光电式传感器.ppt

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1、第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,原理 首先把被测量的变化转换成光信号的变化，然后通过光电器件变换成电信号。,特性 频谱宽、非接触测量、体积小、重量轻等,7-1 光源,第七章 光电式传感器,热辐射光源 气体放电光源 电致发光器件 激光器,光源是光电式传感器的一个组成部分，大多数光电传感器都离不开光源。,第七章 光电式传感器,一、热辐射光源,原理：热物体都会向空间发出一定的光辐射 特点：物体温度越高，辐射能量越大 代表：白炽灯、卤钨灯,第七章 光电式传感器,二、气体放电光源,原理：电流通过气体会产生发光现象 特点：改变气体成分、压力、阴极材料和放电电流的大小，可以得到不同光谱范围的辐射

2、源体 代表：日光灯,第七章 光电式传感器,三、电致发光器件,原理：固体发光材料在电场激发下产生的发光现象称为电致发光 特点：体积小、寿命长、工作电压低、响应速度快 代表：发光二极管,第七章 光电式传感器,四、激光器 (Light amplification by stimulated emission of radiation ),定义：能够产生光受激辐射放大现象的器件 特点：高单色性、高方向性好、高亮度、高相干性 分类：固体激光器、气体激光器、半导体激光器、 液体激光器,第七章 光电式传感器,7-2 光电效应与光电器件,一、光电效应,光电传感器的工作原理基于光电效应,光可以被看作是由一连串具

3、有一定能量的粒子光子所组成，每一个光子能量为：,h 普朗克常数，6.62610-34J.s； f 光的频率（s-1）。,光电效应：当光照射物体时，物体受到一连串具有能量的光子的轰击，物体中的电子吸收入射光子的能量，而发生相应的效应（如发射电子、电导率变化或产生电动势）。,光电效应按原理又分为以下3种：,1、外光电效应：在光照作用下，物体内电子逸出物体表面，形成光电流。,光子能量被电子吸收后，能量转化为电子逸出功A0和动能，即：,不同材料有不同的逸出功，对某种材料而言有一个频率限，当入射光的频率低于此频率限时，不论光强多大，也不能激发电子，此频率限成为“红限”，其临界波长K为：,m电子质量； v

4、0电子逸出速度； A0物体的表面电子逸出功。,c 光在真空中的速度。,逸出物体表面电子具有的动能,第七章 光电式传感器,外光电效应典型元件有光电管、光电倍增管等。,2、内光电效应：又称光导电效应， 在光照作用下，物体导电性能（如电阻率发生变化）发生改变的现象。典型的光电元件有光敏电阻，光敏二极管等。,第七章 光电式传感器,当光照射到光电导体上时，若这个光电导体为本征半导体材料，且光辐射能量又足够强,光电材料价带上的电子将被激发到导带上去，使光导体的电导率变大。,自由电子所占能带,价电子所占能带,hEg,3、光生伏特效应：在光线作用下，能使物体产生一定方向的电动势的现象。典型光电元件有光电池等。

5、,第七章 光电式传感器,二、光电器件,第七章 光电式传感器,光信号电信号,光电管的主要性能,（1）光电管的伏安特性 入射光的频谱及光通量一定时，对光电器件的阳极所加电压与阳极所产生的电流之间的关系称为光电管的伏安特性。,第七章 光电式传感器,（2）光电管的光电特性 当光电管的阴极和阳极之间所加的电压一定时，光通量与光电流之间的关系。,光照特性曲线的斜率称为光电管的灵敏度。,1-氧铯阴极 2-锑铯阴极,第七章 光电式传感器,(3) 光电管的光谱特性 一般光电阴极材料不同的光电管有不同的红限频率，因此它们可用于不同的光谱范围。 另外，同一光电管对于不同频率的光的灵敏度不同。以GD-4型光电管为例，

6、阴极是用锑铯材料制成，其红限c=700nm，对可见光范围的入射光灵敏度比较高。适用于白光光源，被应用于各种光电式自动检测仪表中。,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,光电倍增管,倍增极上的涂料在电子轰击下能发射更多电子； 倍增极之间有依次增大的加速电压。 二次发射系数,由光电阴极、若干倍增极和阳极三部分组成。,第七章 光电式传感器,倍增系数M,等于各倍增电极的二次发射系数i 的乘积。如果n个倍增电极的i 都一样（ ），则,所以,式中，i为光电阴极的光电流,光电倍增管的主要性能,第七章 光电式传感器,几种光电倍增管的外形,第七章 光电式传感器,2、内光电效应应用器件：,结构,暗电阻 暗电

7、流 亮电阻 亮电流 光电流,光敏电阻,用半导体材料制成,一般希望暗电阻越大越好，亮电阻越小越好， 此时光敏电阻的灵敏度高。实际光敏电阻的暗电阻值一般在兆欧量级， 亮电阻值在几千欧以下。,多数是非线性的。不宜做线性测量元件，一般用做开关式的光电转换器。,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,光敏二极管,光敏二极管在电路中一般是处于反向工作状态。,光敏二极管的光照特性是线性的，适合检测等方面的应用。,当光照射时，光敏二极管处于导通状态。,当光不照射时，光敏二极管处于截止状态。,第七章 光电式传感器,光敏三极管,集电结一边做得很大，以扩大光的照射面积，且基极一般不接引线。,集电极电流是光电流的

8、1+倍。,暗电流：,光电池的结构图,硅光电池的结构如图。它是在一块N型硅片上用扩散的办法掺入一些P型杂质（如硼）形成PN结。,3、光生伏特效应应用器件：,第七章 光电式传感器,当光照到PN结区时，如果光子能量足够大，将在结区附近激发出电子-空穴对，在N区聚积负电荷，P区聚积正电荷，这样N区和P区之间出现电位差。,若将PN结两端用导线连起来，电路中就有电流流过。若将外电路断开，就可测出光生电动势。,第七章 光电式传感器,太阳能电池片,70年代发展起来，发展自MOS器件 MOS光敏单元阵列 读出移位寄存器 用途：广泛用于图像识别、传输；典型应 用：摄像机固态图像拾取。,图像传感器,第七章 光电式传

9、感器,4、电荷耦合器件 （Charge-Coupled Device，简称CCD）,第七章 光电式传感器,1）MOS光敏单元,结构图,第七章 光电式传感器,1）MOS光敏单元,施加正电压于电极上P型区形成势阱产生电子和空穴势阱俘获电子（与光强成正比）形成MOS光敏元（象素）,光,第七章 光电式传感器,2）CCD时钟电压与电荷传输关系,读出移位寄存器是电荷图像输出电路,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,CCD信号读出电路：,复位管,电荷积分器,源跟随器,上文回顾,磁电式传感器 磁栅传感器 组成 原理 光电传感器 光源 光电效应及光电器件,外光电效应、内光电效应、光电伏特效应,热辐射、气

10、体放电、电致发光、激光,光电管 倍增管,光敏电阻 光敏二、三极管,光电池,CCD,第七章 光电式传感器,3）线阵与面阵CCD,单通道线阵,感光区：一列光敏单元组成； 传输区：由转移栅及一系列移位寄存器组成。,原理：光照产生的信号电荷存贮于感光区的光敏单元中，接通转移栅后，信号电荷流入传输区。传输区是遮光的，以防因光生噪声电荷干扰导致图像模糊。,双通道线阵,第七章 光电式传感器,A寄存器,B寄存器,原理：有两个移位寄存器平行地配置在感光区的两侧。当光生信号电荷积累后，时钟脉冲接通转移栅，信号电荷转移到移位寄存器，奇数光敏单元的电荷转移到A寄存器，偶数光敏单元的电荷转移到B寄存器。双通道线阵总的转

11、移效率比单通道高。,面阵：光敏元排列成矩阵,第七章 光电式传感器,光敏元面阵、存储器面阵、读出移位寄存器线阵。,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,5、位置 敏感器件 （Position Sensitive Detector-PSD）,分类：一维、二维。,原理见教材P137,横向光电效应,第七章 光电式传感器,PSD用作距离传感器：,问题：1、所能测量的最大距离与最小距离？ 2、遮光,典型应用：,红外LED,PSD,透镜,透镜,第七章 光电式传感器,优点：高灵敏度、高分辨力、响应速度快、配置电路简单等,应用范围：位置精确测量、兵器制导和跟踪、工业自动控制等,第七章 光电式传感器,例1

12、仿形加工中的测量技术,例2： 邮政编码识别系统,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,例3： 汽车信息无线传送系统,一、概述,增量式(脉冲式)：需要一个计数系统，旋转的码盘通过敏感元件给出一系列脉冲，它在计数器中对某个基数进行加或减，从而记录了旋转的位移量。 绝对式：它可以在任意位置给出一个固定的与位置相对应的数字码输出。,7-3 光电码盘,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,光学码盘式传感器是用光电方法把被测角位移转换成以数字代码式表示的电信号的转换部件。 下图是工作原理示意图。 1-光源；2-柱面镜；3-码盘；4-狭缝；5-元件。,二、工作原理,由光源1发出的光线经柱面镜2变

13、成平行光或会聚光，照射到码盘3上。码盘由光学玻璃制成，上面刻有许多同心码道，每个码道上都有按照一定规律排列的若干透光和不透光部分，即亮区和暗区。通过亮区的光线镜狭缝4后，形成一束很窄的光束照射到光电元件5上。光电元件的排列与码道一一对应。当有光照射时，光电元件的各种信号组合，反映出按一定规律编码的数字量，代表了码盘转角的大小。,1、增量式编码器结构及原理,第七章 光电式传感器,零位标识,方向辨别,2、绝对式编码器原理,第七章 光电式传感器,绝对式光电编码器是把被测转角通过读取码盘上的图案信息直接转换成相应代码的检测元件。 绝对式光电编码器是在透明材料的圆盘上精确地印制上二进制编码。 绝对式编码

14、器不需要基准数据，更不需要计数系统。它在任意位置都可给出与位置相对应的固定数字码输出,1、下图所示是一个6位的二进制码盘。,三、码盘和码制,第七章 光电式传感器,黑色不透光区和白色透光区分别代表二进制的“0”和“1”。在一个六位光电码盘上，有六圈数字码道，每一个码道表示二进制的一位，里侧是高位，外侧是低位，在360范围内可编数码数为26=64个。,同步困难,2、误差问题 1） 编码器的精度取决于码盘的精度，分辨率则决定于码道的数目。 措施：需要增大码盘的尺寸以容纳更多的码道 （对工艺提出很高要求） 2）同步困难：相邻两码之间若有一个码道提前或延后，会造成读码误差。 解决措施 ：a、编码技术；

15、b、扫描技术,第七章 光电式传感器,3、循环码(格雷码)盘 右图为6位循环码码盘。 （1）n位循环码有2n种不同 编码； （2）循环码为无权码； （3）循环码码盘相邻区域 的编码只有一位变化， 不会产生同步误差。,第七章 光电式传感器,十进制数、直接二进制码和循环码对照表,困难：循环码变为十进制数电路复杂,第七章 光电式传感器,四、应用,光学码盘测角原理,光源1通过大孔径聚光镜2形成均匀狭长的光束照射到码盘3上。根据码盘所处的转角位置，位于狭缝4后面的一排光电元件5输出相应的电信号。该信号经过放大、鉴幅、整形后，再经当量变换，最后译码显示。纠错电路和寄存电路在需要时采用。,第七章 光电式传感器

16、,二进制数转为度分秒,五、产品,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,？思考题,为什么BCD码制的码盘会产生误差？ 循环码的特点。 一个10码道的循环码码盘，其最小分辨力为多少？,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,7-4 光纤传感器,光(导)纤(维)是20世纪70年代的重要发明之一，它与激光器、半导体探测器一起构成了新的光学技术，创造了光电子学的新天地(领域)。 光纤传感器始于1977年，把待测量与光纤内的导光联系起来就形成光纤传感器。,特点：极高的灵敏度和准确度、固有的安全性、 良好的抗电磁干扰能力、高绝缘强度、耐 高温、耐腐蚀、轻质、柔韧、宽频带。 应用：机械、电子仪器仪表

17、、航空航天、通讯、 生物医学、环保、食品、化工 测量对象：电流磁场、电压电场、温度、速度、 振动、压力、射线、图像 ,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,一、光纤传感器的基本知识,1. 光纤的结构,注：不同类型的光纤材料的折射率分布有区别,2. 光纤的分类 1）按折射率分布,折射率变化规律 分类,采用梯度型光纤时，光射入光纤后会自动地从界面向轴心会聚，因此也称为聚焦光纤。,第七章 光电式传感器,阶跃光纤的纤芯与包层间的折射率阶跃变化的，即纤芯内的折射率分布大体上是均匀的，包层内的折射率分布也大体均匀，均可视为常数，但是纤芯和包层的折射率不同，在界面上发生突变，如图 所示。光线的传播，依

18、靠光在纤芯和包层界面上发生的内全反射现象。,梯度光纤纤芯内的折射率不是常量，而是从中心轴线开始沿径向大致按抛物线形状递减，中心轴折射率最大,界面处的折射与包层相等。因此，光纤在纤芯中传播时会自动地从折射率小的界面向中心会聚，光纤传播的轨迹类似正弦波形。梯度光纤又称为自聚焦光纤。,2）按传输模式,光纤传输模式是指光波传播的途径和方式。对于不同入射角度的光线，在界面反射的次数是不同的，传递的光波之间的干涉所产生的横向强度分布也是不同的，这就是传播模式不同。,第七章 光电式传感器,在光纤中传播模式很多不利于光信号的传播，因为同一种光信号采取很多模式传播将使一部分光信号分为多个不同时间到达接收端的小信

19、号，从而导致合成信号的畸变，因此希望光纤信号模式数量要少。,一般纤芯直径为212m，只能传输一种模式称为单模光纤。这类光纤传输性能好，信号畸变小，信息容量大，线性好， 灵敏度高， 但由于纤芯尺寸小，制造、连接和耦合都比较困难。 纤芯直径较大（50100m），传输模式较多称为多模光纤，这类光纤的性能较差，输出波形有较大的差异，但由于纤芯截面积大，故容易制造，连接和耦合比较方便。,第七章 光电式传感器,3. 光纤的导光原理,第七章 光电式传感器,光是一种电磁波,一般采用波动理论来分析导光的基本原理。然而根据光学理论指出：在尺寸远大于波长而折射率变化缓慢的空间,可以用“光线”即几何光学的方法来分析光

20、波的传播现象,这对于光纤中的多模光纤是完全适用的。为此, 采用几何光学的方法来分析。,斯乃尔定理（Snells Law）指出：当光由光密物质（折射率大）入射至光疏物质（折射率小）时，发生折射，其折射角大于入射角。即n1n2时， 2 1 。,(a)光的折射示意图,可见，入射角1增大时，折射角2也随之增大，且始终2 1 。,n1、n2、 2 、 1之间的数学关系为,n1sin 1 =n2sin 2,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,当2 =90时，1仍90，此时，出射光线沿界面传播如图（b），称为临界状态（ 1 10 ）。这时有,10=arcsin(n2/n1),sin 10=n2/n1

21、,sin 2 sin901,当1 i0并继续增大时，2 90，这时便发生全反射现象，如图(c) ，其出射光不再折射而全部反射回来。,阶跃型光纤传光示意图,0,1,1,第七章 光电式传感器,要发生全反射，入射角的临界值c,4. 光纤特性,1）数值孔径 数值孔径反映纤芯接收光量的多少，是标志光纤接收性能的一个重要参数，用NA表示。,2）损耗： 光纤吸收损耗、散射损耗以及弯曲损耗等。定义损耗系数,第七章 光电式传感器,吸收损耗，目前常用的光纤材料有石英玻璃、多成分玻璃、复合材料等。 在这些材料中，由于存在杂质离子、原子的缺陷等都会吸收光，从而造成材料损耗。 散射损耗，是由于材料密度及浓度不均匀引起的

22、。光纤拉制时粗细不均匀，造成纤维尺寸沿轴线变化， 同样会引起光的散射损耗。另外纤芯和包层界面的不光滑、污染等，也会造成严重的散射损耗。 弯曲损耗是使用过程中可能产生的一种损耗。光纤弯曲会引起传输模式的转换，激发高阶模进入包层产生损耗。,第七章 光电式传感器,二、光纤传感器,第七章 光电式传感器,光纤传感技术是伴随着光通讯技术的发展而逐步形成的。在光通讯系统中，光纤被用作远距离传输光波信号的媒质。显然，在这类应用中，光纤传输的光信号受外界干扰越小越好。但是，在实际的光传输过程中，光纤易受外界环境因素影响，如温度、压力、电磁场等外界条件的变化将引起光纤光波参数如光强、相位、频率、偏振态、波长（颜色

23、）等的变化。因此，人们发现如果能测出光波参数的变化，就可以知道导致光波参数变化的各种物理量的大小，于是产生了光纤传感技术。,第七章 光电式传感器,以电为基础的传统传感器是一种把测量的状态转变为可测的电信号的装置。它的电源、敏感元件、信号接收和处理系统以及信息传输均用金属导线连接，见图(a)。 光纤传感器则是一种把被测量的状态转变为可测的光信号的装置。由光发送器、敏感元件(光纤或非光纤的)、光接收器、信号处理系统以及光纤构成，见图(b)。,由光发送器发出的光经源光纤引导至敏感元件。这时，光的某一性质受到被测量的调制，已调光经接收光纤耦合到光接收器，使光信号变为电信号，最后经信号处理得到所期待的被

24、测量。,(1) 根据光纤在传感器中的作用分类 光纤传感器分为功能型、非功能型两大类。 1）功能型（全光纤型）光纤传感器 利用对外界信息具有敏感能力和检测能力的光纤(或特殊光纤)作传感元件，将“传”和“感”合为一体的传感器。光纤不仅起传光作用，而且还利用光纤在外界因素(弯曲、相变)的作用下，其光学特性(光强、相位、偏振态等)的变化来实现“传”和“感”的功能。因此，传感器中光纤是连续的。由于光纤连续，增加其长度，可提高灵敏度。,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,2）非功能型（或称传光型）光纤传感器 光纤仅起导光作用，只“传”不“感”，对外界信息的“感觉”功能依靠其他物理性质的功能元件完成

25、。光纤不连续。此类光纤传感器无需特殊光纤及其他特殊技术，比较容易实现，成本低。但灵敏度也较低，用于对灵敏度要求不太高的场合。,（2）根据光受被测对象的调制形式 功能型光纤传感器分为：强度调制型、相位调制、偏振调制等。 1）强度调制型光纤传感器 强度调制光纤传感器的基本原理是：待测物理量引起光纤中传输光的光强变化，通过检测光强的变化实现对待测量的测量。,第七章 光电式传感器,调制的方法包括两大类： 1、改变光纤的几何形状，从而改变光线的传播入射角； 2、改变光纤纤芯或包层的折射率,图7-27 光强度调制型光纤传感器原理图 a) 光纤弯曲 b) 折射率变化,2）相位调制传感器 相位调制光纤传感器的

26、基本原理是：通过被测能量场的作用，使光纤内传播的光波相位发生变化，再用干涉测量技术把相位变化转换为光强变化，从而检测出待测的物理量。 目前的各类光探测器都不能敏感光的相位变化，必须采用干涉测量技术，才能实现对外界物理量的检测。,第七章 光电式传感器,常用的干涉仪有四种：迈克尔逊(Michlson)、马赫-琴特(Mach-Zehnder)、萨古纳克(Sagnac)、法布里-珀罗(Fabry-perot)。,图7-28 马赫-琴特干涉仪原理图,第七章 光电式传感器,上文回顾,光电传感器 CCD PSD 光电码盘 光纤 结构：纤芯、包层、外套 分类：单模/多模、阶跃型/梯度型 导光原理：全反射(临界

27、角)、阶跃型光纤入射临界角 光纤传感器 分类：功能型/非功能型 强度调制型、相位调制、偏振调制,原理：横向光电效应,测距原理,脉冲式、绝对式,第七章 光电式传感器,光纤电流传感器原理图,光纤圈数N确定后，旋光角度只与导体的电流成正比与光纤线圈的大小、形状无关，与导体在圈中的位置无关。,3）偏振调制光纤传感器 偏振调制光纤传感器的基本原理是：外界因素使光纤中偏振态发生变化，并加以检测。,三、光纤传感器举例 基于微弯效应测压力,微弯效应：光纤在微弯时引起纤芯中传输的光部分投入包层 （全反射条件受到一定破坏），造成传输损耗，微弯程度不同，泄漏光波的强度也不同，从而达到光强度调制的目的。,第七章 光电

28、式传感器,第七章 光电式传感器,偏振态调制型光纤电流传感器,第七章 光电式传感器,耦合器,沃拉斯特棱镜,消除包层模,非功能型光纤传感器测温应用,温度测量范围：-20300C；误差3C,第七章 光电式传感器,什么类型二极管？,第七章 光电式传感器,测量原理：利用多数半导体的能带随温度的升高而减小的特性。材料吸收波长随温度增加而向长波方向移动，可以使透射过半导体材料的光强随温度而改变，达到测温的目的。,第七章 光电式传感器,光纤液位传感器,原理：基于全内反射理论 当测头没有接触液面（处于空气中）时，光线在探头内发生全内反射，而返回到光敏二极管；当测头接触液面，由于液体与空气折射率不相同，所以全内反

29、射被破坏，将有部分光线投入液体，使返回光敏二极管的光强变弱。返回光强是液体折射率的函数。返回光强发生突变时，测头已接触到液位。,第七章 光电式传感器,圆锥测头,U型测头,同时可以测定不同折射率的液体和同一种溶液的不同浓度。,第七章 光电式传感器,反射光强调制型光纤传感应用,第七章 光电式传感器,光纤传感器优缺点,优点：功能强，且光纤本身是敏感器件； 抗电磁干扰，安全。 缺点：技术难度大、结构复杂、调整困难。,第七章 光电式传感器,四、产品,压力,应力,温度,第七章 光电式传感器,温度、应变仪,分析仪,网络分析仪,第七章 光电式传感器,光栅定义：在玻璃（或金属）上进行刻划，可得到一系列密集刻线，

30、这种具有周期性的刻线分布的光学元件称为光栅。 特点：1）精度高；2）大量程测量兼有高分辨力；3）可实现动态测量；4）具有较强的抗干扰能力。 测量领域：主要是几何量（线位移和角位移）测量。其它包括振动、速度、应力、应变等。 （如数控机床上的线位移和角位移量，用来进行自动控制）,7-4 光栅式传感器,第七章 光电式传感器,第七章 光电式传感器,一、光栅的类型和结构,计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类，均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。计量光栅按形状又可分为长光栅和圆光栅。,计量光栅由标尺光栅（主光栅）和指示光栅组成，所以计量光栅又称光栅副。标尺光栅和指示光栅的刻线宽度和间距完全一样。

31、将指示光栅与标尺光栅叠合在一起，两者之间保持很小的间隙（0.05mm或0.1mm）,并使两者的栅线保持很小的夹角。在长光栅中标尺光栅固定不动，而指示光栅安装在运动部件上，所以两者之间可以形成相对运动。,扫描头（与移动部件固定）,光栅尺,可移动电缆,光栅的外形及结构（续）,第七章 光电式传感器,反射式光栅,第七章 光电式传感器,透射式光栅,第七章 光电式传感器,透射式圆光栅,固定,第七章 光电式传感器,1、定义,二、莫尔条纹,第七章 光电式传感器,在透射式直线光栅中，把主光栅与指示光栅的刻线面相对叠合在一起，中间留有很小的间隙，并使两者的栅线保持很小的夹角。在两光栅的刻线重合处，光从缝隙透过，形

32、成亮带；在两光栅刻线的错开处，由于相互挡光作用而形成暗带。,2、 亮带与暗带之间的距离BH,第七章 光电式传感器,横向莫尔条纹的斜率,莫尔条纹间距,莫尔条纹的宽度BH由 光栅常数与光栅夹角决定,莫尔条纹演示,第七章 光电式传感器,3、莫尔条纹的特点,光学放大作用：由上式可知，虽然光栅常数W很小，但只要调整夹角，即可得到很大的莫尔条纹的宽度B，起了放大作用。 放大倍数： 光学概念上的每毫米刻线要刻很多条，由于栅距很小，不易观察，但形成的莫尔条纹却清晰可见。,？某光栅每毫米刻线100条，光学放大倍数为1000，当光栅移动一个栅距时，就移动一个莫尔条纹，问产生的莫尔条纹有多宽？,第七章 光电式传感器

33、,10mm,答案,运动对应关系 指示光栅每左右移过一个栅距，莫尔条纹就上下移动一个条纹宽度； 均衡误差作用 由大量栅线共同形成的莫尔条纹对光栅栅线的刻线误差有均衡作用，提高了测量精度。 连续变倍作用 光栅的栅距是固定的，不同的倾斜角将可获得相应宽度的莫尔条纹，当连续变化时，考虑到光学放大作用，莫尔条纹的宽度也是连续变倍地变化。因此，可用改变的大小来选择任意粗细的莫尔条纹。,第七章 光电式传感器,莫尔条纹光学放大作用举例题,有一直线光栅，每毫米刻线数为50，主光栅与指示光栅的夹角 =1.8，则： 分辨力 =栅距W =1mm/50=0.02mm=20m （由于栅距很小，因此无法观察光强的变化） 莫

34、尔条纹的宽度约是栅距的32倍： B W/ = 0.02mm/（1.8 *3.14/180 ） = 0.02mm/0.0314 = 0.637mm 由于较大，因此可以用小面积的光电池“观察”莫尔条纹光强的变化。,第七章 光电式传感器,三、光栅传感器测量位移的原理,1、组成：光源、主光栅、指示光栅和光电器件,a,b,c,d,e,f,g,x,U,U0,Um,2、工作原理：,第七章 光电式传感器,通过光电元件，可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号，如图所示。,其电压为：,光电元件输出电压与光栅的位移量x成正弦函数关系,式中：U0为输出信号的直流分量； Um为输出信号幅值；W为栅距。,

35、由上式可知，利用光栅可以测量位移量x的值。当位移量变化一个栅距W 时，其输出U变化一个周期，若对输出正弦信号放大整形成方波，经过微分电路转化为脉冲信号，则脉冲数与移过的栅距数是一一对应的,第七章 光电式传感器,此时光栅的分辨率为：栅距W,3、辨向技术,在相隔B/4莫尔条纹间距的位置上放置两个光敏元件，获得相位差为90度的信号，用来辨向。,4、细分技术,目的：精密测量中，为测量比一般栅距更小的位移量。 思路1：使光栅具有很高的刻线密度。 困难：技术工艺上难以实现 思路2：细分技术 在莫尔条纹变化一周期时，不只输出一个脉冲，而是输出若干个脉冲（一般是4个），以提高分辨率,第七章 光电式传感器,四、产品,位移,第七章 光电式传感器,量程：70mm2170mm 精度：0.0005mm,量程：50mm2200mm 精度：0.0001mm,第七章 光电式传感器,检测小物体,角位移,第七章 光电式传感器,