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1、中华人民共和国国家计量检定系统 J J G 2 0 1 8 - 8 9 表面粗糙度计盘器具 1 9 8 9 年 6 月 2 2 日批准1 9 9 0 年 4 月 1 日实施 国 家 技 术 监 督 局 表面粗糙度计最器具检定系统 Ve r i f i c a t i o n S c h e me o f Me a s u r i n g I n s t r u me n t s f o r S u r f a c e Ro u g h n e s s J J G 2 0 1 8 -8 9 本国 家计 量检定系统经国 家技术监督局 于1 9 8 9 年6 月2 2日 批 准.并自1 9 9 0
2、年 4月1日起施行。 jig 草单位: 中国计量科学研究院 本检定系统技术条文由起草单位负责解释。 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 本检定系统主要纪草人: 毛起广 ( 中国 计量科学研究院) 参加起草人: 金良元( 中国计里科学研究院) 目录 计量基准器具 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 ) 计量标准器具 ， ， ， ， ， ， ， 4 ， 一( 2 ) 工作 计 量 器 具 ， ， ， ， ， ， 。 一 ( 2 ) 表面粗糙度计 量器具检定系统框图. . . . . . . . . . . .
3、 . . . . . . . . . . . . 一( 3 ) 二三四 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 刀C2 0 1 8 -8 9共3 页 第士 炙 表面粗糙度计量器具检定系统 本检定系 统规定了表面粗糙度R 二 和R , 参数为。 , 1 .8 0 p m以 及 R 。 参数为0 , 1 -1 0 u m范围内 的国家计量基准 所包含的全套主要计量 器具和主要计量学参数，从国家计量基准器具通过标准计量器具向工 作计量器具进行量值传递的程序，并指明误差和基本检定方法. 一计 通 基 准 器 具 表面粗糙度国家基准用于复现和保存粗 糙度 参数R ， 和R
4、， 在 0 , 1 - v 8 0 p m测量范围内以 及R 。 参数在。 , 1 - v 1 0 u m测量范围内 的长 度单位，通过计量标准器具向国内各生产和使用单位的工作计量器具 传递量值，以保证全国表面粗糙度量值的统一 国家基准由 下列全套计量器具组成: 有专用单色光源的干涉显微镜基准装置， 触针式表面粗糙度测 量系统，包括专 用微机系统、 连接硬件和成 套软件， 一组表面粗糙度基准样板和基准阶梯量块组. 国家基准保证:当测量微观不平度高度的极值参数R ， 和R 时，在0 , 1 -1 V _m范围 内，其未消除的系统误差 ( : )不超过 0 , 0 0 5 N m ，随机误差 (
5、单次测量的标准偏差a ) 不超过。 , 0 0 5 p m ; 在1 - - 8 0 I M范围内，s 不超过0 , 0 3 w m , a 不超过0 , 0 3 g m , 当测量微观不平度 轮 廓 算 术 平 均 高 度 R o参数 时，在 0 . 1 - 0 . 2 5 w m范围内，其未消除的系统误差 ( )不超 过。 . 0 0 5 W m，随机 误差 ( 单次测量的标准偏差o )不超过。 . 0 0 2 w m ;在0 , 2 5 - 1 0 W m 范围内 ， 不超过0 , 0 0 7 w m ,“ 不超过0 , 0 0 3 w m . 为了保证按 上述准确度复现表面粗糙度参数R
6、 , 以及R s , R 测 量的长 度单位，必须遵守国家基准的保管、使用规则和测量操作程 序。 共 3页第 2页 刀 G 201 8 - 8 5 二计 ， 标 准 器 具 采用表面粗糙度标准样板作为粗糙 度量值传递的主要计量标准器 具。标准样板的型式有两大类:一类为标准单刻线样板 ( 包括组成阶 梯高 度的阶 梯式实物标准) ， 单刻线沟 槽深度 ( 或阶梯高 度) 为。 . 1 - - - 8 0 P -范围 ，用作传递微观不平度高度极值参数R ， 和R 二 的标准器 具;另一 类为标准多刻线样板 ( 包括其他类似型式的用于校验触针式 仪器的校验样板) ，其R。 参数值在0 . 1 1 0
7、 w m范围，用作传递粗糙 反参数R 。 的标准器具.标准多刻线样板按其准确度和使用对象分为 一等和二等两个等级。 由 计量基准器具用直接检定法 分别检定各类型的标准样板。一等 标准多刻线样板可通过随机误差 ( a )不大于 1 %的 触 针 式仪器，用 比较法检定二等标准多刻线样板。 检定标准单刻线样板沟槽深度的不确定度d( 3 的，在。 , 1 . . , 1 G y m范围为士( 5 - v1 ) /,在1 -8 0 Ia m范围为土( 3 - 0 . 5 ) %. 检定一等标准多刻线样板R 。 值的不确定度d ( 3 0 ) ，在 0 . 1 0 . 2 5 W m范 围为 1 ( 5
8、 - v 3 ) %，在0 . 2 5 -v1 0 w m范 围 为 1 ( 3 - 0 . 5 ) %. 检定二等标准多刻线样板R : 值的 不确定度d ( 3 0 ) ，在。 . 1 - 0 . 2 5 W m范围为1 ( 7 - - - 5 ) %，在0 . 2 5 - 1 0 w m范围 为1 ( 5 .3 ) %. 为保证可靠地传递量值，标准样板工作区域内粗糙度参数值的均 匀性应有明确规定，并且必须遵守规定的检定方法、 程序和标准样 板 使用规则。 用允许 误差 ( )不大于士 7 % 的触针式仪器以 及其 他相应准确度 的仪器直接检定表面粗糙度比 较样块或表面粗糙度标准件。 三工
9、作 计 f 器 具 工作计 量器具包括:千涉显微式测里仪、 光切式测量仪、触针式 侧量仪以 及表面粗糙度比 较样块或粗糙 度标准零件等.各类标准样板 是检定这些测量仪器准确 度的主要工具。比较样块和标准件则用仪器 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 J J G 2 0 1 8 -8 9共 3 页第3页 直接检定。 工作计f器具的允许误差 ( )分别在1 ( 4 - 3 0 ) %范围。 枪定工作计 盈器具所伟的标准器具的不确 定度与工作计f器具 允 许误差之比 应不大于1 : 1 . 5 . 四衰面粗舫度计t贵共检定系统框田 表面粗糙度计量器具检定系统框图 表
10、面粗糙度国家基准 R d , R , 参数 0 . 1 - Il l . - 0 . 0 0 5户 m 口二0 . 0 0 5 p m I一8 0 P . - 0 . 0 3 A m 厅0 . 0 3 4 m 、R, 参敬 0 . 1 -0 . 2 5 1 + . s =0 . 0 0 5 u m 厅 = 0 . 0 0 2 林 m X0 . 2 5 一I O U . - 0 . 0 0 7 1 , m 叮 二 0 . 0 0 3 p m 计量基准器具 直接科量 r o t NA t 计 标准单刻线样板 沟植深度H值 0 . 1 - 1 量 1 -8 0u mum d二3(5一1) % d=士
11、( 3 -0 . 5 ) % 一等标准多刻线样板 R , 参数 0 . 1 - - 0 . 2 5 0 . 2 5 -1 0u mu m d二士( 5一3 ) % 6=1 o-o . ) Y , 标 直接侧量 直接g o /比较测量、 用 为l y的 触 针 式 仪 器之 堆 千移最徽式 i o 慢 仪 光 切 式 测 量仪 R 。 ，R s 参数 I 一 1 . 0 u m 器 R v , R s 参数 0 . 8一8 0 u m A= 2( 2 2 -5) % 二 止( 2 4 5) % 触引一 犬裹面 粗糙度测量仪 R. R, 参数 0 . 2 -8 0 u n , = 士4%吃 触针式
12、裹面 粗糙度测量仪 R a 参数 0 . 1 - 1 0 Wu a二 士 7 % 二等标准多刻线样板 R,参数 0 . 1 -0 . 2 5林 幻 1 0 . 2 5 - 1 0 Wn 6 - 士t - s ) 6 = 土( 5 -3 ) % 具 光 切式 测 量 仪 R u . R z 参 数 0 . 8 -8 0 u m A 二*- ( 2 4- 5) % 干涉显微式 测量仪 R , , R , 参数 0 . 1 一 1 . 0 I ) m A_ _ ( 2 2 -5) % 触针式表面 粗糙度测量仪 R y .刀 : 参舒 0 . 2-8 0 u m 二士4% 直接 测量直接 测量 表面粗糙度 比较样块 ( 或标准件) R. . R v . 0 . 1 - 8 0 u m R. : 0 . 0 5-2 0 A m A 二甜 % 触针式表面 粗糙度测量仪 R. 参数 0 . 1 - 1 0 u m 二 士 1 4叱 触针式表面 粗糙度测量仪 R. 参数 0 . 1 - 1 o u m 二 士2 3% 工作计量器具 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载