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1、,太阳能单晶硅片制备技术 简介 马恩高 2006,中科院物理所嘉兴工程中心,目 录,一、引言 二、原料及其准备 三、单晶硅棒的生长 四、硅棒的切片技术 五、物理所工程中心简况,一、引 言,中科院嘉兴中心物理所分中心,太阳能级硅片,太阳能电池结构,电池制备流程,国内主要厂商,二. 原料及其准备:,多晶硅料,坩 埚,浓度单位,注：单晶硅中原子数约为 5102atoms/cm3 ppma:原子数百万分比例, ppba;原子数十亿分比例,硅中的杂质浓度,废料回收技术,废电池,IC废料,埚底料,头尾料,废料处理程序,废料粗分,砍砂,磨削,浸泡,超声清洗,电阻分检,D.I水清洗烘干,酸洗,N,Y,废料处理
2、设备,吹砂机,磨削机,腐蚀机,清洗机,三、单晶硅棒的生长：,籽晶,晶颈,晶肩,晶身,晶尾,CZ直拉法,区溶法,掺杂与电阻率的控制:,CZ直拉法长晶技术,生长炉结构:,长晶过程:,籽晶熔炼,引晶,放肩,等径生长,收尾,长 晶,太阳能级硅棒性能指标:,三、硅棒的切片技术：,切头滚方,多线切割机,清洗,分检,供水系统,车间布局,应 用,四、物理所工程中心简介,目前有常驻人员： 25人 实验室与工作场地: 约3000M2,实验室一：动力电池重点实验室 研究方向： 锂电新颖电极材料 动力电池单体与模组 超级电容器,实验室建设,实验室建设,实验室二：新能源材料实验室 研究方向： 太阳能晶硅材料 太阳能晶硅电池,谢谢 各位！,