JBT 9363-1999 四极质谱计 技术条件.pdf

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1、I CS 19 N 54 JB 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 J B / T 9 3 6 31 9 9 9 四极质谱计技术条件 S p e c i fi c a t i o n s o f q u a d r u p o l e m a s s s p e c t r o m e t e r 1 9 9 9 一 0 8 一 0 6发布2 0 0 0 一0 1 一 0 1 实施 国 家 机 械 工 业 局发 布 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册

2、, 即可下载 J B/ T 9 363 - 1 99 9 前言 本 标rM* A 7 Z B N 5 3 0 0 2 -8 8 ( 四极质谱 计 技术条件 的修订。 修订时， 对原标准作了编辑性修改， 主 要技术内容没有变化。 本 标准自 实施之日 起， 代替Z B N 5 3 0 0 2 -8 8 0 本标准的附录A是标准的附录。 本标准由北京分析仪器研究所提出并归口。 本标准负责起草单位: 北京分析仪器 厂、 北京分析仪器研究所。 本标准主要起草人: 王成智、 张心怡、 张函迅。 本标准于 1 9 8 8 年 9月首次发布。 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费

3、下载 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册, 即可下载 中华人民共和国机械行业标准 四极质谱计技术条件 J B / T 9 3 6 3 -1 9 9 9 代 替 Z B N5 3 0 0 2 -8 8 S p e c if i c a b- o f q u a d r u p o le ma ti s s p e c h -K t e r 范 围 本标准规定了四极质谱计的要求、 试验方法、 检验规则、 标志、 包装、 运输、 贮存等。 本标准 适用于以真空系 统中作

4、残余气体分析为主的四极质谱计( 以 下简称仪器) 。 2 引用标准 下列标准所包含的 条文， 通过在本标准中引 用而构成为 本标准的 条文。 本标准出版时， 所示版本 均为 有效。所有标准都会被修订， 使用本标准各的方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。 G B / f 6 0 7 1 -1 9 8 5 超高真空法兰 G B / f 1 5 4 6 4 -1 9 9 5 仪器仪表包 装通用技术条件 J B / r 9 3 2 9 -1 9 9 9 仪器仪表运输、 运输贮存基本环境条件及试验方法 3 要求 3 . 1 仪器正常工作条件 3 . 1 . 1 环境温度: 5一3 5 C 3 . 1

5、. 2 相对湿度 : 低于 7 5 % 3 . 1 . 3 周围无强烈电磁场干扰， 无腐蚀性气体， 无影响使用的震动 3 . 1 . 4 供WE电源: 2 2 0 V t 2 2 V, 5 0 H z t 0 . S H z , 3 . 2 仪器的外观要求 3 . 2 . ， 表面涂镀层不得有明显剥落、 擦伤及露底。 3 . 2 . 2 所有紧固件不得松动脱落， 各调节器件转动柔和、 功能正常。 33 仪器的安全要求 3 . 3 . 1 仪器的电源线与机壳间的绝缘电阻不低于4 0 M f 1 , 3 . 3 . 2 仪器的电源线与机亮间能承受 1 5 0 0 V, 5 0 H z 正弦交流电历

6、时 1 二二试验， 无击穿及飞孤现象 3 . 3 . 3 仪器的泄漏电流不大于 5-k 3 . 4 仪器的性能要求 3 . 4 . 1 质量范围: 下限不大于2 u ， 上限不小于， D u , 3 . 4 . 2 分辨率: 在数值上不低于 质量范围的上限( 1 0 %峰高) 。 3 . 4 . 3 灵敏度( 对氮气) : 高于 I x 1 0 A / P a ( 法拉第筒接收) 或高于1 x 1 0 “ z A / P . ( 电子倍增器接收) ， 同 时应注明对应的发射电流。 3 . 4 . 4 最小可检分压强 ( 对氮气) :低于 1 x 1 0 P a ( 法拉第筒接收)或低于 1 x

7、 1 0 - 0 P a ( 电子倍增器接 收) 。 3 . 4 . 5 稳定性: 4 h 连续工作的峰高和峰位置稳定性按表 1 选取一组。 国家机械工业局 1 9 9 9 一0 8 一0 6 批准 2 0 0 0 一0 1 一 0 1 实施 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册, 即可下载 J B / T 9 3 6 3 -坦丝 _ 表 1 慈 定 性 Jnm 峰高 % 土 1土2士 5 g i lu x0. 1f 0. 2 x 0. 5 3 . 4 . 6 最高线

8、性工作压强: 高于 l x 1 0 = P a ( 注明对应的发射电流) 。 3 . 4 . 7 最高烘烤温度: 在2 0 0 9C , 2 5 0 9 C , 3 0 0 C , 3 5 0 C , 4 0 0 中 选取。 3 . 4 . 8 扫描速度: 在 0 . l m s / u 一3 0 s / u之间选取。 3 . 5 仪器的运输、 运输贮存环境试验应符合 J B / T 9 3 2 9的要求。其中， 高温5 5 cC， 低温一 4 0 9 C , 跌落高度 2 5 0 mm 3 . 6 仪器的成套性 全套仪器至少应包括以下四部分: a ) 四极探头; b ) 四 极探头的电源;

9、。 ) 离子流信号检测器; d ) 必须的附件和备件。 4试验方法 4 . 1 仪器的外观 用目视和手感检查。 4 . 2 仪器的安全试验 用5 0 0 V兆欧表检查仪器的电源线与机壳间的绝缘电阻。 用功率为0 . 2 5 k V A一1 k V A的高压试验设备对仪器电源线与机壳间进行耐压试验。 将仪器放在绝缘工作台上。经隔离变压器使其在 1 . 1 倍的额定供电电压下工作， 直到仪器温度趋于 平衡。侧量供电电源的每个极与连在一起的所有可触及导电部分 ( 包括恻量接地端子) 之间的泄漏电流 ( 图 1 ) 0 l 2 3 下汤 匕_ I -隔离变压器; 2 -转换开关; 3 -一 可触及导电

10、部分;闷 一保护接地端 子 图I 泄漏电流测量电路 4 . 3 仪器的性能试验 4 . 3 . 1 将四 极探头联接到附录A 规定的测 试系 统的测 试罩上。 试验前， 将仪器接通电源， 在工作状态下 预热0 . 5 h 一 1 h , 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册, 即可下载 J B / T 9 3 6 3 - 1 9 9 9 4 . 3 . 2 分辨率测盈 4 . 3 . 2 . 1 按

11、仪器的质量范围上限选择一种气体， 其分子t或某个碎片的 质2应大于质It范围 上限值的 2 / 3 ( 如览、 氢. 缸或全氟三丁胺) ， 充人测试系统的测试罩内。 4 . 3 . 2 . 2 扫 描上述气体分子或某个碎 片的质谱， 调节仪器参数， 使分辨率最高， 连续扫描， 记录 质谱三 次。 4 . 3 . 2 . 3 计算: R二丝立 D 甲 式中:R 分辨率 ; M 被侧峰对应的质A数, u; L 被测峰与邻近参考峰之间的距 离， 二 ; D 被侧峰与邻近参考峰之间的质tl l. u s w 被测峰高的 1 0 %处的峰宽， m m , 三次测2值均应符合要求。 4 . 3 . 3 质

12、盈范围测定 4 . 3 . 3 . ， 继4 . 3 . 2 . 2 后， 手动调到分 子离子峰或莱 个碎片峰的峰顶， 记取该峰质 f致M及其对应的 能 确切代表高 频电 压值的某一参数 V( 如四极杆直流电 压或用于反馈控制的 高频检波输出电压) 。 4 . 3 . 3 . 2 手动调到质量范围上限， 记下对应的参数值 临 。 4 . 3 . 3 . 3 计算: MV, e_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ 二 . . . . . . . . . . . . ， 、一 、 M 、 二二 气 : 升 ， ， ， 一 丈 口 。 一 V. 式中

13、: M, 质t范围上限， u。 4 . 3 . 3 . 4 用测试革内本底或送人的氢气， 以能扫出质f l u 或 2 u的峰为质量范围下限符合要求。 4 . 3 . 4 灵敏度测定 4 . 3 . 4 . 1 将测试系统的进祥管和测试罩抽至极限压强。 4 . 3 . 4 . 2 将氮 气送人进样管内， 调节 微调阀， 向测 试罩内充 人氮气， 使电 离计指示压强比 极限压强高一 至二倍。 4 . 3 . 4 . 3 扫描并观测氮分子离子峰， 按制造厂产品说明书， 设定和调节仪器的有关控制， 在保证 1 0 %烽 高定义的 分辨率达到2 8 - 3 5 的 前提下 使峰最强， 记取此时2 8

14、u 峰的离子流I : 和电 离计指 示压强P , 4 . 3 . 4 . 4 调微调阀， 使电离计指示压强再增高一至 十倍卜 但不允许高于2 x 1 0 一 P a ， 记取压强P , e , i : u 峰的离子流石。 4 . 3 . 4 . 5 计算: 、 二 ( 1 2 - 1 CP 2 - P I 式中 :S 灵敬度 , A/P a; C电离计的校正系数， 见附录A , 4 . 3 . 4 . 6 对于 用高增益电子倍增器接受的仪器， 可用 本房2 8 u 峰测出 电子倍增器的增益， 再与法拉第筒 接受的 灵敏度相 乘， 得到电子倍增器接收的仪器 灵饭度4 注: 无 法 拉 第筒 的

15、仪器 . 可 用 改 变 离 子 潭 灵敏 度的 方 稗 侧 试 4 . 3 . 5 最小可俭分压 强 根据仪器的最小可检分压强的高 低采用下述两种 方法之一进行测 定: a )方法A ( 4 . 3 . 5 . 1 一 4 . 3 . 5 . 9 ) 适用于最小可 检分压强高于1 0 一 ， P a 的仪 器; b ) 方法B ( 4 . 3 . 5 . 1 0 一 4 . 3 . 5 . 1 3 ) 适用于 最小可检分压强低于1 0 - 0 P a 的 仪器。 4 . 3 . 5 . 1 继4 . 3 . 4 . 4 后， 关闭微调阀， 使侧试革恢复 极限压强， 开启低真空阀抽出进样管内的

16、氮气。 4 . 3 . 5 . 2将氖气充人进样管， 调节微调阀， 向测试罩内充人氖气， 使电离计指示压强比极限压强增高一 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册, 即可下载 J B/ T 9 3 6 3 -1 9 9 9 至 二倍。 保持4 . 3 . 4 调定的 参数 扫描并记录氖 分子离子峰， 记取2 0 u 峰的 离子流1 , 和电 离计指 示压强P 4 . 3 . 5 . 3 调微调阀， 使电离计指示压强再增高一至十倍， 但不允许高于2 x 1 0 “ P a

17、 ， 记取压强P: 和 2 0 u 峰的 离子流1 2 0 4 . 3 . 5 . 4 计算: 、 ( N O 二 ( 1 2 - 1 1) 3 H. C . 一 . . . ( 4 ) U . S 气 了 ， k r 7 一 厂 V 式中:S ( N e ) 仪器 对氖气的 灵敏度， A / P a ; S . 电 离 计 对 氖 气的 相 对 灵 敏 度， 见 附 录A ; 0 . 9 0 9勺N e 同位素的相对丰度。 4 . 3 . 5 . 5 在最慢扫描速度、 最灵敏的a程和保证峰高下降不超过 0 a 的响应时间条件下， 扫描并记录2 1 N , 同位素峰， 记录峰高 HZ : 。

18、4 . 3 . 5 . 6 手动调到z 1 N e 和-NP两同位素峰之间的谷上。 4 . 3 . 5 . 7 关闭 微调阀， 使测试罩内 恢复极限 压强， 记取压强P o . 4 . 3 . 5 . 8 用记录仪记录仪器输出S m in ， 按每分钟一段分五段， 记取每段的峰 一 峰值( 图 2 ) ， 五个峰 一 峰值的 平均值即为噪声。 注: 在测定噪声的 v a i。内. 允许扣除三次最大偏离。 图 2 噪声测盘 4 . 3 . 5 . 9 计算: 一 尸 二 月 k C H 2 S 式 中:P . e最小可检分 压强， P a ; 0 . 0 0 2 5 7 -“ N e 同位素的相

19、对丰度; N 噪声， nnn 。 4 . 3 . 5 . 1 0 继4 . 3 . 5 . 1 后， 再向 进样管充 人干燥空 气到1 0 = P a 一 1 0 3 P a ， 调节徽调阀向测试罩内 进样， 使总压 强比极限压强商一个数t级以上。 4 . 3 . 5 . 1 1 在最馒扫描速度、 最 灵敏的 A程 和保证峰高下降 不超 过1 0 %的响 应时间 条件下， 扫 描并记录4 H e 同 位素峰， 记录峰高H 。 和电 离计 指示压强P ， 并 按4 . 3 . 5 . 1 - 4 . 3 . 5 . 4 测定仪器对氮的 灵敏度S ( H e ) o 4 . 3 . 5 . 1 2

20、 手动调到 无峰位 置， 关闭微调阀使测试罩内 恢复极限 压强， 按4 . 3 . 5 . 8 规定测定噪声。 4 . 3 . 5 . 1 3 计算: ， 一 5 .2 x 10 -6 P N S (H e)fl a C M . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 6 ) 式中: 5 . 2 x 1 0 - 6 氮气在空气中的体积比; 月 a 电离计对空 气的 相对灵敏度， 见附 录A , 4 . 3 . 6 稳定性测定 标准分享网 w w w .b z f x w .c o

21、 m 免费下载 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册, 即可下载 J B/ T 9 3 6 3 - 1 9 9 9 4 . 3 . 6 . 1 同4 . 3 . 4 . 1 , 4 . 3 . 6 . 2 将氮 气充人 进样管内， 调节微调阀， 向测试罩内 进样， 使压强增高约两个数琶级， 但不允许高 于 2 x 1 0 - P a。 4 . 3 . 6 . 3 在保证对氮 气分子 离子峰的分辨率达到2 8 - 3 5 的 前提下， 调节氮气流A并 选择输出 t程，

22、使 峰高约占 记录仪2程的8 0 % 。 4 . 3 . 6 . 4 自4 . 3 . 6 . 3 结束算起， 稳定 2 h 后 ， 再开始每 2 0 m in扫描一次氮气分子离子峰， 4 h 内共扫描 1 3 次， 同时记取每次测试罩内的压强。 4 . 3 . 6 . 5 计算: ， _ 丝， 二 丝 迪、 l m % ， . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 7 l 一” H . .+H . ”- - 一 式中: S6 峰高稳定性， % ; H-1 3 次中的 最大峰高, n u n ; H二

23、 . -1 3 次中的最小峰高， m m. 注: 如压强波动， 峰高应按线性修正。 4 . 3 . 6 . 6 同4 . 3 . 2 . 1 和4 . 3 . 2 . 2。 4 . 3 . 6 . 7 手动调到分子离子峰或某个碎片离子峰 ( 质It .h f )的峰顶， 稳定I h 后， 微调到峰顶并记取 4 . 3 . 3 . 1 规定的参数 V . ， 以 后每2 0 m i n 微调找到峰顶， 同时记 取对应的参数 V . , 4 h 内 共得到1 3 个值。 4 . 3 . 6 . 8 计算: 2( V。 二 一V. ) M V二 二 +V . , ( 8 ) 式中: S .峰位!稳定

24、性， u; V， V. 1 3 次中第一次记取的参数值, V : 其余 1 2 个参数值中与 V -偏离最大的一个， v 。 4 . 3 . 7 最高线性工作压强 4 . 3 . 7 . 1 按制造厂的 规定， 设定仪 器的发射电流。 4 . 3 . 7 . 2 按4 . 3 . 4 . 1 一 4 . 3 . 4 . 5 的 规定( 除发射电流外) 测定仪器的灵敏度S . 4 . 3 . 7 . 3 调 节 微调 阀 ， 使 测 试 翠 内 压 强 不 低 于仪 器 的 最 高 线 性 工 作压 强， 记 取 压 强 和 峰 高， 按 公 式( 3 ) 计 算灵敏度 S , 4 . 3 .

25、7 . 4 计算: S一S a ” = S x1 印% . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 9 ) 式中: a P 最商线 性工作压强下的 灵敏度与线性区灵敏 度的 偏差， % 。 a ， 小于5 0 %时， 符 合要求。 4 . 3 . 8 最高烘烤沮度 4 . 3 . 8 . 1 用仪器配备的加热器或 其它方式对四极探头加热， 同时用温度计测量四 极探头的外壳表面的 温度。 4 . 3 . 8 . 2 当温度上升到仪器规定的 最高 烘烤温度时， 控 制加热器， 在此温度下保持2 h ， 然后停止加热， 使四极探

26、头自然冷却到室沮。 4 . 3 . 8 . 3 按4 . 3 . 2 的 规定测定分辨率， 仍应符合要求， 且无泄偏现象。 4 . 3 . 9 扫描速度 4 . 3 . 9 . ， 最馒扫描速度是记录仪上出现两个已 知峰的 时间间隔的测定方法， 按下式 计算: 一 S护 T孚 一 r， M ，一M I 式中: S r 扫描速度， s / u ; T, 出现第一峰的时间， 。 ; 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册, 即可下载 J B / T 9 3 6 3 -1 9

27、 9 9 _ T , 出现 第二峰的时间， s ; M: 一= 第 卜个峰对应的质最数， u; M2 第二个峰对应的质童数, u 。 S ， 允许在t 1 0 %以内 符合要求。 4 . 3 . 9 . 2 向测试罩内送人空气。 4 . 3 . 9 . 3 用比 最快扫描速度慢十倍的速度扫描并在 示波器上显示质盆2 8 u 一 3 2 u 的峰， 记取2 8 u 峰的峰 高H, 。 4 . 3 . 9 . 4 用仪器规定的最快扫描速度扫描质f 2 8 4 - 3 2 u 的峰， 并用示波器 梭验扫描速度与最快扫描速 度的偏 差应在t 2 0 %以内; 同 时， 记取2 8 u 峰的 峰高H,

28、, H 应大于0 . 9 H, o 4 . 4 运输、 运输 贮存环境试验 按,T B / M3 2 9 进行。 4 . 5 仪 器的成套性 用目视检查。 5 检验规则 5 . 1 仪器检验分出r - 检验和型式检验。 5 . 2 仪器进行检验时， 检验用的测试系统应符合附录A的规定。 5 . 3 出厂检验 每批抽取二至五台按3 . 2 , 3 . 3 和3 . 4 的规 定进行全性能检验。 如检脸 合格， 其余按3 . 2 , 3 . 3 , 3 . 4 . 卜 3 . 4 . 4 和3 . 4 . 7 进 行检验， 合格后， 签发合格证方能出 厂; 如检验不合格， 则其余 产品 全检。 5

29、 . 4 在下列情况下进行型式检验: a ) 试制的新产品; b ) 产品在设计、 工艺或使用材料作重大改变时; 。 、 不经常生产的产品再次生产时; d ) 成批生产的产品每三年进行一次; e ) 出r - 检验结果与上次型式检验有较大差异时; f ) 国家质量监督机构提出进行型式检验的要求时。 5 . 5 型式检验的仪器应从出厂的一批产品中傲机抽取一 台进行检验，检验前对仪器性能进行全面检 查。 型式检验中如出现 不合格的项目 时. 应对该样品进行分析， 找出原因， 在采取措施和消除故障后， 从 该 项 起继 续 进 行检 脸 。 同 时在 同 一 批仪 器中 加 倍 抽 取 样品 对 不

30、合 格 的 项目 进 行 单 项 复 脸， 如复 验 结 果 合 格， 则 应确认型式检 验合 格; 如果夏验结果不合 格， 则认为型 式检验不合格。在整个检验过程中， 允许复验一 次。 6 标志、 包装、 运翰、 贮存 6 . ， 每台 仪器 都应该有铭牌， 铭牌上应标出以下内容: a ) 仪器型号及名称; b ) 制造厂名、 商标; c 仪器制造日期及编号r 6 . 2 仪器包装木箱应用油墨或油漆刷写下列标志: a ) 仪器型号及名称号 b ) 制造厂名; c ) 体积: 长x宽x高; 毛重和净重; 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 免费标准下载网( w

31、 w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册, 即可下载 J B/ r93 63- 99 9 d )育牙 硒豆蔽 丽 了 怕 湿 介 、 “ 向 上 ” 等字 样 或 相 应图 案 e ) 收货单位及地址。 6 . 3 仪器包装按 J B / r 1 5 4 6 4 中防潮、 防震规定。 6 . 4 随同仪器的技术文件包括: a ) 装箱单; b ) 附件、 备件清单; c )合格证明书; d ) 使用说明书; e ) 出厂检验有关图谱( 包括极限压 强下的 残气质谱和含气样的全谱) 。 6 .

32、 5 仪器在运输和贮存时必须防止受到剧烈冲击、 雨淋及曝晒。 6 . 6 仪器存放在仓库里， 应原箱存放保管， 仓库环境温度在0 一 4 0 cC， 相对湿 度不大于8 5 % ， 同时不应 有能引起仪器腐蚀及电气绝缘性能降低的有害物质存在。 7 仪器保证期 在 用户 遵守保管和使用规则的条件下， 从制造厂 发货给用户之日 起1 4 个月内， 产品因制造质量不良 而发生损坏或不能正常工作时， 制造厂应无偿地为用户修理产品或更换零件。 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注

33、册, 即可下载 J B/ T 9 3 6 3 -1 9 9 9 附录 A ( 标准的附录) 测试系统 A l 测试系 统的基本构成 测试系统主 要由测试策、 高真空泵、 微调网、 进样管、 样品阀、 低真 空阀、 旋片x空泵、 吸附阱, B -A 型 电离真空计、 热传导真空计、 侧试用气 体及箱助月f仪表等部分 组成， 其 原理框图见图A l , 注: 如高真空系采用油扩徽泵. 须在泵与侧试不之间加冷讲。 四极探头侧试翠B 一 r规头.润阅进样曹样品阔 侧试用气牛 图A l测试系统原理框图 A 2 对主要部分的要求 A 2 . 1 测试罩 测试罩的结构如图A 2 所示， 罩体为圆往 形， 内

34、 直径为D, 罩高为1 . 5 D ， 保证其体积与技 侧试四汲探 头的总体积之比大于2 0 ; 在罩底法兰部位装一块薄的金，平板， 板中心 有一个直径为d的团形小孔 对 空气的流导为2 Vs 一5 1 1 3， 且与小孔下方的抽速之比小于 1 / 5 0 ; 距罩底高0 . 5 D的部位， 配备3 个 一 4个 法兰， 分别安装 B -A规头， 四极探头( 1 个一2 个) 和进气管B 一A规接口法兰与四极探头连接法兰互成 9 0 0 ， 同时B -A规接管具有大于2 5 1 / 5 的流导; 四 极探头的 联接法兰应 符合G B / f 6 0 7 1 的规定 法兰及联 接管的流导大 于5

35、 0 1 / s ， 进气管弯成直角， 奄管垂直部分的轴线沿罩的中心 轴， 其出 气口 距罩的顶部为 0 . 5 D. 测试罩由不锈钢制成，整个罩子连同联接的B -A规头要能经受3 0 0 9 0 - 4 0 0 的烘烤去气，其极限 压强低于 5 x 1 0 6 P a。 A 2 . 2 高真 空泵 祸轮分子泵或油扩散泵， 其抽速度保证在测试罩小孔下方的抽速与小孔的流导之比不小于5 0 ， 泵的 极限压强应能满足测试对测试罩的要求。 A 2. 3 旋 片直本泵 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n

36、 e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册, 即可下载 J B/ T 9 3 6 .一1 9 9 9 抽速大于 1 vg， 极限压强达到 I x 1 0 - P .。 规头联接法兰 图A 2测试罩的结构 A 2 . a s -A型电离的真空泵 测最压强范围 1 0 - P a 一1 0 - 0 P a。须经计It部门校准， 按下式计算: 。P . ， 犷 1. = 下 爪 万 ， . 门 二 “ 二 . . . . . . . . . . 母 L A 1 P - 式中:P, o真空压强, P a ; P . ,电离计对气体m的指示压强，

37、 P a; C电 离计的 校正系数; 月 二 气体m 相对氮气的 相对灵敏度。 如果条件所限， 电 离计只 对氮气校准过， 则不同气体的 相对灵敏度( R . ) 可取表A 1 所列值。 表 AI 气体拭奴空气 19 . 0. 1 80 . 3 20. 9 8 A2 . 5热传导真空计 热偶真空计或皮拉尼真空计， 测a范围1 0 P a 一1 0 - P a 。 A2 . 6 微调阀 可调流盆范围 I X 1 0 - ro P a . m / a - I x 1 0 - P a . m / s . 具有良 好的流It稳定 性， 可 在 2 0 0 一 3 0 0 1 ; 免费标准下载网( w

38、w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册, 即可下载 J B / r 9 3 6 3 - -1 9 9 9 烘烤。 A 2 . 7 测试用气体 氮气: 纯度优于9 9 %; 氖气: 纯度优于9 9 %; 空气: 无氮气排放源 干燥的空气; 其它气体: 根握被侧仪器的质量范围选 定， 如组气、 克气、 红气、 T( 气或全氟三丁胺等。 A 2 . 8 辅助测呈仪表 记录仪: 自 动平衡记录仪， 行程时间 不小于i s , 指示基本误差士 0 . 5 % 6 数字电压表: 5 位; 示波器: l o M A z。 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 免费标准下载网( w w w . f r e e b z . n e t ) 无需注册, 即可下载