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1、无机太阳能电池材料,环化学院材料化学系 傅毛生 2011年1月,本章 基本要求,教学目的： 教学内容： 重点与难点 重点： 难点： 课时安排：1课时,第8章 带硅材料,前言 8.1 带硅材料的制备 8.2 带硅生长的基本问题 8.3 带硅材料的缺陷和杂质 8.4 带硅材料的氢钝化和吸杂,前言,1）带硅材料的优势特点 2) 带硅材料面临的共同问题及其发展,8.1 带硅材料的制备,制备方法的两大分类 按晶体生长方式可分： (1) 垂直提拉生长 (2) 水平横向生长,8.1.1 边缘限制薄膜带硅生长技术（EFG法）,EFG法的产生 EFG法设备和工艺特点 EFG带硅的尺寸与形状 EFG法的特点,8.
2、1.2 线牵引带硅生长技术（SRG法）,SRG法的产生 SRG法设备和工艺特点 SRG带硅的尺寸与形状 SRG法的特点,8.1.3 枝网带硅工艺（DWG法）,DWG法的产生 DWG法的特点,8.1.4 衬底上的带硅生长技术（RGS法）,RGS法的产生 RGS法设备和工艺特点 RGS法的特点,8.1.5 工艺粉末带硅生长技术（SSP法）,SSP法的产生 SSP法的特点,8.2 带硅生长的基本问题,三大问题： 1. 边缘稳定性 2. 压力控制：冷却速率大，要设计后加热处 理，减少热应力 3. 产率,带硅晶体的生长参数比较,8.3 带硅材料的缺陷和杂质,8.3.1 晶界 带硅为多晶材料 8.3.2 位错 有更多的位错 8.3.3 杂质 碳浓度很高，金属杂质也较高,8.4 带硅材料的氢钝化和吸杂,8.4.1 带硅的氢钝化 带硅的氢钝化的尤为必要性： 氢钝化工艺：结合SiN减反射膜制备进 行氢钝化工艺 8.4.2 带硅的吸杂,Dream with the Sea,