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1、MEMS振荡器与石英技术从简单的精度约30000ppm的RC振荡器，到精度优于0.001ppb的原子钟，有很多满足不同应用要求的时钟选项。多年以来，体声波（BAW）晶体振荡器可用以满足大多数要求，它提供的精度在10ppm范围内。精度低一些的选择，如SAW振荡器、陶瓷振荡器以及IC振荡器，它们各自具有其满足特定需求的优势。长期以来，石英基器件被作为大多数其他定时器件用来比较的标准。石英作为频率选择与定时器件的稳定、可控的高质量材料的历史得到了广泛认可，并且频率温度响应、老化率以及抖动与相位噪声特性也在业界被详尽记载。图1 相位噪声图与基于MEMS的振荡器相关的最新介绍常常伴有一些论断，认为该技术
2、可提供更低的成本、更短的设计与生产周期、卓越的冲击与振动性能以及更为出色的信号质量，从而将最终取代石英。除了这些论断外，已获得的能够有助于理解MEMS振荡器特性的研究极少。本研究力图提供MEMS振荡器与传统基于石英谐振器的振荡器的直接对比。多年以来，体声波晶体振荡器以其1010-6精度范围满足了绝大多数需求。研究方法这里给出的结果基于典型频率控制的业界测量技术的应用，并代表了在2008年进行此研究时获得的商业化技术。许多电特性被评估，包括频率温度特性、相位噪声/抖动、短期稳定度、启动时间、电流与长期稳定度（老化率）。限于篇幅，本文仅给出相位噪声/抖动与短期稳定度相关的数据。登录pletronics/ple/pages/documentaTIon/，可获得完整研究的PDF副本。上述产品均为CMOS电平输出，工作在3.0或3.3V，输出频率为2550MHz。测试的BAW石英晶体振荡器，25MHz时为基谐波模式，50MHz时为三阶谐波模式。这里给出的结果为典型器件的测试值或该型号的多个器件的平均值。