JB-T 10439-2004 单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉.pdf.pdf

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1、I CS 2 5. 1 6 0 . 1 0 x 6 1 i 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 J B / T 1 0 4 3 9 - 2 0 0 4 单 晶 炉 T D R系列直拉法单晶炉 C r y s ta l g r o w i n g f u r n a c e s T D R - s e r i e s c r y s t a l g r o w in g f u r n a c e s b y C z o c h r a l s k i m e t h o d 2 0 0 4 - 0 3 - 1 2发布2 0 0 4 - 0 8 - 0 1 实施 中 华 人 民

2、共 和 国 国 家 发 展 和 改革 委 员 会 发布 J B / f 1 0 4 3 9 - 2 0 0 4 目次 前言 . . t . . . . . . .- . . ， . . - . - . . . .- . ， . . . . . 一 ， . . .， . . . . . . -. . - . . ，. ， . 一 I ll l 范围 .二 t . . . . . . .- . . 一 ， .t . . . . . . - . . . . . . . . 一 ， . ， . -. . . . . . . . . . . . . . . . . 一， 1 2 规范性引用文件 . .

3、t . . . . .- . ， ，. ， 二 ， ， - . -. . . . . . . ， ， ，. . 1 3 术语和定义. - . .“._ . ， . .二 . . . . . . . . . . . . -. - . . 卜二. ，卜 . . -. . . . . . . 一 t . . . 一， . . . . 一 1 4 产品分类. . . . . . . . . . . . . . . t . 二 “. . . . . . - 一 ，. . .一 . . . .- . . . 二 ， 二 ， . . . . . . . . ， ， ，二 . 一 2 4 . 1 品种和规格.

4、_ . .t- . . . _ 一， “. _ . . . - . . . . .“ _ 一 2 4 .2 型号. . . . : _ . ， . ， . . . . . . . . . . . . . . 一 ， . . . .- . . . . . . ， ， 二 . . 2 4 .3 主要参数一，. 二 ， ， - . . . . . . . . ， 一 ， .，. . . . ， ， ， 一 . . ， . . . . 一 2 5 技术要求. . . . -一 t . . . . . . . . . ， ， -. 一 . 价 ， ， ， ， ，. . . . . . . . . . .

5、 - . . . . 3 5 . 1 一般要求. . . 一. . . . 一 二价. . 卜. 二 卜 . . . . . . 价 . . . ，. . .， ， . ， . . . 一 3 5 .2 对设计和制造的 补充 要求， . ， - 卜 . . - . .， . 卜 . _ . . . . . . . . . . . ， . . - . . 3 5 .3 性能要求_ 二 ， . ， ， ， t . - . . -. . . . . . . . ， ， . . ， . . . ，. ， ，.一 . ， ，. ， ， . . . 4 5 .4 成套要求. ， .， . . ， . .

6、. . . . . ， .， ， ， ， ，. ，-. . . . . . . . ， ， 二 ， . . . . .- . . . . . . . . . . . .， . . 5 6 试验方法 . . . . .- . . . ， . 二 . . . . 价. ， ， .， . ，. . . . ， ， ， ， ， 一 ，二 . . . . . . . . . 二， . ， ，.- . . 二5 6 : 1压 升 率 的 测 量. . . -. - . . 二 . . - . . . . . . . . . . . . . . .-. . . . . . . . . . 一 ， . . -

7、 - .- . . . . . 5 6 .2 炉温均匀度的测量 .， . ， . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ， . . ， . ， ， . . . 5 6 . 3 加热能力和热炉抽气能力试验 价 . . . . . . . . -. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 一一一 . . . . . . . . . 6 6 .4 运动参数相对偏差的 测量. . . . . 卜 二卜. . . .卜 卜二，. -. 一 ”卜 . . . . . . . 6 6 . 5 速度百分偏差的测量 二 ，.

8、价 . - . 价， ， . “价 一一一一一一一价一一一 ， 6 6 . 6 爬行量的测量 二 价. ， “二 价一一一价 一 . . 一. 一.一 6 6 .7 工业拉晶试验 ， . 二 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .， . . . ， . . . . . . . 6 6 .8 晶体直径偏差的测量 . . .- . .价 . _. ， . ， 价 ， 一 ， .， . 6 7 检验规则 . -. . . . . . t 二， . . _ ，. ， . .， . . . . 6 7 . 1 单晶炉的出厂检验项 目. . . . . . .

9、. . . . 一 ， ， -. . ， . . .一， . .， .“一 ， . . . . . . . 6 7 .2 单晶炉的型式检验项 目. . . . 卜. 卜 . - . ， ， . ， 卜. . . . 卜 卜 . . 一， .卜一 卜 :. . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 8 标志、包装、运输和贮存. . . . . ， 一 ， 一 . . . . . . . . . . . . . . - . - -一 7 9 订购与供货 .- . . . . . . . . . . . . . . . . . . ， . . . . . . _ . .

10、 . . . . . . - . .- . . _ . . . .一8 J B / T 1 0 4 3 9 -2 0 0 4 前言 本标准是首次制定 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国工业电热设备标准化技术委员会归口。 本标准起草单位西安理工大学晶体生长设备研究所 本标准起草人:陈巨才 .l Br r 1 0 4 3 9 -2 0 0 4 单晶炉T D R系列直拉法单晶炉 1 范 围 本标准 规定了对T D R系列直拉法单晶 炉 ( 以 下简 称单晶 炉) 的各项要求， 包括品种规格、 技术 要 求、 试验方法、检验规则及订购和供货等。 本标准适用于直拉法拉制半导体硅、 锗等单晶的

11、单晶 炉。 2 规范性引用文件 下列文件中的 条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。 凡是注日 期的引用文 件， 其随后所有的 修改单 ( 不包括勘误的内 容) 或 修订版均不适用于 本标准， 然而， 鼓励根据本标准达成协议的各方研究 是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注 日 期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 G B 1 5 0 -1 9 9 8 钢制压力容器 G B / T 2 9 0 0 .2 3 -1 9 9 5 电Y术语 Y业电 热设备 ( n e g I E C 6 0 0 5 0 - 8 4 1 : 1 9 8 3 ) G B / T 1 0 0 6 6 . 1 -2 0

12、 0 4 电热设备的试验方法第1 部分: 通用部分 ( I E C 6 0 3 9 8 : 1 9 9 9 , M O D ) G B / T 1 0 0 6 6 . 4 -2 0 0 4 电热 设备的试验方法 第4 部分: 间接电阻炉 ( I E C 6 0 3 9 7 : 1 9 9 4 . N E Q ) G B / T 1 0 0 6 7 . 1 -1 9 8 8 电 热设备基本技术条件 第一部分:通用部分 G B / r 1 0 0 6 7 . 4 -1 9 8 8 电 热设备 基本技术条件 第四部分:间接电阻炉 J B / T 9 6 9 1 -1 9 9 9 电热设备 产品型号编

13、制方法 3 术语和定义 G B / T 2 9 0 0 . 2 3 -1 9 9 5 . G B / 1 7 1 0 0 6 6 .4 -2 0 0 4 确立的以及下列术语和定义适用于本标准c 3 . 1 直拉法c z o c h r a l s k i me t h o d 直拉法又称引上法、 切克劳斯基法， 是生 长单晶最常用的方法， 即把高 纯的多晶材料放在柑祸内并 加热使之熔化， 用固定在提拉轴_ L的籽晶与熔融的材料相熔接， 然后以一定的速度垂直向上提拉， 晶体 便在籽晶下端不断生长 3 . 2 S作室尺寸 d i m e n s io n s o f w o r k i n g c

14、 h a m b e r 单晶炉设计时规定并在图样上标明的晶体生长室的空间尺寸，用其内径和高度表示。 3 . 3 熔料f c h a r g e 单晶 炉设计时规定的每炉次一次最大的装料量，不包括拉晶过程中 添加的 量 3.4 晶体的等径部分 i s o d i a m e t e r p a rt o f c r y s t a l 晶体拉制过程中，自 转肩后从投人等径控制开始到等径控制结束的那一部分晶 体 3 . 5 S作温度 w o r k i n g t e m p e r a t u re 单晶炉设计时规定的多晶材料熔化及单晶 从熔液中生长允许使用的温度范围 3 . 6 最高加热温

15、度 m a x i m u m h e a t i n g t e m p e r a t u r e J B/T 1 0 4 39 - 2 0 04 单晶炉设计时规定的能够满足对加热系统 ( 石墨加热器、 石墨涡杆、 石墨祸托、 石墨柑祸及其屏蔽 保温系统)进行预先锻烧处理目的而需达到的加热温度。 3 .7 工作区 w o r k i n g r e g i o n 能满足炉温均匀度要求的区 域。通常指正常拉晶条件下加热器内 增祸液面附近的区域 4 产品分类 4 . 1 品种和规格 4 . 1 . 1 单晶 炉按工作室内 径尺寸分为多个品种，如表1 所示。 衰， 品种代号 工作室内径 C口

16、T D R 4 0 4 0 T D R 5 0 5 0 l T D R 6 06 0 T DR6 2 6 2 T DR 7 07 0 T DR 8 0 8 0 4 .2 型号 参照J B / 1 9 6 9 1 -1 9 9 9 ，单晶炉的型号规定如下: T D R 一 是 企 。 改型代号 工作室内径， 单位为c m 电阻加热 单晶炉 特 种 电 炉 4 . 3 主要参数 在企业产品 标准中对各个型号的 单晶炉应分别列出以下 各项参数: a )电 源电压，单位为V ; b )电源频率， 单位为H z ; c )相数: d ) 晶体直径，单位为m m : e ) 熔料量， 单位为k g ; f

17、 ) 工 作室尺寸 ( 直径x 长度)， 单位为m m x m m : g ) 额定功率， 单位为k Wo h ) 工作温度， 单位为: i ) 最高加热温度，单位为; J ) 炉温稳定度 单位为; J B / T 1 0 4 3 9 -2 0 0 4 k )炉温均匀度，单位为 1 ) 工作电 压，单位为 V ; m)极限真空度，单位为P a ; n ) 工作真空度，单位为P a ; o )压升率，单位为P a / h ; P ) 空炉抽空时间，单位为 h ; 4 ) 充 气 压 力， 单 位 为 P a ; r ) 籽晶拉速范围， 单位为n u n / n u n ; s ) 籽晶在炉内 有

18、效行程，单位为m m; t )籽晶转速范围，单位为r / m i n ; u )增A升速范围，单位为m n il mi n ; V ) 柑祸转速范围，单位为r / n u n ; w ) 柑祸在炉内 有效行程， 单位为 m m ; x ) 气体耗量，单位为L h , Y ) 水流量， 单位为m 3 / h ; 2 ) 主机重量， 单位为t t a s ) 主机外形尺寸， 单位为 m m o 5 技术要求 5 . 1 一般要求 单晶炉应符合G B / f 1 0 0 6 7 .4 -1 9 8 8 中第 5 章的 规定。 5 .2 对设计和制造的补充要求 5 .2 . 1 总体要求 单晶炉主 要

19、由主 机 包括 炉体、 籽晶 提拉及旋转系统、 增祸上升及旋转系统) 以及 抽气系统、 充气 系统、 液压系 统、水冷系统、 加热电路电源、 控制装置等组成。 单晶炉的 炉体通常由主炉室 ( 生长室) 、 副炉室 ( 提拉室) 及隔离阀 组成。 炉体通常为内热式水冷 炉壁结构C 在单晶 炉通电 加热前，抽气系统应能 把炉室抽到预定的真空度。在加热阶段，输人功率应能调节， 在冷却阶段，已 拉制的单晶 应能在不同真空度下和中 性气体 ( 包括惰性气体， 下同)中 冷却。 5 . 2 .2 材料 所有处于 炉室内的材料应适应设计规 定的 气氛、 真空度、 温度， 并在该环境下保持稳定的成分和性 育

20、G o 52 . 3 工作电压 单晶炉的 工作电压应在企业产品 标准中规定。 在工 作电压范围内和正常工作条件下， 炉内 应不产 生 火花放电。 5 2 . 4 炉壳 炉壳应采用水冷结构。 筒体、 封头、 炉门的设计和制造应符合G B 1 5 0 -1 9 9 8 的规定。 炉壳内表面应光洁平滑。内外壁可用不锈钢材料制成。 5 . 2 . 5 炉室 单晶炉的加热系统应根据拉晶工艺要求也可由用户自 行设计制造。 炉室的设计应把热胀冷缩引起的变形以 及通过绝热层的 热损失限 制到最小 程度。 单晶 炉加热元件的引出 部分应确保真空密 封和正常工作并用水冷却。 在炉 室壳体上 应 配备测量工作区 炉

21、温均匀 度用的 热电 偶引出 装置， 其连接 热电 偶的 数量 按 心 B / 1 1 0 0 6 6 .4 J B/ C 1 0 4 3 9 -2 0 0 4 -2 0 0 4 中 6 . 1 5 的要求。 5 . 2 . 6 水冷系统 水冷系 统应能使炉壳的筒体、 封头和炉门的表面温升不超过5 .3 . 5 的 规定， 同时在水压不足或压力过 高时应有指示或报警信号， 关键水冷部位还应具备超温报誉信号。 5 27抽气系统 单晶炉的抽气系统由真空泵、 管道、 阀门、 冷阱、 控制系 统、 真空计等组成。 系统中 应装有自 动阀 门， 以便在发生停电事故时自动 关闭， 防止空气和真空泵油进人炉

22、内。 当 要求在系 统中配备粉尘捕集器 或过滤器时。可按9 .2 提出。 5 .2 .8 充气系统 单晶炉的充气系统通常由 气体流量控制单元来实现， 并应 具备安全防爆装置， 在单晶炉产品标准中 可具体规定不同的充气压力数值 5 .2 .9 测f 、控制和记录 单晶炉的测量、 控制和记录 应符合G B / T 1 0 0 6 7 . 4 -1 9 8 8 中5 . 2 .7 除5 . 2 .7 .矽卜 的各项规定和以下补充规 定 5 .2 . 9 . 1 控制装置 单晶炉应配备专门的控制柜， 用来安 装仪器、仪表和控制元件等。 控制系统应配 备速度控制单元、 温度控制 单元及功率部件、 晶体生

23、长 控制器、 冷却水温度显示、 报普、 运行状态报警装置和 继电 控制 单 元 等 5 .2 .9 . 2 炉温控制系统 单晶炉的炉温控制系统通常采用串级控制系统。 控制系统应能限制输人功率不超过所要求的最大 值。 单晶炉应配备具有自 适应和自 调谐控制功能， 有双重四 位半数字显示， 可以遥控或是本机控制， 对 外有数字接口 通信等 特点的温度控制器。 对温度控制器如 有不同要求可按9 .2 提出。 5 . 2 . 9 . 3 真空仪表 单晶炉应配备薄膜规一热偶规复合真空测量仪， 或热 偶规管一电离规管， 用来测量O .O l P a “ l O k P a 之间的真空度 5 . 2 . 9

24、 . 4 晶体生长控制器 单晶 炉应配备晶体生长控制器， 以 实现自 引晶 一放肩 一等径 一收尾等过程的自 动生长。 在单晶炉的 产品标准中应具体规定晶体等径部分的允许直径偏差。 5 . 2 . 9 . 5 自动化水平 单晶炉应采用计算机控制。产品的主要技术功能 ( 速度控制、 温度控制、晶体直径控制等) 应完善 可靠; 辅助技术功能 ( 液面 测距、 晶 体计长等) 应配置齐全。 整个拉晶 工艺过程可为用户提供使用方便、 友好的 人机交互界面， 实现拉晶工艺过程自 动 化控制。 5 . 2 . 9 .6 报，和保护装里 单晶 炉的籽晶轴与增涡轴应具有超程报警和 保护装置 5 . 3 性能要

25、求 单晶 炉的 性能应符合G B / I 1 0 0 6 7 . 4 -1 9 8 8 中 5 .3 和以 下各项要求 5 . 3 . 1 工作温度 在工作温 度范围内， 单晶炉应能够满足5 . 3 . 6 和5 . 3 .7 炉温均匀度和炉温稳定度要求 5 . 3 . 2 工作真空度 单晶 炉的 工作真空度应以具体生长单晶的 工艺条件而定，并在企业产品标准中规定。 5 . 33 空炉抽气时间 单晶 炉应能在6 0 m i n 内 抽气到所要求的工作真空度。 5 .3 . 4 压升率 J B/ f 1 0 4 3 9 -2 0 0 4 单晶炉的压升率应不超过6 P a / h , 5 . 3

26、5 表面温升 单晶炉炉体的表面温升应不超过3 5 0 C . 5 .3 .6 炉温均匀度 单晶炉炉温均匀度应不超过士 2 C 5 .3 . 7 炉温稳定度 单晶炉的炉温稳定度应不超过士 0 . 5 0C 5 . 3 . 8 加热能力和热炉抽气能力 在炉温和多晶料都等于环境温度下， 把重量等于熔料量的多晶盛人增涡内并装人炉内， 起动抽气系 统当炉内达到预定真空度时开始加热。对工作室容积不大于。 .6 m 3 的单晶炉， 炉温应能在加热开始后 I h 内 上升到最高工作温度 对工作室容积大于 O h m 单晶 炉，应在1 . 5 h 达到上述要求。 5 . 3 . 9 运动参数相对偏差和速度百分偏

27、差 单晶 炉在其速度控制系统的调速范围内， 各项运动 参数的实际测t值与指示计的指示值( 或显示值) 的相对偏差应不大于5 %; 各项运动参数的速度百分偏差应不大于2 % ; 各运动机构运转应工作灵活， 在 正常拉晶 工艺条件下应无明显振动 5 . 3 . 1 0 同轴度及径向圆 跳动 单晶 炉的 籽晶轴与柑祸轴的同轴度及径向 圆跳动应在单晶炉的产品标准中 具体规定。 5 .3 . 1 1 爬行f 单晶炉的 籽晶轴与琳祸 轴以 低速 ( 速度 范围 下限) 上升 时的爬行 量应在 单晶 炉的产 品标准中具 体规定 5 .3 . 1 2 其他 单晶炉其他方面的 性能应分别符合5 . 2 以 及在

28、企业产品标准和供货合同中的相应规定 5 .4 成套要求 5 .4 . 1 在企业产品标准中 应列出供方规定的 单晶炉成套供应范围， 一般包括下列各 项: a )单晶炉主机 b ) 控制装置: c ) 加热电路电源; d ) 水冷电缆: e ) 抽气机组各组件: f ) 充气装置; 9 ) 除尘器: h ) 液压泵站 i )备件 在企业产品标准中可对上述项目作必要的补充，并应列出各个项目的具体内容， 包括型号、规格和 数量 需方如对供方规定供应的项 目有不同要求，可按9 . 2 提出。 6 试验方法 单晶 炉的 试验按G B / C 1 0 0 6 6 . 1 -2 0 0 4 和 G B /

29、C 1 0 0 6 6 .4 -2 0 0 4 相应条文进行。 6 . 1 压升率的测f 按G B / r 1 0 0 6 6 . 1 -2 0 0 4 中7 . 1 . 1 0 .3 的规定 6 . 2 炉温均匀度的 测f 参照G B / r 1 0 0 6 6 .4 - - 2 0 0 4 中 6 . 巧 的规定， 工 作区内测温点的布置按G B / T 1 0 0 6 6 . 4 -2 0 0 4 中 6 . 1 5 .5 的规 定 J B I C 1 0 4 3 9 - 2 0 0 4 试验温 度应以单晶材料的 结晶 温度为准。 在试 验温度下 进行 试验。 试验应在1 3 0 P a

30、 到极限真空度之间 不同 压力下 各测取三组数据， 然后求三 者的 算术 平均值。 试验温度下的 炉温 均匀度应满 足5 . 3 .6 的要求 63 加热能力和热炉抽气能力试验 本试验的目 的在于测定单晶炉的加热能力和 热炉抽气能力， 并检验单晶 炉的热炉运行情况 先 进行 加热能力试验，把炉温设定在最高工作温度上，当 炉室真空度达到6 .5 P a 时开始加热， 并根 据企业标准中规定的升温程序， 把炉温升到 设定 值，保温3 0 m i n ， 加热开始后I h 或1 . 5 h( 见5 . 3 . 8 ) 炉温 应达到 设定值，炉室应在5 . 3 .3 规定的时间内 达到 规定的工作真空

31、度 当 有要求时 ( 见， 2 )， 单晶 炉应在最高工作温度和满载荷的情况下累计运行2 4 h 以 上 停炉后应按GB / T 1 0 0 6 6 . 1 -2 0 0 4 中7 . 2 . 8 进行检查。 6 .4 运 动参数相对偏差的: 119 f 在规定的速度范围内， 籽晶轴及增涡轴处于 某一 ( 任意选定) 位里， 取某一 ( 任意设定) 速度 ( 指 示计指示值或显示值) ， 用秒表和百分表 ( 或千分表) 测量该速度下两轴上升速度: 用秒表测量两轴旋 转速度。 测量时间以i m i n 计。相对偏差按下式计算: 相对偏差 =指 示 值( A 显 示 值 卜实 际 测 量 值 指

32、示 值 域显 示值 、 x1 0 0 % 6 .5 速度百分偏差的测盆 在规定的速度范围内，籽晶轴及柑涡轴处于 某一 ( 任意选定) 位置， 用秒表和百分表 ( 或千分表) 每间隔5 m i n 测量某一 ( 任意设定) 速度下两轴上升速度;或 用秒表侧量某一 ( 任意设定) 转速下的 两 轴旋转速度 每次测量时间以I m i n 计。测量5 次。速度百分偏差按下式计算: 速度百分偏差=实 测速度最大值一 实测速度最小值 实测速度平均值 x1 0 0 % 66 爬行f的测. 在籽晶 及柑祸轴以低速 ( 速度范围下限) 上升时， 用千 分表检查由运动停顿到重新起动的 最大 蹦跳 问隔数值。 6

33、- 7 工业拉晶试验 以 拉制硅晶为例。 拉制其他材料晶体的 试验由 制造厂与用户商定。 将经过处理好的多晶硅或复拉料盛人增锅中， 把籽晶( 籽晶尺寸大小及取向选择应在单晶 炉产品 标 准中 具体规定) 装卡在籽晶轴上。 盛人增祸中 的装料量应不小于熔料童的 6 0 9 6 。 在正常拉晶工艺条件下， 拉制外形符合等 径部分直径偏差要求的单晶。 拉制的 单晶重量应不小于装料量的8 0 % . 注 除拉制硅单晶一般由 制造厂进行 试验外。 拉制其他材料的晶体应由制造厂与用户协商进行， 用户可向制 造厂提 供条件 材料、工艺等) 6 -8 晶 体直径偏差的A 9 f 在晶体的等径部分， 用卡尺沿晶

34、 体的同一侧母线方向测量晶体直径， 以 测得的最大 值与最小值之差 作为晶体的直径偏差。 注本标准中的5 .3 . 1 0 系一般检查项目，按一般机电产品的检查方法检查 7 检验规则 单晶炉的检验应按G B / T 1 0 0 6 7 . 1 -1 9 8 8 中 第7 章和以 下各条进行。 71 单晶 炉的出厂检验项目 a ) 触电防护措施的试验; b )绝缘电阻的测量: J B / T 1 0 4 3 9 - 2 0 0 4 。 绝缘耐压的试验: d ) 控制电 路试验: e )运动机构运转或动作情况的检验; f ) 运动参数及相对偏差的 测量 ( 包括速度百分偏差的测量和爬行量的测量)

35、9 夕 水路系 统的试验 h ) 气路系 统的试验; i ) 液压系统的试验: J ) 联锁和报警系统的 试验; k ) 极限真空度的测量: 1 ) 空炉抽气时间的测量; m)压升率的测量: n ) 配套件的检查，包括型号、 规格和出厂合格证件的检查: 0 ) 供货范围， 包括出厂技术文件完整性的检查; P ) 包装检查。 7 .2 单晶炉的型式检验项目 a )全部出厂检验项 目 ( 在型式检验条件下 ): b ) 空炉升温时间的测量: c ) 额定功率的测量: d ) 最高工作温度的测量; e )受热构件表面温升的测量: f ) 炉温均匀度的测量; 9 ) 炉温稳定度的测量; h ) 加热试

36、验 ( 加热能力与热炉抽气能力的 检查): i ) 工作真空度的 测量: 1 工业拉晶试验; k ) 水流量的 测量; I)气体耗 量的 测量; m) 运动机构运转情况或动作情况的热态试验; n )热态试验后的检查。 8 标志、包装、运输和贮存 8 .1 单晶 炉的 标志、 包装、运 输和贮存应符合G B / 1 1 0 0 6 7 . 1 -1 9 8 8 第8 章的规定。 8 . 2 除另有要求外 ( 见9 . 2 ) 单晶炉的铭牌上应标出 下列各项: a ) 产品的型号和名称; b ) 电源电压，单位为V ; c ，电源频率。 单位为H z ; d )相数: e )额定功率，单位为k W

37、c f )工作电压，单位为V; 9 ) 熔 料 量， 单位 为 k g ; h )工作室尺寸，单位为mm i )主 机重量， 单位为 t : J ) 产品编号: J B / T 1 0 4 3 9 -2 0 0 4 k ) 制造日 期: 1 )制造厂名称 ( 对出口产品应标明国名)。 9 订购与供货 9 . 1 单晶 炉的订购与供货应按G B / T 1 0 0 6 7 . 1 -1 9 8 8 第9 章的规定 9 . 2 需方有下列特殊要求时，可向供方提出: a ) 对单位制、电源电压、 电源频率等的不同要求 ( 见G B / T 1 0 0 6 7 . 1 -1 9 8 8 中 5 . 1

38、 . 1 . 1 ); b ) 对使用环境的不同 要求 ( 见G B / T 1 0 0 6 7 . 1 -1 9 8 8 中5 . 1 2 ): c ) 要求在水冷系统中提 供循环冷却系 统或其中部分 装置，如机械致冷装置， 水冷却塔装置或水净 化装置等: 并提出具体技术要求 ( 见G B / T 1 0 0 6 7 . 1 -1 9 8 8 中5 . 1 . 3 . 1 ); d ) 对安全和环境保护的附加要求 见G B / T 1 0 0 6 7 .7 -1 9 8 8 中5 . 1 . 5 . 1 ): e ) 对涂漆的不同 要求 ( 见G B / T 1 0 0 6 7 . 1 -1

39、 9 8 8 中 5 . 2 . 7 ); f )对包装的特殊要求 ( 见G B / T 1 0 0 6 7 . 1 -1 9 8 8 中8 . 2 . 5 ): 9 ) 对电源的 不同要求 ( 见G B / T 1 0 0 6 7 . 1 -1 9 8 8 中5 . 2 .2 ); h ) 对 温 度 控制 器 的 不同 要求( 见 G B / T 1 0 0 6 7 . 1 - 1 9 8 8 中 5 .2 .7 . 3 和 本 标准 5 . 2 .9 . 1 ) ; i 要求在抽气系统中配备粉尘捕集器 或过滤器( 见5 .2 .7 ) ; J 对供方规定项目 的不同要求 ( 见5 . 4 ): k )对加长试验的时间要求 ( 见6 . 3 ): L ) 对铭牌的不同 要求 ( 见8 .2 )。 供方应尽可能满足需方的 各项特殊要求， 但实际可 供需方选择的 特殊要求项目由 供方参照本标准各 自的 条件决定。 其中一部分可列在企业产品 标准中，其他部分在订钩时由 供需双方商定。