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1、I CS 2 3 .1 60 J 78 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 J B/ T 9 1 2 5一 1 9 9 9 立 式 涡 轮 分 子 泵 V e r t i c a l 加r b o m o l e c u l a r p u mp 1 9 9 9 - 0 7 - 1 2发布 2 0 0 0 - 0 1 - 0 1实施 国 家 机 械 工 业 局发 布 J B/ T 91 25 - 1 999 前言 本标准是对Z B J 7 8 0 1 5 . 1 -8 9 立式涡轮分子泵 型式与基本参 数 和Z B J 7 8 0 1 5 .2 -8 9 立式 涡轮分子泵 技术
2、条件 进行的 修订。 修订时， 对原标准作了编辑性修改， 主要技术内容没有改变。 本标准自 实施之日 起代替Z B J 7 8 0 1 5 . 1 -8 9 和Z B J 7 8 0 1 5 .2 -8 9 0 本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。 本 标准 起草单位: 沈阳 真空技术研究所、南光机器厂。 ， 本标准主要起草人:李玉英、李春影、冯慧生。 本标准于 1 9 8 9 年首次发布。 中华人 民共和 国机械行业标准 JB/ T 91 25- 1 9 99 立 式 涡 轮 分 子 泵 代替 Z B J 7 8 0 1 5 . 1 一 8 9 ZB 1 7 8 01 5 . 2
3、一9 Ve r t ic a l t u r b o mo l e c u l a r p u mp 1 范围 本标准规定了 立式涡轮分子泵的型式。 基本参数， 技术要 求， 试验方法， 检验规则。 标志、 包装、 运输和贮存等。 本标准适用于具有前级泵 、变频电源的立式涡轮分子泵 ( 以下简称泵 ) o 2 引 用标准 下列标准所包含的条文， 通过在本标准中引 用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所 示版本 均为有效。 所有标准都会被修订， 使用本标准的各方应探讨使 用下列标准最 新版本的可能性。 G B 1 9 1 -1 9 9 0包装储运图 示标志 G B / C 4 9 8 2 -1
4、 9 8 5夹紧型 真空快卸法兰 G B / T 6 0 7 0 -1 9 9 5真空法兰 G B / T 6 0 7 1 -1 9 8 5超高真 空法兰 G B / T 6 5 8 7 . 1 -1 9 8 6电 子测量仪器环境试验总纲 GB/F 6 5 8 7 . 2 -1 9 8 6电子测 量仪器 温度 试验 G B / T 6 5 8 7 . 3 -1 9 8 6电子测 量仪器 湿度试验 G B / T 6 5 8 7 .4 -1 9 8 6电子测 量仪器 振动试验 G B / T 6 5 8 7 .5 -1 9 8 6电子测 量仪器 冲击试验 G B / T 6 5 8 7 . 6
5、-1 9 8 6电子测 量仪器 运输试验 G B / T 7 7 7 4 -1 9 8 7涡轮分子泵 性能测试方法 G B / T 1 3 3 0 6 -1 9 9 1标牌 J B / T 5 2 7 8 -1 9 9 1铜丝密 封可烘烤真空法兰 J B / T 8 1 0 6 -1 9 9 9容积真空泵噪声测量方法 J B / T 8 1 0 7 -1 9 9 9容积真空泵振动测量方法 3定义 本标准采用下列 定义。 3 . 1 抽气速率 泵 在正常工作条件下， 单位时间内 被抽气体通过测试罩流经分子 泵进气口 的体积，即气体流量与 测试罩规定位置测得的平衡压力之商。 3 . 2 极限压力
6、国家机械工业局 1 9 9 9 - 0 7 - 1 2批准 2 0 0 0 - 0 1 - 0 1实施 1 JB/ T 91 2 5- 1 99 9 泵在规定的工作条件下， 不向 测试罩引人气体. 泵壳和测试罩经烘烤后 4 8 h内在测试罩规定位置 测得的平衡压力。 3 . 3 压缩比 通过泵进气口的 气流 量为零， 被抽气体在前级区的分压力至少占 全压力的 9 0 %以上， 泵的前级压 力与进气口 压力之比 为分子泵对该气体的压缩比 。 3 . 4 起动时间 从接通电源起到泵转速达到额定转速的 9 0 % 所需的时间。 4 型式 4 . 1 型号表示方法 口一口 抽气速率，Us 进气口通径，
7、m m 立式 涡轮分子泵 .用 F表示 4 . 2 标 记示例 进 气口 通径为 1 0 0 m m， 抽气速率为2 2 0 L / : 的立式涡轮分子泵， 标记为: F - 1 0 0 / 2 2 0 5 甚本参数 泵 的基本参数如表 1 所示。 表 1 型号 F -1 0 0 / 1 1 0F -1 0 0 / 2 2 0F -1 6 0 / 4 5 0F - 2 5 0 / 1 4 0 0F -3 2 0 / 2 00 0F - 4 0 0 / 3 5 0 0 抽气速率 U s 1 1 0 2 2 04 5 01 4 0 02 0 0 03 5 0 0 极限压力 P a 1 0 压缩比
8、对N ,1 0 ,1 a 3x1 护9x1 护 1 0,1 0 0 1 对H ,5x 1 护2 . 5 x 1 0 6 . 3 x1 护4 x1 护1 0, 起动时间 m m 3 5 1 0 2 030 振动 卜m 0 . 5 噪 声 L d B ( A) 7 0 7 2 进气口通径 m m 1 001 6 02 5 03 2 040 0 JB/ T 91 25- 1 9 99 表 1( 完 ) 型号 F-1 0 0 / 1 1 0F - 1 0 0 / 2 2 0F -1 6 0 / 4 5 0F - 2 5 0 / 1 4 0 0F -3 20 / 2 0 0 0F - 4 0 0 / 3
9、5 0 0 出气门通径 m m 2 540 6 3 I 0 0 电源 ”输入电压 V 2 2 0 3 1 0 % ( 5 0 Hz )或3 8 0 t 1 0 %( 5 0 H z) 电源消耗功率 W 2 2 0 4 4 0 5 0 0 电源起动功率 W 5 0 0 2 0 0 0 沙 曰 电源有以下二种类型: a) 电子模拟式自动变频电源; b ) 微机程控式自 动变频电源; c )电机变颇式电源。 6 技术要求 6 . 1 泵的主要技术性能应符合表 I 和 按规 定程序批准的 设计图样 要求。 2 泵在下列环境条件下应能正 常工 作: a ) 环境温度为 5 - 4 0 C; b ) 空气
10、相对湿度小于8 5 %; 。 ) 冷却水进水温度不高于2 5 9 0 ; . 3 泵应避免抽除带粉尘、 腐蚀性或 爆炸性气体。泵在正常运转时不允许直接引 人大 气，不允 许有强 烈径向振动。 6 . 4 为了除 气目 的， 对泵壳、 测试罩和真空测量规 管进行烘烤。 其烘烤温度不得超过以 下规定: a ) 泵体及泵壳上法兰: 1 2 0 C ; b ) 测试罩或真空容器: 3 0 0 C; c ) 真空测量规管: 4 0 0 T. 6 . 5 推荐 前级泵应符合表2 要求: 表 2 分子泵的抽气速率 Us 1 1 02 2 0 45 01 4 0 02 0 0 03 5 00 前级泵的抽气速率
11、 Us 3 2343833 034 0- 7 0 前级压力 Pa 1 0- 1 J B/ T 91 2 5-1 99 9 6 . 6 泵的进气口连接法兰及密封圈应符合 G B / T 6 0 7 1 和 J B / T 5 2 7 8的规定。 6 . ， 泵的出 气口 连接法兰及密封圈应符合G B / T 4 9 8 2 和G B / T 6 0 7 0 的规 定。 6 . 8 为了防 止异物落人泵内， 泵的进气口 应 设置耐腐 蚀金属过滤网. 并加以固定。 6 . ， 泵应在明 显位置设置主机运转方向的 指示标牌。 6 . 1 0 泵应采用专用油、 脂润滑， 其饱和蒸气压在常温下不得高于3
12、x 1 0 - 6 P a . 6 . 1 1 冷却水流量应符合设计要求，_1 .具有 保护 装置。 6 . 1 2 泵的电动机和烘烤装置对泵壳应有可靠的绝缘措施， 其绝缘电阻不小于2 Mi l o 6 . 1 3 电源 输出电流不应大于设计图样规定值， 具有保护措施。 6 . “ 电源 输出的三相线电压应对称， 其不对称 性不得超过士 0 .5 V o 6 . 1 5 主 机和电源在正常工作条件 下的 平均无故障工 作时间 ( M T B F ) 应达到以下要求: 主 机:38 0 0 0 h ; 电 源:3 2 0 0 0 h o ， 试验方法 ， . 1 极限 压力 测试 极限压力的测试
13、应符合 G B / T 7 7 7 4的规定。 7 . 2 压缩比测 试 7 . 2 . 1 压缩比的 测试装置， 除符合G B / T 7 7 7 4 规定 外，应 设置质量数为卜1 0 。 的其有足 够分辨率的 质谱分压计。 7 . 2 . 2 压缩比 测试所用气体为氮气( N 2 ) 和氢气 ( H z ) ， 其纯 度应在9 9 . 9 % 以 上。 7 . 2 . 3 压缩比 的测试方法应 符合G B / r 7 7 7 4 的 规定。 测试氮气的 压缩比时， 还应采用质谱分压计进 行监测。 ， . 3 抽气速率测试 抽气 速率的测试应符合G B / T 7 7 7 4 的规定。 7
14、 . 4 起动时间测试 起动 时间 测试应符合G B / T 7 7 7 4 的规定。 7 . 5 振动测试 ， . 5 . 1 泵应牢固地固定在刚性测试架上，测试架的重量应大于被测泵重量的 4 倍。 7 . 5 . 2 一 泵的出气口 与前级泵之间应采用金属波纹管或真空橡胶软管连接。 7 . 5 . 3 泵正常运转1 h 后， 按J B / T 8 1 0 7 规定方 法测量泵的振动。 测量位置为图1 所示A, B , C 、 D E 、 F 各点。 JB/ T 91 25- 1 99 9 测 试 架 图 1 7 . 6 噪声测定 7 . 6 . 1 泵的安装应符合 7 . 5 . 1 和7
15、 .5 . 2 的要求。 ， . 6 . 2 泵正常运转 1 h 后， 前级泵停止运转， 立即 按J B / T 8 1 0 6 规定方法测量泵的噪声。 ， . ， 转速测试 ， . ， . 1 泵的安装应符合7 . 5 . 1 和7 .5 .2 的要求。 7 . 7 . 2 泵正常运转 1 h 后测试泵的转速。 测量转速时， 用测振仪在泵的 上下法兰沿径向 圆周上各测3 点振幅峰值，并以最大峰值的频率表示泵的转速值。 ， . 8 电源测试 7 . 8 . 1 电源与主机配套试车时， 用常规仪器检查输出三相线电压是否符合6 . 1 4 的 要求。 ， . 8 . 2 电源与主机配套试车时， 用
16、常规仪器检查电源各参数是否符合设计图样要求。 7 . 8 . 3 电源的环境试验按 G B / T 6 5 8 7 . 1 - -6 5 8 7 . 6 -1 9 8 6 规定的第II组类型进行试验。 ， . ， 平均无故障工作时间 试验 主机和电源的平均无故障工 作时间 用近 3年内 试验报告或用户使用报告 ( 连续或累计运转时间) 考核。 ， . 1 0 连续 运转试验 主机与电源配套试车后， 应进行连续5 0 0 h 运转试验。 8 检验规则 8 . 1 泵 ( 包括主 机和电源) 必须经过制造厂检验部门检验 合格， 并具有 质量合格证方能出厂。 8 . 2 泵的 检验分出 厂检验和型式
17、检验。 8 . 2 . 1 出 厂检验必须逐台进行， 出厂检验项目 包括: a ) 外观质量; b ) 连接尺寸及密封面质量; c ) 安全保护装置的可靠性; d ) 极限 压力; e ) 振动; J B汀91 25 - 1 99 9 f ) 电 源参数; 9 ) 产品成套性。 8 . 2 . 2 凡新试制的产品或在产品结构、 制造工艺、使用材料等方面有重大改变时， 应进行型式检验。 型式检验项目包括: a )出厂检验的所有项目; b) 压缩比; c ) 抽气速率; d) 起动时间; 。 )噪声; f )环境试验; 9 ) 运 转试验。 8 . 2 . 3 型 式检验: 每批抽5 %， 但不少
18、于2 台。 如不合格， 应加倍抽检。 再不合格， 检查全部产品。 ， 标志、包装、运输和贮存 9 . 1 每台 泵应在明显位置装有产品标牌， 标牌的型式及尺寸应符合G B / T 1 3 3 0 6 的规定。 产品 铭牌至 少应注明以下内容: a ) 产品型号及规格; b ) 制造厂厂名; c) 产品编号及制造 日 期。 ， . 2 泵包装前应排除主机冷却水管内的积水和油杯内的 润滑油， 并将泵的进气口 和出气口用盖板封 严。 9 . 3 主 机和电源包装时， 先用塑料薄膜罩封， 再用发泡塑料封装后装人包装箱内; 或用塑料薄膜罩封 后直 接装人包装箱内用软质材料填充， 并加以固定封牢。电源用塑 料薄膜罩封时应放入干燥剂 ( 如硅 胶 ) 。 ， . 4 包装箱外应有贮运图 示标志，其 标志应符合G B 1 9 1 的 规定。 9 . 5 包装箱应适合铁路、 公路、 内 河航运和航空运输。 在运输和存放过程中不允许有剧烈振动和倒置。 如对包装箱有特殊要求，按有关规定办理。 ， . 6 主机和电源应存放 在通风条件良 好的 室内。 泵的 贮存期一般不超过6 个月， 如 超过6 个月， 应定 期开箱检查。 ， . ， 每台泵出厂时应附有下列文件: a ) 产品说明书; b )产品合格证; c ) 装箱单。