全面推行镀膜TPM管理.ppt

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1、,作成: 林华 2006年4月18日,内部教材,凤凰富士能光学有限公司,上部分,全面推行镀膜TPM管理,总经理方针: 做人、做事、经典QCD。,一、日本的全员生产维护（TPM）,在日本得到推广的全员维护TPM，是在生产维护（PM）的基础上，加上全员性（T）所形成的（1971年），中岛清一称之为日本的设备综合工程学。到1982年，日本实行TPM的企业占22.8%,TPM的意义（5条）,1、以把设备效率提到最高（综合效率）为目标； 2、设立以设备一生为对象的PM总系统； 3、涉及到设备的计划、使用、保养等所有部门； 4、从企业最高领导到第一线员工全都参加； 5、加强生产维修思想教育，开展PM小组活

2、动，推广TPM。,TPM 的特征是“三全”,利用最少的资金、精干人员、高效的设备、最少的材料和最优的方法（5M），来达到产量高、质量好、成本低、按期交货、作业环境良好、没有公害、生产安全、操作人员劳动情绪饱满和守纪律。 不但考虑设备的后期管理,也要考虑前期管理,设计阶段就要全面考虑可靠性、维修性和无维修设计。 不仅是维修部门，凡与设备有关的规划、设计、维护和使用部门，从领导到员工都要全员参加。,二、大型镀膜机管理的特殊规定,1、大型镀膜机设备是反映装备技术水平的又一个重要标志,必须合理使用,妥善维护,严格管理，所之经常处于良好技术状态。 2、大型镀膜机设备为之公司主要管理设备，公司领导直接过问

3、管理，如维修和变动均需报批。 3、大型镀膜机设备实行四定：定使用人，定检修人，定规程制度和定备件。 4、大型镀膜机设备的卡片和档案单独管理，随时记录发生的情况，准确掌握运行数据，做好记录为维护提供数据和资料。 5、大型镀膜机设备发生事故，马上通知领导和设备课报公司，同时，由领导主持召开现场分析会，查明原因，制定修复措施，将处理情况报公司。 大型镀膜机设备的改装，应经领导批准，并报公司备案。,三、维护、保养和修理的基本定义,1、维护：较小劳动量、较设备维修工程包括了维护、保养和修理。 普通的技术要求、较经常的活动、并由设备使用人来完成； 2、保养：较大劳动量、较高技术要求、要更换简单零件或元器件

4、、定期性活动，且需要维修人员参与来完成； 3、修理：是产品品质降低，为使产品恢复到能完成规定功能而进行的维修，保持设备的良好技术状态。,四、 日常维护活动,日常维护活动是有计划地控制设备技术状态的广泛基础。正确的使用和经常性的高质量维护，是保证设备预期的无故障工作的必要条件，因为设备设计的无故障工作时间或使用寿命（设备工作能力达到允许的极限状态之前的实际工作时间），是以按规定条件（环境、工作方法、工作规范、经常维护等）使用维护为前提的。而定期进行的维修活动（检查、保养和监测）能有计划地开展，也是以设备的正确使用和经常维护为依托的。,五、日常维护基本条件,1、设备操作员应在开机前检查设备，确认无

5、异状后，对日常润滑点进行润滑，然后才能使用机器。 2、按规定作日常点检的，应作好记录。对发现的故障隐患，除记录外，应通知维修人员修理。 3、按操作规程正确使用机器，运行中注意观察机器状态，发生故障应立即停机检查和处理，不能排除故障通知维修人员处理。 4、操作人员在班未15-20分钟，周末2小时，节假日前4小时清扫檫拭机器，整理工作现场达到日常维护要求。,六、日常维护活动内容（3项）,1、点检： 由设备使用人和维修工根据规定的间隔期按日常点检表的要求逐日进行；点检项目通常是利用人的感官和简易手段就能检查的。各企业应根据本企业生产和设备特点，确定需进行点检的主要生产设备和各设备的点检项目，有重点地

6、进行点检。点检有助于设备使用人熟悉设备的结构和性能，有利于设备的合理使用，还能及早发现故障征兆，避免非计划停机造成的损失。,2、设备运行中的观察 设备运行应严格遵守安全操作规程，在运行中应注意观察设备状态，一旦发现异常应 立即检查和处理，不能解决的应及时通知维修人员。对异常情况应做好记录。 3、班未和周末维护 设备和附件，以及工作场地，在每班和每周末下班前，应该认真清理、擦拭、润滑和打扫。,七、日常维护、保养做法（8条）,1、机器周围随时清理整洁干净，地板上不可有油污、水或掉落地上的物料产品， 2、机器表面檫拭清洁机器是否保养得好，第一个看到的就是机器表面是否经常保持干净，工具是否依规定摆放，

7、机器表面是否摆放不该摆放的物品。 3、加油润滑，机器运转中靠润滑油或冷却油来润滑或冷却。润滑油或冷却油种类很多,需依照规定添加,并经常检查系统(油路)是否畅通。 4、机器紧固件，机器操作过程中，有否异声或震动情况，紧固件（螺帽等）经常性检查上紧。 5、皮带松动，传动皮带是否松动或呈劣化应更换。 6、制动开关，所有的制动开关是否正常。 7、安全装置，机器安全装置是否完整。 8、放气排水，气动机器 每日定时排水，下班时放气。,八、定期、周期维护（真空室内）,镀膜机设备保养指导书,一、电子枪日常维护： 、顺序：从上到下，从左至右； 2、使用工具1：铜丝刷、毛刷、三角刮刀、一字或十字起、单面刀片、吸尘

8、器、金相砂纸。 3、目的：把坩埚、钼舟内膜料蒸发后溅在四周的残留物清扫干净，以免下一次蒸镀时将残留物蒸发到基底表面，造成镜片损伤与报废。 4、开机员更换镜片时彻底打扫一次，时间为10分钟； 5、各零部件不允许喷砂，用金相砂纸打磨。 6、对已变形、滑牙等螺丝、螺帽应及时更换。 7、灯丝变形、或由灯丝原因引起蒸发速率、功率不稳定时，应及时更换。 8、在进行日常更换灯丝作业时，应注意灯丝安装方法，检查各连接部位是否松动（高压接线柱、灯丝与枪头接触部分等）。 9、坩埚部分应注意：1、坩埚转动及位置是否有异常。2、坩埚是否变形。 10、检查挡板开、闭速度，遮挡坩埚的蒸发面积。若挡板和角度板出现裂缝等，造

9、成无法遮挡膜料蒸发的应及时提报及更换。,二、H型霍尔离子束辅助镀膜系统的维护： 将阳极上的污染物及可能产生的氧化层，用240砂纸轻轻打磨后用吸尘器吸掉。 在使用过程中，如发现阳极中间的进气锥及防护圈有污染物，可将防护圈取下，用金相砂纸打磨进气锥上的污染物，对防护圈可用240砂纸打磨清除。 清洗阴极绝缘子时，可拧下灯丝固定螺栓，取出绝缘子用金相砂纸打磨。 对污染严重的离子源的顶部、外圈应整体做喷砂处理。 以上部件，均需用干净的汗衫布或无尘纸蘸无水乙醇乙醚混合物擦拭干净。 清洁完毕在安放离子源时应注意安放位置，保证整罩的均匀性。 检查聚四氟乙烯塑料王管受高温影响是否出现裂缝而漏气。 聚四氟乙烯塑料

10、王管两头接管口处黄铜并帽，拆下喷砂后，应安装正确，否则可能会松动漏气引起打火。 离子源阴极灯丝应安装到位。 10、检查离子源气流覆盖面积是否为整个基片表面。,三、真空计、护板、真空室、旋转架的维护与处理： 真空计在使用两月后，在工程师指导下，用干净的汗衫布蘸无水乙醇乙醚混合物擦拭。 护板拆卸从外到里，从上到下，从左到右并喷砂处理。 护板安装前应将表面沙粒清洁，按从里到外，从上到下，从左到右安装。 高阀区百叶窗拆卸时，从上到下，双手握住叶片两侧，同时用力向上取上取下，若为整体式，则拆下螺栓即可，并做喷砂处理。 安装前检查同护板检查方法，安装是从上到下，双手握住叶片两侧，对准两侧叶片槽，放入即可。

11、 6、 韩一1050机连续或累计镀制LF342-G6件大面48小时以上更换护板，其他件号连续或累计72小时以上的更换护板。 7、韩一1200机连续或累计镀制泰利斯产品件号48小时可更换护板。其他72小时更换 8、莱宝1104机停用冷凝机时连续或累计镀制产品件号72小时以上更换护板，使用冷凝机时连续或累计镀制240小时以上更换护板。 9、光弛AR-1300机连续或累计镀制产品件号72小时以上时更换护板。 10、成都南光ZZS-1300机连续或累计镀制产品72小时以上更换护板。 11、北仪800机连续或累计镀制240小时以上产品件号的可更换护板。 12、北仪1350机连续或累计镀制168小时以上产

12、品件号的更换护板。 13、1200机旋转架使用半个月以上的喷砂一次。 14、伞片连续或累计使用一天，1200机连续或累计使用12小时以上喷砂一次，盲板相同（各机组一天一副）。,15、镜圈、碟片连续或累计使用一天以上，各机组每天应送超洗退膜一次，一天一副。 16、被扩散泵污染的高阀门板，真空室内壁表面需用防静电耐磨砂纸240打磨去除黄色油渍。 17、污垢除去后，用抹布蘸丙酮清擦高阀门板及真空室内壁表面，再用干净的汗衫布蘸丙酮反复清擦几遍，直到内壁门板表面发亮即可。 18、240水砂纸把蒸发在真空室内壁上的膜料打磨去除，对其他吸附在内壁表面上的残留物，则用金相砂纸打磨去除。 19、把打磨下的脏物用

13、吸尘器吸掉，再用汗衫布蘸丙酮清擦。 20、以上清洁处理和烘烤的总时间不得大于2小时，A、B班轮流更换。 四、韩一1050机、1200机加热器清洁与安装。 把三组加热器正负极上耐高温的电源线，用4内六角扳手沿逆时针方向将其松开，把电源线取下。 把支撑杆上固定加热器的内六角螺栓，用6内六角扳手逆时针方向将其松到一半，用左手托住加热器，右手把螺栓松开，取下加热器放入塑料盒内做喷砂处理。 喷砂时应取下碘钨灯，旋下两头灯丝螺栓。 安装前用软毛刷刷一遍加热器各部件及罩子，再用抹布蘸丙酮清擦干净，把加热器安装在支撑架上后，再安装加热器正负极电源线，开加热，看是否正常 。 5，不定时检查灯组各接头处5MM不锈

14、纲螺丝加热后是否松动。 6月更换一次加热器组进行喷砂。 7.在更换加热器或加热灯管时不可用尖嘴钳、钢丝钳等工具，用呆、套扳手进行作业。,五、在晶振探头座晶振探头维护： 1、把蒸发上的膜料，用金相砂纸，从上到下打磨干净，再用汗衫布蘸无水乙醇乙醚混合液擦拭干净。 2、把固定在旋转架上的螺栓，用带扳手或活动扳手逆时针方向将其松动到一半的位置，用双手托住旋转架，一人将螺栓送开，取下时注意不可碰到晶振探头。 3、把已做喷砂处理的旋转架用汗衫布蘸丙酮清擦干净，并用扳手将螺栓固定，并空机烘烤。 4、晶控仪的稳定会受水冷的一定影响（如水温、水质），故每隔15天左右，开机员在换班、休息后上班、或停电后上班时均要

15、对进出水管进行对换冲洗，清除管内污垢，直至与进水质方可重新安装。 5、如出现停电、停气、停水，机组程序可能会受传输信号或电压高低的影响而不稳定，因此开机员一定要注意晶片LIFE值变化，若有变化时，机台晶片不能切换的必须重新更换晶片，可切换的，切换后看是否稳定，如不稳定，进行更换。,六、在更换晶片时，应注意以下几点： 1、晶片表面有划痕，硬伤；边缘有不破损，有锯齿等。， 2、晶片表面有杂质附着；如表面有光圈，印子，点子，表面不亮等。， 3、在更换时，注意不可有其它物体碰到晶片表面； 4、AR-1300机更换晶片上螺丝时，注意各螺丝力道应对称均匀，各机组每次更换完毕，应在控制面板上切换检查LIFE

16、值。 5、各机组晶片LIFE值规定如下： 单层膜： 多层膜 韩一1050机 ACT485 ACT490 韩一1200机 LIFE97 LIFE97 AR-1300机 LIFE5945 LIFE5952 ZZS-1300机 LIFE97 LIFE97 莱宝1104机 LIFE94 LIFE96 北仪800机 LIFE38 LIFE75 各机组在镀制镜片时多层曲线走势上下波动突然超过正负0.3，单层AL2O3正负0.3，MAF2正负0.5时立即停止蒸镀，及时提报带班处理解决。,七加热器跳闸引发离子源打火的原因 1电压不稳定。 2真空室太脏（如护板，伞片，镜圈，碘钨灯，碟片，底版，旋转架，） 3离子

17、源喷砂后清洗不彻底（存有金刚砂） 4离子源阴极灯丝螺栓安装不紧，离子轰击后螺帽松动，灯丝变形， 5灯管两头接线柱5MM不锈纲螺丝加热后松动， 6聚四氟乙烯塑料王管两头接管口处，黄铜并帽，拆下后喷砂，如安装不正确会松动漏气 7聚四氟乙烯塑料王管受高温影响可能会出现裂缝而漏气 8灯组两头高温线螺帽加温后松动，引起电阻大，电流小而跳闸。 9，底版至灯架两头高温线螺栓并帽接口受高温影响脱焊、变形、断裂。,AR-1300型镀膜机 作业手顺书,一 开机 1、打开冷水机外部循环水阀门（先开出水，后开进水），再打开冷水机电源及泵和压缩机的开关。 2、打开气源开关。 3、打开配电箱总电源。 4、打开主控柜内总电

18、源及UPS电源开关。 5、按控制柜上“MAIN POWER”（主动力电源）中的“ON”按钮。 6、按XTC/2晶控仪开关。 7、真空显示及晶振显示完成后，打开电脑显示器开关。 8、按电脑主机启动钮，启动电脑。 9、打开“POLYCOLD”电源开关； 10、打开电子枪控制柜电源开关并按下“ON”按钮。 11、在PLC触摸屏“TOGGLE SWITCH”（扳钮开关）选项中，各开关应处于“AUTO”位置。 12、确认上述操作无误后，检查气压、冷却水进出压力、氧压是否正常，如果正常，进入PLC中的“PUMP DOWN/AUTO STOP”（泵启动/自动停止）项，进入“MANUL”项操作，按“PUMP

19、DOWN”按钮，启动抽真空系统。等候“WARM UP”（加热）完成，若“WARM UP”完成，警示灯应变为绿色。 13、约30MIN-40MIN后，“PUMP DOWN/AUTO STOP”中“WARM UP”灯亮，在PLC“EXHUST CONTROL”（抽气控制）中模式为“AUTO”，按“CHAMBER VENT”（室体充气）按钮，对真空室充气，充气完毕，真空室门开。,二 镀膜 1、打扫真空室：用铜丝刷、吸尘器、刀片等工具，将电子枪坩锅及四周、观察窗等打扫干净，并更换电子枪坩埚盖板和挡板。 2、检查晶片寿命：在XTC/2显示屏上按“1”按钮，在界面右上角查看晶片寿命。若其值在5944KHZ

20、以下，则应考虑切换晶片。 3、根据膜系要求装填膜料，并与坩锅号相对应。当PLC界面的“TOGGLE SWITCH”项中“DOME ROTATION”（旋转架旋转）处于“OFF”状态时，可用遥控盒控制伞架旋转。也可用于挡板开闭和坩锅旋转的动作。 4、上基片架。基片架未装镜片部分应盖上盲板或贴上铝箔，防止真空室顶部被污染。 5、确定上述操作无误后，关上真空室门。 6、进入蒸镀程序ACS，先在界面“PROCESS”项中点击“SELECT”按钮，在“DATA”文件中点击“PROCESS”进入程序单，双击所要蒸镀的程序，在ACS界面中右下部分有机组泵及电子枪灯丝运行时间记录显示每次必需注意是否有运行时间

21、到达需要维护的部位若有则应进行维护，若无则可点击“START”，进入后，程序先开始检查电子枪和基片架的旋转是否OK。若OK则开始对灯丝预熔（若不是新换的灯丝，可点击“SKIP”跳过）。上述动作完成后，开始进入等待真空度和温度到达工艺设定值的界面，到达后，进入自动蒸镀阶段。在蒸镀过程中应观察电子枪束斑位置及面积并随时调整使其处于中心位置，注意氧气减压阀进出氧压高压低于0.5MPa则应更换气瓶，低压应控制在0.030.04MPa之间，蒸镀过程中应注意蒸发速率若速率有较大波动则停止，切换晶片后可继续镀膜。若晶片已用完则应中止蒸镀充气更换晶片,三 关机： 7、蒸镀完毕后，按工艺要求进行冷却处理，自动充

22、气，开门。 1、在PLC界面“EXHUST CONTEOL”项中按“CHAMBER EXHUST”对真空室抽气，在“TOGGLE SWITCH”项中，让各水阀处于“MANUAL”状态，“DOME HEATER”（旋转架加热），“DOME ROTATION”（旋转架旋转）和POLYCOLD处于“OFF”状态， 2、关闭电子枪控制柜电源。 3、关闭POLYCOLD的阀门开关和电源。 4、在PLC的“PUMP DOWN/AUTO STOP”项中按“AUTO STOP”闪烁30秒后进入确认关机状态。90分钟后真空系统各阀门及机械泵，罗兹泵，扩散泵等将自动关闭。 5、关闭XTC/2.电脑和显示器。 6、

23、按控制面板上“MAIN POWER”的“OFF”按钮。 7、打开控制柜，先关闭UPS电源，再关闭控制柜总电源。 8、关闭气动气源阀门。 9、先关闭冷水机的泵和压缩机，再关闭冷水机电源。 10、关闭配电箱，外部循环水。,ZZS-1300型镀膜机（南光） 作业手顺书,一、开机 1、打开总电源。 2、打开进水阀。 3、打开进气阀门（进水阀旁）。 4、打开电控柜上方进气阀门。 5、确定已有外部循环水，打开冷水机水泵开关（既电源开关）。 6、再开冷水机压缩机开关。 7、打开电控柜内电源开关。 8、将电控柜面板处晶控仪打开。 9、检查水、电、气是否就绪，然后将电控柜下方机组状态旋钮旋为自动，按绿色“开机”

24、按钮，机组维持泵、扩散泵加热器、维持泵相继打开，机组开始加热，加热80分钟后，机组可正常工作。 10、按绿色“取件”按钮，三声警报后，充气阀打开，对机组充气，几分钟后，真空室门开。,二、镀膜 1、用铜丝刷、三角刮刀、吸尘器对坩埚及坩埚周围进行打扫，将电子枪挡板送喷砂处理。护板等更换见护板更换周期管理。 2、将坩埚衬套作喷砂处理后，用吸尘器将附着砂粒吸掉，并用酒精擦拭，加镀制零件所需膜料，并将衬套放入所对应坩埚位置。 3、查看电控柜上MDC360晶控仪上晶片寿命值，若晶片寿命97，则更换晶片。 4、确定上述操作无误后，双手提伞片把手，将备好零件放于真空室旋转架上，并检查伞片是否放到位，有无变形，

25、所对应比较片是否安放。 5、上述过程完成后，关真空室门，确定电控柜上“室门”指示灯点亮后，说明真空室门已关闭。 6、按绿色“取件”按钮，充气阀关闭，按绿色“真空”按钮，机组开始抽真空。 7、将旋转架旋转打到7转/分。 8、抽真空过程中，记录机组各数据表。 9、真空到8.0*10-3PA后，可对膜料进行手动预熔。（附：手动预熔操作）。 10、在恒温和设定真空度到达后，将旋转架旋转打到20转/分。,11、打开质量流量计开关，调节进气量，根据各膜料充氧不同，维持不同真空度。 12、打开电子枪扫描控制电源。 13、按绿色“灯丝“按钮，调节“预置”按钮，使灯丝电流为0.5A，电压应在40-50V间（如

26、电压低于40V，考虑更换灯丝）。 14、按手持遥控盒上“高压”按钮，打开电子枪高压。 15、按MDC360晶控仪面板上“START”按钮，在程序单中选择镀制零件所需程序，再按“START”，开始自动镀制。 16、自动镀制开始时，应用手持遥控盒上X、Y位移、扫描幅度旋钮调节光斑，使之处于膜料中心及相应的扫描面积。 17、镀制过程中，应监视光斑变化，并注意电子枪灯丝电流、高压、晶片值、充氧状态等参数变化情况，如有异常，应立即按MDC360晶控仪上“ABORT”按钮，停止蒸镀，根据情况做相应处理。 18、在镀制MGF2膜料时，应关闭充氧。 19蒸镀完毕，先按手持遥控盒上“高压”按钮，关闭电子枪高压。

27、,20、将X、Y扫描旋至0，关闭电子枪扫描电源。 21、将“灯丝预置”旋至0，按“灯丝”按钮，关闭电子枪灯丝电流。 22、按MDC360晶控仪上“REST”按钮，使晶控仪复位。 23、将旋转参数调节为7转/分。 24、按“镀膜结束”按钮，镀后恒温时间结束后，关闭烘烤，关烘烤后时间到达后，关机组高阀，进入真空室冷却阶段。 25、真空室内温度约为220后，按“取件”按钮，三声警报后，对真空室进行充气，充气完毕，真空室门开（后继作业开始抽真空时，只需按“取件”按钮即可），进行取件作业。 三、关机 1、关真空室门，按“取件“按钮”对真空室开始抽气，底真空信号亮后，按“真空”按钮，机组停止抽气，再按“开

28、始”按钮，机组进入扩散泵冷却阶段，1小时后，维持泵、维持阀将自动关闭。 2、关闭电控柜面板上各仪器电源。 3、关闭电控柜内电源。 4、关冷水机压缩机，再关冷水机水泵。 5、关电控柜上方进气阀，再关总进气阀。 6、关进水阀。 7、关总电源。,附：手动预熔操作 1、真空度为8.0*10-3PA时，可进入手动预熔操作。 2、将电子枪控制旋钮调节到“手动”状态。 3、打开电子枪扫描电源。 4、按“灯丝”按钮，调节“灯丝预置”为0.5A。 5、按手持遥控盒上“坩埚”按钮，使坩埚转到所要预熔膜料的位置。 6、开遥控盒上“高压”按钮。 7、利用遥控盒上X、Y位移、扫描幅度调节旋钮，控制光斑在膜料上做圆周运动

29、，调节“束流”按钮逐渐加大电子束流，对膜料进行预熔。 8、预熔完毕，依次关闭电子枪高压、灯丝预置、灯丝电流，并将控制旋钮调节到“自动”状态。,APS-1104型镀膜机（莱宝） 作业手顺书,一、开机： 1、将3#、4#二个配电箱中的大空气开关分别合上； 2、将压缩空气阀门打开； 3、将循环水出水阀打开。 4、再开循环水进水阀。 5、打开冷水机的电源开关。 6、打开制冷开关。 7、打开热水机的电源开关。 8、打开热水机加热开关；(应注意冷水机水箱中的水位，不够要及时补充) 9、将A1104机自备的配电箱上的电源手柄合上（先将手柄顺时针方向从“+”位置旋至“”，再逆时针方向旋至“”）如下图所示；,1

30、0、开氧气瓶和氮气瓶阀门（高压表1MPa，低压表0.10.2MPa）。 11、先开POLYCOLD电源开关。 12、再开POLYCOLD压缩机开关。 13、再打开+K1控制柜最下电源开关； 14、此时+K2控制柜上的LEYCOM 应开启，待其启动完毕后会出现报警，此时按右边参数键中左下角的“ACKN”键消除报警。 15、再按一下其下部功能键盘中的“MANUAL”键，再按下用红色标示的表示热水的按钮，（注意：此步骤若稍迟进行，则会出现报警，此时只要消除报警声后再进行此步骤即可）。 16、再按一下“RET”键返回； 17、按下“VACUUM SELECT”键，再按下“HIGH”键，再按“RET”返

31、回； 18、按“ACT”+“0”，显示当前泵及阀状态。此时机组进入启动状态，约40分钟后启动完成，自动进入待命状态。,二、镀膜： 1、开门：在功能键盘中按下“VACUUM SELECT”键，再按下“VENT”键，真空室开始充气，待充气完毕后将真空室门锁由垂直方向顺时针转动30左右并拉动真空室门手柄打开真空室门。 2、处理真空室： 1、FBM01控制盒的使用：开门后可用FBM01控制盒可控制：档板的开启、坩埚、及工件架的旋转。（对应关系请参见附注） 2、清扫真空室：打开挡板，用铜丝刷、吸尘器、三角刮刀清洁电子枪（主要是坩埚）、挡板。 装填膜料：按FBM01控制盒上的“ROTATION CRUCI

32、BLE”键转动坩埚，注意LEYCOM 上显示的坩埚位置，参照下表在坩埚内加入对应的膜料，,3、确定执行程序号：按参数键中“SETP.”+“8”，显示出“PROCESS SELSECTION AUTOMATIC MODE”页，查看“PROCESS No”项执行程序号，按“”键可将光标移该栏，输入程序编号，按“ENTER”确认，再按“HOME”使光标回到首行。 4、检查晶控片寿命值：按参数键中“ACT”+“8”，检查第二通道的“XTAL LIFETIME”栏的值，若小于92%，则更换晶片，真空室中间位置的晶片夹，更换方法如同HVC1050或HVC1200机。新晶片的寿命值应98%。 5、必要时应检

33、查程序的工艺数据：按功能键“SETP”+“7”，再按程序编号数，按“ENTER”可显示要执行程序的工艺数据，与工艺文件的数据对照，无误，可往下执行。否则，由主管工艺员检查或修正。,6、关门执行程序：在完成了2-5项工作后，将真空室门关上，并将手把顺时针方向转至缺口位置。将主屏下排图标左边第一方格显示“AUTO”或“START”并按其下方的按键，即可进入自动控制状态。若主屏下排图标左边第一方格未显示“AUTO”或“START”，则按右边第一个键“RET”或“ABOUT”换屏。 7、待加热到达预设温度进入恒温状态时，打开离子源进气开关（开关向右拔）；调节流量控制器使进气量控制在20sccm；,8、

34、关门执行程序：在完成了2-5项工作后，将真空室门关上，并将手把顺时针方向转至缺口位置。将主屏下排图标左边第一方格显示“AUTO”或“START”并按其下方的按键，即可进入自动控制状态。若主屏下排图标左边第一方格未显示“AUTO”或“START”，则按右边第一个键“RET”或“ABOUT”换屏。 9、待加热到达预设温度进入恒温状态时，打开离子源进气开关（开关向右拔）；调节流量控制器使进气量控制在20sccm；,三、镀膜过程监视： 1、参数键区“ACT”+“0”，显示真空泵及各真空阀门的工作情况； 2、参数键区“ACT”+“1”，绿线显示真空室真空度，红线显示真空室温度； 3、参数键区“ACT”+

35、“3”，绿线显示蒸镀速率，红线显示蒸镀功率； 主显示屏首行显示内容：（见附件中对照表） 开机初始至高阀打开，可显示真空泵及各真空阀门的工作情况。 高阀打开至开始蒸镀，可显示真空室真空度及显示真空室温度。 开始蒸镀至蒸镀完毕，可显示蒸镀速率及蒸镀功率。 蒸镀完毕至开门，可显示真空泵及各真空阀门的工作情况。 四、关机： 1、关门：将门关上，并将门锁顺时针方向旋转将门锁上，若前次是自动开门则可跳过2步； 2、在功能键盘中按下“VACUUM SELECT”键，再按下“VENT”键使之消去黄色； 3、真空室开始抽气，待高阀打开5分钟后，功能键盘中按下“VACUUM SELECT”键，出现“HIGH”键按

36、下此键使之消去黄色，此时高阀关闭随后扩散泵关闭，机械泵、罗茨泵继续工作直至扩散泵油温降至100以下（扩散泵中温度计显示油温）自动停止工作； 4、机械泵、罗茨泵停止后关冷冻机（POLYCOLD），先关压缩机开关，再关电源开关。(参见附图) 5、按下红色制动钮，停机。再将此钮拉出，再关闭+K2控制柜最下的UPS电源开关（按住“”键二秒钟）。 6、关氧气瓶阀门。 7、关电源箱总电源。 8、关冷水机外部循环水。 关气源。,HVC1050A镀膜机操作手顺书,一、开机 1、打开电源箱总电源； 2、打开冷水机外部循环水阀门；(先开出水，后开进水) 3、打开气动气源阀门（或气泵电源）； 4、按红色“CONTR

37、OL POWER”按钮； 5、按“IC/5”晶控仪白色“ON”按钮，打开晶控仪； 6、待控制电脑自动完成启动；复合真空计工作正常，启动黄色“START”按钮，机组自动开启机械泵(RP)、罗茨泵(MBP)、扩散泵(DP1/DP2)，DP1/DP2灯闪烁，表示扩散泵处于加热中，DP1/DP2灯稳定时，表示扩散泵油温度到达，可以打开高阀。(通常需50分钟) 7、打开电子枪控制柜电源； 8、若有镀需充氧的膜料，则打开氧气瓶阀门。 9、按黄色“START”按钮，待“RV”预抽阀灯闪烁，再按黄色“START”按钮“RV”关闭“FV1/FV2”前级阀打开，过若干分钟（根据设置）“LV”充气阀打开。充气完毕，

38、真空室门打开。,二、镀膜 1、打扫真空室：用铜丝刷、吸尘器、刀片等工具，将电子枪外露部分、坩埚及四周、护板及观察窗等打扫干净，换上干净挡板。 2、检查晶片寿命及活性值，在“IC/5”晶控仪的主显示屏状态，按“F2”键，一般只检查第一通道“LIFE”值3或4，“ACT”值420，应考虑换晶片，新晶片的“LIFE”值为0，“ACT”值440，可认为OK。否则再次清洁晶片的座、架、片等，或换过晶片。 3、按膜系要求装填膜料，对一般减反膜，主要膜料有：TIO2（5#）、ZRO2（1#）、MGF2（3#）、AL2O3（2#）；（A#为坩埚号）。旋转坩埚用遥控盒的“POCKET CCW”和“POCKET

39、1STEP”红色按钮。对IR-CUT膜用TIO2（5#、6#）、SIO2（1#、2#、3#、4#）。 4、当装有TIO2膜料而且高于旋转平面时，该膜料需要镀前手工预熔，在真空室关门前将该坩埚定位在蒸发位上，并将电子枪“自动”状态关闭，开关拨至“INT”。防止关门时坩埚自行转动，卡死膜料。而后关闭挡板。 5、按常用程序表对照所镀镜片零件号，输入程序编号。,6、双手提基片架把手，将基片架准确放入旋转架上卡槽内。基片架上未装镜片的空位应堵或蒙上（铝箔），防止真空室顶部污染。 7、上述事项完成并确定无误后，关上真空室门。 8、按黄色“START”按钮，机组进入抽真空、加热状态。 9、在真空度达5*10

40、-5TORR以上可手动预熔膜料，仅TIO2一种膜料需手动预熔，而且预熔TIO2应充氧。预熔完毕，将机组置于自动控制状态。（附1：手动预熔操作） 10、当机组真空、温度等满足蒸发条件时，自动开始蒸镀。应注意观察调整电子枪束斑位置及面积，注意观察料面情况，并观察控制柜面板上响应参数，若有异常应调整或暂停、中止。 11、蒸镀完闭按各膜系要求作镀后烘烤、延时处理。自动充气、开门。卸下基片架。,关机 1、关门，按黄色“START”按钮。 2、待真空计的“A1、B2”区泛白，按红色“POWER OFF”键，机组自动将“DPI、DP2”关闭。 3、手动关闭电脑。 4、关闭“IC/5”晶控仪。 5、关闭电子枪

41、控制柜电源；120分钟后自动将罗茨泵、机械泵及机组电源关闭。 6、关闭冷水机及外部循环水。 7、关闭气源（或气泵）。 8、关闭氧气瓶阀门。 9、关闭电源箱总电源。,附：手动预熔 1、在镀制TIO2之类高熔点膜料前，需对该类膜料进行手动预熔，操作步骤如下： 2、把电子枪开关拨至“IHT”。 3、打开电脑程序上的“蒸发源”界面，点击上面的“自动操作”，由橙色变为白色。 4、再打开“蒸镀参数”界面，将“APC SETUP”打开，选择对应的充氧通道，点击“APC Intermal”。 5、按电子枪控制电源面板上的“ACC ON”按钮，打开电子枪高压。 6、再按“FILAMENT ON”按钮，灯丝通电流

42、。 7、调节电子枪X、Y方向的“SCAN”（面积）旋钮，使数值为4。 8、利用遥控盒，调节光斑位移（POINT）旋钮，使光斑在膜料上作圆周运动，并慢慢将束流加至400mA。 9、预熔完毕后，点击电脑程序上充氧界面的“Extemal(for pc)”,关闭充氧，再点OK。 10、按电子枪控制电源面板上“Acc、Fil Off 按钮，关闭电子枪。 11、将电子枪开关拨至“EXT”。 12、打开电脑程序上“蒸发源”界面，点击“自动操作”，由白色变为橙色。,ZZSX-800型镀膜机（北仪） 作业手顺书,一、目的和适用范围 本指导卡规定了使用ZZSX-800型镀膜机镀制多层膜的操作方法及过程控制，确保所

43、加工的产品满足要求、品质得到控制。适用范围：光学元件事业本部ZZSX-800型镀膜机操作。 二、开机流程 ： 1、开电源、气源、水源。 2、开机组电源、开机械泵、扩散泵。 3、开充气阀、开门。 4、处理真空室（清洁等），关门、开机械泵、开预抽阀。 5、测低真空，开罗茨泵、关预抽阀、开前级阀、开高阀。 6、开烘烤、工件旋转。 7、测高真空、开膜厚仪。 8、预熔膜料、并按膜系蒸镀。 9、关烘烤、关旋转、关膜厚仪。 10、关真空测量、关高阀，关罗茨泵、关前级阀、关机械泵。 11、降温、充气、开门、取工件。,三、关机 1、关扩散泵， 2、等120分钟，停机、停水、停电、停气。 四、镀膜前准备 .1、按

44、有关膜系技术工艺文件要求，作膜料、基片、晶控仪、晶片、真空室布置、基片上伞等准备工作。 4.2、晶片：由于晶片本身品质有差异，晶控仪稳定性不理想，无法定出晶片的使用周期。操作中一经发现晶控仪显示有失常时，应及时更换晶片；或将晶片卸下擦拭一下并清洁探头各触点，保持良好接触。防止蒸镀中因失控造成镀膜失败 五、膜层厚度控制 本卡规定用晶控仪控制膜厚。 各层膜的控制数据以及修正方法按相关膜系技术文件的规定执行。 六、操作步骤与注意事项 .1、接通水源、气源、电源，打开机器总电源。 6.2、开维持泵、扩散泵。 *因扩散泵有预热时间，可在扩散泵开启45分钟后进行下一步操作。,开充气阀、开门、关充气阀。 6

45、.4、处理真空室： a、用吸尘器及铜丝刷、纱布、乙醇乙醚混合液清洁真空室，重点是档板、枪体、坩埚等。 b、更换、添加膜料。 c、检查、更换晶片。 d、安置镜片架、注意装夹安全可靠。 e、按技术文件规定作真空室其它处理，以及晶控仪数据设定或调整。 f、修正补偿板位置的确认或更换。 g、若使用电阻蒸发舟时，应紧固二端连接。当蒸发舟使用50次、层膜或变形时应及时更换，新换上的蒸发舟应先处理干净，并在真空状态下空载。通电让其发红热处理。经上述处理的钼舟即可投入使用。*ZZSX800机钼舟尺寸20204mm（或成型蒸发舟） 6.5、关门、开机械泵、开预抽阀。 6.6、开低真空测量在达到400Pa左右的真

46、空度时开启罗茨泵。 6.7、在扩散泵工作1小时以上，自动压强仪真空度1.3101Pa时，关预抽阀、开前级阀、开高阀。 6.8、开烘烤，烘烤温度设定为300。工件慢转动。（30V） 6.9、开晶控仪，开电子枪电源。 6.10、在真空室真空度达技术文件规定值（一般在5610-3Pa）、烘烤温度达设定值20分钟以上，预熔膜料，工件旋转加快。（80V）,6.11、按膜系要求以及技术文件规定逐层蒸镀。 6.12、关烘烤、关旋转、关真空测量、关高阀、关晶控仪。 6.13、关前级阀、关罗茨泵，并在罗茨泵停稳后关机械泵。 6.14、若不再继续蒸镀，则关上扩散泵，否则扩散泵不停。 6.15、真空室降温至规定值时

47、（270左右），开充气阀、开门、关充气阀。 6.16、取出镜片。 6.17、若继续操作，则重复6.46.16步骤操作。 6.18、关门、开机械泵、开预抽阀约15分钟左右可关预抽阀、关机械泵。 6.19、停维持泵、停机组电源，停电、停气。 6.20、在扩散泵停止工作2小时以后，停水。（因循环水管道已改为金属管道，且为了缩短开机员工作时间，允许晚班不停水直接下班。但如第二天为休息日，则开机员应在第二天上午到厂关闭循环水。） 七、注意事项： 7.1、真空室内严禁任何油污染，任何油类物品及含油类的物品、工具、纱布进入。 7.2、机组在蒸镀了30罩左右（红膜）或累计200层膜左右时，必须彻底清洗真空室有

48、关部件。 7.3、机组在冷镀过镜片后，无论真空室部件是否干净，都必须彻底清洗真空室有关部件。,7.4、保持机组正常工作，一旦有异常应停机，排除故障后再启动。 7.5、烘烤灯管两头的管脚紧固螺丝每个星期一全部紧一遍，避免接触不良产生打火。 7.6、机组一旦停电，应切断总电源及各按钮，来电后逐步启动。 7.7、机组旦停水，应切断扩散泵，停止正常蒸镀操作，关闭烘烤，约10分钟后若仍停水则用备用水冷却扩散泵。 7.8、应随时注意循环冷却水供给情况。 7.9、执行技术文件规定的其他事项。 7.10、根据专用工作记录表，做好各罩记录。 记录表应记录下列内容：蒸镀起止时间、膜系名称、晶片寿命、工具因子值、设

49、定基片温度、蒸镀时真空度、关门至开门时间、零件名称、镀件数量等。车间可结合生产记录设计表格，报工程科审核后投入使用。 7.11、做好机组异常情况、故障及维修记录。（专用记录本，保存10年。）记录内容包括：异常情况、故障发生及排除日期、时间；异常情况及故障现象；自我分析；实际维修、排除记录及说明；作业员、维修员签名。,HVC1200A镀膜机操作手顺书,一、开机 1、打开电源箱总电源； 2、打开冷水机外部循环水阀门；(先开出水，后开进水) 3、打开气动气源阀门（或气泵电源）； 4、打开机组电源，按红色“CONTROL POWER”按钮； 5、启动黄色“START”按钮，机组自动开启机械泵(RP)、罗茨泵(MBP)、扩散泵(DP1/DP2)，DP1/DP2灯闪烁，表示扩散泵处于加热中，DP1/DP2灯稳定时，表示扩散泵油温度到达，可以打开高阀。 6、按黄色“RUN”按钮，待“RV”预抽阀灯闪烁。 7、再按黄色“RUN”按钮，“RV”关闭“FV1/FV2”前级阀打开。 8、将“COOL TIME”开关拨至“OFF”，“LV”充气阀打开。充气完毕，