《JC建筑材料标准-JC 226-81 QSG3透明石英玻璃钳锅.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《JC建筑材料标准-JC 226-81 QSG3透明石英玻璃钳锅.pdf（3页珍藏版）》请在三一文库上搜索。
1、中华人民共和国建筑材料工业部 飞子.斗.十1十+ 部标准 厂十一 十一 十一 十一 十一 十一 十一 十一 十 + 牛 牛 J C 2 2 6 一8 1 Q S G 3 透明石英玻璃柑锅 、_ 、_ +_ 十_ 十， 十_ 、_ 、夕 本标准适用于半导体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃柑竭。 本增祸采用天然石英熔制成坯体， 并在其内表面涂一层高纯人造石英玻璃层 一、 技术要求 1 . 物理、 化学性能指标 ( 1 )化学成分 a 内涂层化学成分 铝、 钙、 镁、 钦、 铜、 铁、 钻、 镍、 锰、 硼、 钾、 钠、 锤十三个杂质元素的总含量不得大于。 . 0 0 1 0 0 0 其中:铝(5
2、X1 0 - 4 %;铜簇0 . 1 X1 0 - , %; 铁簇0 . 5 X1 0 - 4 %;硼提0 . 1 X 1 0 - 4 ; 钾(1 X1 0 - , %;钠成1 X1 0 - 4 %0 b .堵涡坯体化学成分 铝、 钙、 镁、 钦、 铜、 铁、 钻、 镍、 锰、 硼、 钾、 钠、 锉十三个杂质元素的总含量不得大于。 . O l 0 o o 其中: 铝镇6 0 X 1 0 - 4 % ;铜簇0 . 1 X1 0 - 4 0 0 ; 铁蕊5 X1 0 - 月 %;硼镇0 . 3 X 1 0 - 4 写; 钾(4 X1 0 - 4 %;钠镇4 X1 0 - 4 %0 ( 2 ) 热稳
3、定性 试样在1 1 0 0 C至2 0 C 温度急变下试验三次， 不产生裂纹。 ( 3 ) 抗结晶性 试样在 1 2 0 0 C温度下恒温半小时， 不允许出现直径大于3毫米的析晶白点， 0 . 5 -3毫米的析晶白 点， 每 1 0 0平方厘米不得超过 1 0个。 ( 4 )涂层厚度应均匀， 折合重量应符合表 1 规定。 表 1 外径D 毫米 涂 层 重 t 克 外径D 毫米 涂 层 重 t 克 8 0 1 0 6 4 . 5 9 0 1 1 1 4 5 . 5 1 0 0 1 3 0 7 . 0 2 .外观指标 ( 1 )柑锅坯体部分( 见表 2 ) . 中华人民共和国建筑材料工业部发布 建
4、 筑 材 料 科 学 研 究 院提出 1981年 3月 1日实施 碗筑材料科学研究院起草 J C 2 2 6 一 8 1 表 2 项目 气 泡 直径 毫米 弧度部分0. 3- 0 . 4 直线部分0 . 3 - 0 . 7 允许数且( 个/ 厘米2 )(6 暗 疤 长径 毫米 弧度部分1 - 4 直线部分2 - 4 允许数量( 条/ 1 0 0 厘米z )蕊4 色 斑 丝状长径( 毫米)0 . 2 - 1 . 5 点状直径( 毫米)0. 2- 0 . 8 允许数量( 个/ 1 0 0 厘米x 1 簇4 透明顺粒允许数量( 个/ 1 0 0 厘米z 1簇3 0 波波( 毫米) 簇0 . 3 注:
5、 缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。 非圆形缺陷的直径均按算术平均值计 ( 2 ) 柑祸口部不得有缺口， 不得有深、 宽大于4毫米的表皮崩落。 ( 3 )柑塌内表面不允许有色斑沾污和析晶。 ( 4 ) 增祸内表面涂层上每 1 0 0 平方厘米中允许透明颖粒( 直径在 0 . 5 0 . 7 毫米) 为 1 0个。 二、 形状与规格尺寸 3 . 半导体用透明石英玻璃增纲的形状与规格尺寸应符合下图及表 3规定。 单位: 毫米 表 3 外径 D 高度 H 底 部 半 径 R 厚 度 范 围 同一横截面 厚度公差 8 0 _ 0 : s 9 0 - 批 1 0 0 = 丫 空 1 0 6 Z 了 宁 1
6、 1 4 + 丫 1 1 3 0 , 丫 1 6 0 士 2 7 0 士2 8 0 士 3 9 0 士 3 7 5 士 3 1 1 0 士 3 D-1 2 D- 1 2 D- 2 2 D-2 2 D-2 2 D-2 2 2 . 0 士0 . 5 2 . 0 士0 . 5 2 . 3 士0 . 5 2 . 3 士0 . 5 2 . 3 士0 . 5 2 . 5 士 0 . 5 0 . 3 0 .3 0 . 3 0. 3 0 . 3 0 . 4 4 9 4 J C 2 2 6 一8 1 三、试验方法 4 . 化学成分 按J C 1 8 6 -8 1 ( 石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法 中的规定进行 5 .热稳定性 按J C 1 8 7 -7 3 ( 石英玻璃热稳定性检验方法 中的规定进行。 6 . 抗结晶性 按J C 1 8 8 -7 3 ( 石英玻璃抗结晶性检验方法 中的规定进行。 7 .气泡 按J C 1 9 0 -8 1 ( 透明石英玻璃气泡、 气线检验方法 中的规定进行。