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1、MID中的传感器加速计陀螺仪地磁传感器内容MID中的传感器一一已商用的传感器触摸屏摄像头麦克风（ST:MEMS microphones光线传感器温度传感器近距离传感器压力传感器（ALPS:MEMS气压传感器陀螺仪（MEMS加速度传感器（MEMS地磁传感器（MEMSMID中的传感器一一MEMS传感器集成电路（Integrated Circuit,IC把电子元件/电路/电路系统集成到硅片（或其它半导体材料上。微机械（Micro-Mecha nics把机械元件/机械结构集成到硅片（或其它半导体材料上。微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems,MEMS MEMS =
2、集成电路 + 微机械陀螺仪（GyroscopeMetal lidMEMS element?测量角速度?可用于相机防抖、视频游戏动作感应、汽车电子稳定控制系统（防滑加速度传感器（Accelerometer?测量线加速度?可用于运动检测、振动检测、撞击检测、倾斜和倾角检测地磁传感器（Geomagnetic sensor?测量磁场强度?可用于电子罗盘、GPS导航陀螺仪+加速计+地磁传感器?电子稳像（EIS: Electronic Image Stabilization?光学稳像（OIS: Optical Image Stabilization?零触控”手势用户接口?行人导航器?运动感测游戏?现实增强
3、MID中的传感器一一MEMS传感器厂商1、陀螺仪（角速度传感器厂商：sensonorkonix、SSS欧美:ADI、ST、VTI、Invensense sensordynamics日本：EPSON、Panasonic MuRata、konix、Fujitsu、国产:深迪2、加速度传感器（G-sensor厂商:欧美:ADI、Freescale ST、VTI、Invensense Sen sord yn amics Silic on Desig ns 日本:konix、Bosch、MSI、Panasonic 北陆电气国产:MEMSIC （总部在美国3、地磁传感器（电子罗盘厂商：欧美:ADI、Hon
4、eywell日本:aichi、alps、AsahiKASEI、Yamaha国产:MEMSIC （总部在美国MID中的传感器一一MEMS传感器厂商MID中的传感器IPhone4陀螺仪:ST,L3G4200D加速计:ST,LIS331DLH地磁传感器:AsahiKASEI,AK8975MID中的传感器陀螺仪加速计地磁传感器内容加速计概述 加速计的基本工作原理为牛顿第二定律:F = ma。传统加速计电位计输入电庄由检测质量（也称敏感质量、支承、电位器、弹簧、阻尼器和壳体组成。检测质量受支承的约束只能沿一条轴线移动，这个轴常称为输入轴或敏感轴。当仪表壳体随着运载体沿敏感轴方向作加速运动时，根据牛二定律
5、，具有一定惯性的检测质量力图保持其原来的运动状态不变。它 与壳体之 间将产生相对运动，使弹簧变形，于是检测质量在弹簧力的作用下随之加速 运动。当弹 簧力与检测质量加速运动时产生的惯性力相平衡时，检测质量与壳体之 间便不再有相对运动,这时弹簧的变形反映被测加速度的大小。电位器作为位移传 感元件把加速度信号 转换为电信号,以供输出。加速计分类？摆式?摆式积分加速计？液浮摆式加速计？挠性摆式加速计?非摆式?振梁加速计？静电加速计？ MEMS加速计 电容式压阻式 热电耦式 谐振式 压电式隧道效应式光波导式MEMS加速度传感器有多种实现方式，但它们的工作原理都是靠 MEMS中可移 动部分的惯性。以某种电
6、容式 MEMS加速度传感器为例，它的关键部分是一种悬臂 构造的质量很大的中间电容板，当速度变化或者加速度达到足够大时，它所受到的惯 性力超过固定或者支撑它的力，这时候它会移动，它跟上下电容板之间的距离就会变 化，上下电容就会因此变化。电容的变化跟加速度成正比。电容的变化会被转化成 电压信号直接输出或经过数字化处理后输出。根据不同测量范围，中间电容板悬臂IT加速计一一原理AB距离及冲击力加速度=物质的弹性系数X位移量/物体质量位移量可由得出 距离=1/2加速度 时间平方 电容的变化和加速度成正比 电容的变化经ASIC转换及综合运算A点移动到B点加速计 内部结构照片ST 的 LIS331DLH MEMS 内核照 ST 的 LIS331DLH 芯片加速计 内部结构照片加速计主要参数灵敏度（Scale factor/Sensitivity 噪声性能/分辨率零位输出温度稳定性灵敏度温度稳定性加速计主要参数 灵敏度（Scale factor/Se nsitivity噪声性能/分辨率 零位输出温度稳定性灵敏度温度稳定性加速计主要参数灵敏度（Scale factor/Se nsitivity噪声性能/分辨率 零位输出温度稳定性 灵敏度温度稳定性加速计主要参数灵敏度（Scale factor/Sensitivity 噪声性能/分辨率零位输出温度稳定性 灵敏度温度稳定性Thank You !