.C最少。A计枚声级由于其特性曲线 接近于人耳的听感特性，囚此是目前世界上噪声剜量 中应用最广泛的一种，许多与噪声有关的国家规范都 是按A声吸作为指标的。ii. 环境噪声状况：无尘室内有较多设备，车间内墙壁均为光滑反光面，噪声容易在室内形成反射声及混响声，设备之间隔声量不足同时设备进出料口造成漏声，导致设备噪声经此传播影响周边环境噪声，同时车间有送回风口同样会产生噪声， 现场墙面及顶面如下图:iii. 环境噪声降噪方案设计:1 .吸声降噪处理：a）原理共振吸声结构的吸声原理是：当声波的频率与共振吸声结构的自振频率一致时，发生共振，声波激发共振吸声
13、结构产生振动，并使振幅达到最大，从而消耗声能，达到吸声的目的。声波入射到多孔吸声材料的表面时，部 分声流反射，部分声波透入材料内部微孔 内，激发孔内空气与筋络发生振动，空气 与筋络之间的使声能不断转化为 热能而消耗；空气与筋络之间的也 消耗部分声能，从而达到吸声的目的.（三）微穿孔板吸声结构2 0世纪60年代我国著名 声学专家马大猷教授研制。结构特征：厚度小于1丽的金属薄板上穿孔，孔径小 于1皿皿、穿孔率安装方法同薄板共振吸声结 构,后部留有一定厚度的空气层，起到共振薄板的作 用口空气层内不填任何吸声材料。常用的是单层或 双层微穿孔板.二二 一二二二二二层薄板常用铝板或钢板制 作，因板特别薄、
14、孔特 别小，为与一般穿孔板 共振吸声结构相区别， 故称为微穿孔板吸声结 构。图2-20单层.双层微穿孔扳吸声结构示意图b）材料选择i. 在淘宝网和其他网站搜寻选择对比后选择声博士官方旗舰店提供的环保声学棉作为吸声材料（因无尘室环境，需要考虑材料的吸 尘、发尘、是否有甲醛、是否有其它有害物质挥发对产品作业和人 体的影响）选择这款主要看中 E1级环保和食品级材质l|fe9QUri|ClDO环保声学棉 吸音/降噪两不误 高密度其隔音ii. 微穿孔板：此版原准备在网点直购，后比较成本高，就在网上找了一家冲孔网厂自己定制微冲孔板后喷塑。（材质和厚度均可定制） 做工可选择2.隔声降噪处理：a）原理：声屏障
15、降噪原理：声屏障降噪功能的基本原理是基于惠更斯一菲 涅尔的波动理论。在声源与受声点之间，插入一个有足够面密度的 密实材料的物休，使声波传播有一个明显的衰减，这样的“障碍物” 称为声屏障，是一种普遍使用的环境噪声和室内噪声控制手段。 广 义的声屏障可以定义为声源和接受点间的任何形式的阻隔构造 物。b）做法及结构采用铝合金穿孔吸音板将每条线两排机台隔开， 铝合金板穿孔对无尘室环境及气流无影响；吸隔声原理等同高速、高架隔音吸声板；目的将机台噪声隔离使不互相叠加形成混响或减弱混响从而降低现场噪声。（做法可根据现场环境需求自行调整）扁声解应有足够的高度，通常宜度大于高度，一般窗 度为高度的倍.（勤 隔山
16、邮期配介唆向处理，尤从是在泡峋声明姓的场合 如烟所小.加隔声用地闾水京回里金餐粗第丸皆星魁唇川比墙面吸周声装置做法示意图iv.环境噪声降噪方案验证:电偏,策丸两排机台之间走道顶部敷设吸音棉效果验证:(微穿孔板加吸音棉隔断现场设备)a)因为降噪材料数量关系，顶部吸声棉和墙壁隔声板未能全覆盖降噪区域b)降噪材料覆盖区域整体噪声降低1.5-2dB(A)c)机台267、253、252、266因靠近非降噪区域，受环境噪声影响较大，降噪效果不明显d)每种降噪措施独立实施效果0.5-1dB(A)生产现场降噪材料验证机台号原始噪声隔声板效果隔板+墙壁吸声板效果隔板+壁挂+吊顶吸声棉效果25382.381.80
17、.580.02.381.60.725283.081.21.880.12.981.02.025181.780.21.579.91.881.30.428281.480.60.880.41.081.00.424981.080.30.780.10.979.81.224881.079.51.580.60.479.51.527880.678.71.980.7(0.1)79.61.026780.681.3(0.7)79.61.082.0(1.4)26681.080.10.980.10.980.50.526580.479.50.979.50.979.70.724481.379.22.179.61.779.61
18、.727780.079.30.780.2(0.2)78.31.727380.280.20.079.70.578.51.721579.879.10.779.30.578.51.3平均值81.080.11.080.01.080.11.0行禽乙出*牝H 你d屿号原由，声阳版就展用力叫强王RMI敢累77L.S03凰li177fiS2.7蛀H。金如NJ7501耻51J74S34B2.11.)31.1-2J71S2.5523办由1572B2.7B234M刖.i.g7153 C电SOi丁口13L3SZ.5OE924a?网SO T风5(Lill赢a泪用心罪窕,L驹+5球痴io52C1JE3JOJ51C3.4明
19、金SL42.051i3835MJ2.8W83.1睚4*7KA11注83.1S3.(0.2i必0 5力07HA1.079eo.sMjCioi)S2JU0551.2asB-JM弓09ra隗S2.fiS2.a段工工D.B店11AE2.1O.B防S2A即E1.78.717叼二K1.9ijSl.7a 5辛力一日E2 1o.zEL1JMEUttSZ2SL.9OJ和可1.3降噪效果说明：1 .降噪材料覆盖区域整体噪声降低 1.5-2dB(A)2 .因吸声棉数量关系仅覆盖区域71-77号机台3 .隔声板降噪措施独立实施效果 0.5dB(A)V.环境噪声降噪方案后续改善：1 .无尘室顶部吸音棉安装影响美观；拟采用硬质吸音板两侧贴L型不锈钢包边以保持贴敷平整度。类似材质可选择环保声学棉2 .根据降噪原理隔声屏高度与降噪效果有直接关系，隔音屏高度尺寸采用和设备高度平 齐或略高于设备高度。3 .需要考虑周边噪声对改善区域的影响，可以在噪声改善区域分隔处理同样安装类似隔离垂屏)4.汴ifi玉骨S&(d) w币七毛孱K(3)隔声屏生里用 于控耦直达声.如 图2-郭所示,国结 内陆电.彩式多杆. 行一地形.三边快 遮懵式等a能有效 地防止噪击的发散. 其中萧谑错的赛边 港隔由屏效果才为 明显.专业的噪声改善费用非常昂贵，所以希望以上内容能够对需要作无尘室环境噪声改善的同行有所帮助。