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1、 2011-9-10 单 晶 清 洗 设 备 培 训 概 述 第一部分：单晶清洗设备的组成 第二部分：单晶清洗设备的开机 第三部分：单晶清洗设备操作 第四部分：单晶清洗设备的关机 单晶清洗设备的组成 一、单晶制绒机 1、单晶制绒槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、NaOH、IPA补液系统/一套 4、纯水预热槽/一个 5、电控柜/一个 二、酸洗机 1、酸洗槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、电控柜/一个 三、去PSG机 1、去PSG槽式主体/一台 2、上下料台/各一个 3、电控柜/一个 四、甩干机 单晶清洗设备功能介绍 单晶槽式制绒机：用碱性溶液（NAOH）清洗硅片表 面的污 损，
2、并在硅片表面刻蚀出金字塔形的绒面。 酸洗机：用HCL、HF去除硅片表面的金属离子。 去PSG机：用HF去除硅片表面的磷硅玻璃。 甩干机：先用水清洗硅片，再用热氮气去除硅片表 面残留的液体。 单晶制绒设备主体 上下料台 上料台 下料台 NAOH、IPA自动补液系统 纯水预热槽 电控柜内部图 压缩空气、氮气和纯水供应管 工 作 流 程 NAHO 预处理 60S 上料台 DI水 喷淋 25S DI水 漂洗 10S HF 酸洗 10S DI水 漂洗 10S NAOH、IPA、辅助剂 制绒 1100S DI水 漂洗 10S DI水 漂洗 30S NAOH、H2O2 去损伤 180S 下料台 单晶制绒 工
3、 作 流 程 HCL 酸洗 120S 上料台 甩干 下料台 DI水 喷淋 120S DI水 漂洗 60S DI水 喷淋 60S HCL、HF 酸洗 120S DI水 漂洗 60S 酸洗 工 作 流 程 HF 酸洗 120S 上料台 甩干 下料台 DI水 喷淋 120S DI水 喷淋 60S DI水 漂洗 60S DI水 漂洗 60S 去PSG DI水 低速喷淋 30S 上料 高速吹N2 180S 卸料 甩干机 制绒设备开机前检查 压缩空气、氮气、纯水： 阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力4-6bar DI水 CDA N2 CDA调 压阀 N2调 压阀 制绒设备开机前检查 化学品补液槽按要求配
4、液纯水预热槽温度达到设定值 刻 度 标 尺 单晶制绒设备运行及操作 第一步：打开设备电控柜总电源，依次打开各功能电源开关 电控柜内各 电源开关 单晶制绒设备运行及操作 第二步：等待触摸屏显示后，进入主界面进行工艺参数设置 参数设 置按钮 单晶制绒设备运行及操作 点击“参数设置进入”按钮后，弹出 密码框，输入密码后，按“确认”按 钮即可进入参数设置项。 进入参数设置画面，由工艺员 对工艺参数（清洗时间、各槽 温度、自动配液参数、排液时 间）进行设置。 单晶制绒设备运行及操作 点击“自动补液参数设 置”按钮后，进入画面 ，对各槽DI水、NAOH 、IPA自动补液量进行 设置 自动补液画面 单晶制绒
5、设备运行及操作 点击“时间温速度设置” 按钮后，进入画面， 对各槽清洗时间、及 各加热槽的温度进行 设置，机械臂速度设 置为500MM/S，除设 备调试外，一般不作 改动。 时间、温度、速度设置 单晶制绒设备运行及操作 第三步：设置好工艺参数后，点击“返 回”按钮，即可返回主菜单，然后点击“ 报警画面”，确认是否有报警。 报警 按钮 弹出报警框，报警项 显示为绿色，则是报 警已解除，若显示为 红色，则需要对报警 进行手动处理。 单晶制绒设备运行及操作 进行手动处理时，在主菜单中点击手动按钮即可进入各手动 画面： 点击“上升”“下降”“左移”“右移”按 钮即可对机械臂进行移动操作 。 点击“循环
6、泵ON”按钮即可打 开或关闭各循环泵，当标识 显示为绿色时，即标识泵已 打开。 机械臂手动画面 循环泵手动画面 单晶制绒设备运行及操作 点击“左盖开”“右盖开”按钮即 可打开盖板，标识显示为绿 色即为打开状态，点击“左盖 关”“右盖关”按钮即可关闭盖 板。 点击各对应槽体的“阀ON”，打 开阀门排液，在排液前需对排 液时间进行设置。 槽盖手动画面排水手动画面 单晶制绒设备运行及操作 排水时间设置画面手动加热画面 点击时间设置按钮进行各槽 的排液时间设置，以S为单位 。 点击“加热ON”按钮，对所对 应槽进行加热，加热时“加热 ”标识显示为绿色。 单晶制绒设备运行及操作 鼓泡加水手动画面手动补液
7、设置 点击“鼓泡阀ON”或“加水 阀ON可对所需槽进行鼓 泡或加水。 设置好补液量，手动按“ON”按 钮对所需工艺槽DI水、NAHO 、IPA进行补液 单晶制绒设备运行及操作 第四步：确认无报警后，再点击“监控画面”检查设备槽体的温 度、液位是否达到标准，监控显示的花篮要与槽体里的一致。 监控1 监控2 单晶制绒设备运行及操作 若画面显示的花篮与槽体实际花篮不一致，可进入主菜单，点 击“篮料强制”按钮，进入篮料设置画面。 点击画面中的“有” 按钮，则会显示 有篮，点击“无”显 示无篮。 单晶制绒设备运行及操作 第五步：进入“主菜单”，点击“系统启动画面” 在手动状态下按“回原点”，当出 现OK
8、后，将触摸屏下方的自动 手动开关切换到自动状态，按“自 动启动”按钮，设备开始运行 系统启动画面 单晶制绒设备运行及操作 第六步：将装好硅片的料篮放于上料台后，按开始按钮，即进 行生产。 开始 按钮 单晶制绒设备的关机 1. 确保槽内无花篮； 2. 将设备切换到手动状态，通过触摸屏排掉槽内液体，并加DI水 清洗干净； 3.关闭电控柜内主电源开关、纯水预热槽电源开关； 4.关闭纯水、氮气、压缩空气阀门。 主电源 主电源 制绒机电控柜 预热槽电控柜 酸洗、去PSG设备开机运行操作及关机 酸洗、去PSG开机前检查、运行操作及关机请参照制绒机 。 酸洗设备去PSG设备 甩干机 甩干设备开机前检查 压缩
9、空气、氮气、纯水： 阀门处于打开状态，压缩空气、氮气压力4-6bar。 DI水 阀 CDA 阀 N2阀 甩干机运行及操作 第一步：打开电源开关，在触摸屏“参数设置”画面中设置工 艺参数，并点击“低温开”、“高温开”按钮。 甩干机运行及操作 第二步：等待温度控制器上的温度显示达到设定值； 第三步：点击“开门”按钮，打开盖板，放入装载硅片的片盒 后，双手按住“关门”按钮，直至盖板关到位； 第四步：按“运行”按钮进行工作； 第五步：甩干结束，蜂鸣器响后按“开门”按钮，打开盖板取 出片盒。 甩干机的关机 1、打开盖板确认旋转盘内无片盒； 2、关闭盖板，将电源开关切换到关的状态； 3、打开电控柜门，关闭
10、电源 4、关闭DI水N2CDA阀门 电源 开关 电控柜内 总电源 中联酸洗机 中联酸洗机比较与JJC酸洗机除多了自动烘干功能外，其它工艺均一致。 开机检查及关机参照制绒设备。 正面图背面图 中联酸洗机 热风烘干系统 加热 鼓风 设备 中联酸洗机的运行操作 打开电源后，按触摸屏下方的“电源启动”按钮，启动后按“运转准备”按钮 ，等待触摸屏进入操作主画面。 电源 启动 运转 准备 中联酸洗机的运行操作 主画面 进入“主画面”后，按屏幕右下角 的“菜单栏”，即进入菜单，对设 备各项功能、工艺参数进行设 置。 菜单栏 点击菜单栏的各项功能 ，可进行开关盖板、机 械臂手动移动、加液、 排液、鼓泡、加热、循 环泵开关、工艺参数的 各项操作。 中联酸洗机的运行操作 当各工艺条件满足后， 点击“原点搜索”，等屏 幕左下角“原点指示”显 示“已到原点”后，分别 点击“自动模式”“清洗已 准备”“机械手运行”，设 备即进入自动运行状态 。 Thats all .Thank you. / 谢谢 ，再见 。