高架地板孔板布置方案.doc

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1、关于高架地板孔板布置方案关于高架地板孔板布置方案,我们一般分以下几步来考虑高架地板布置1. CFD计算要求业主提供生产机台的相关参数(如外形尺寸、自带FFU参数等),以得到更符合未来实际运转的气流状况。模型建立主要包括建筑尺寸、回风道分布以及生产设备模型等。边界条件主要包括FFU参数、孔板特性及障碍物等定。通过研究各区之气流偏移状况,分区调整地板阻力特性以形成洁净房所需要之垂直 单向流在施工之前预见未来可能发生的局部气流偏移、紊流甚至交叉污染等不良现象,并 采取相应的预防措施。2. 二次调整方案洁净室大环境气流偏移根据高架地板厂商 通风压损曲线 资料,计算维持高架地板通风压差在 5PA 左右

2、的各种不同开孔率高架地板的通风量,高架地板开孔率一般为 17%, 25%, 50%三种,可以以 17%开孔率为基数来计算,然后 1 块50%或 2块25%相 当与 3块 17%的通风量;Example :17%开孔率 , 压差在 5PA , 地板面风速 s ,通风量 h25%开孔率 , 压差在 5PA , 地板面风速 s ,通风量 h50%开孔率 , 压差在 5PA , 地板面风速 s ,通风量 1,620m3/h然后计算出一个 FFU 相当于几块 1 7%的高架地板几块,一般我们按照 1200*1200FFU 相当于 4块17%高架地板来计算,计算出需要多少 17%高架地板; Example

3、 :ISO 6 级区域可采 17%, 25% , 50% 三种任意互换ISO 5 级区域采 17%或 25%+DamperISO 3 级以上区域采 17%根据下夹层气流方向会使得距回风夹道距离不一样产生的压力梯度 ,下夹层各区的压力状况不一样,影响每块高架地板的通风量跟理想状况不一样,根据 分析计算来选择靠近回风道区域的孔板安装一些调风风阀。微环境气流偏移根据独立基台的面积占用多少 17%的高架来用 25%和 50%孔板来补充;在 ROBOT (自动机械手臂设备)区域,因其内部洁净等级要求高达Class 10,一般建议该区域满布孔板以避免紊流产生Example : ISO 3 级以上区域采 17%对于STOCKER 区域由于其设备侧壁上安装了 FFU,会抽车间内FFU风量,所以高架地板孔板布置要减掉 STOCKER 侧壁上安装的 FFU 风量;在Stocker设备底座下方即使是满布17%孔板有时也不能满足其气流控制需求,可改为 25%+Damper 进行强制通风,以得到较好的垂直气流单向流型

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