JJ.国家计量标准-JJG 740-2005 研磨面平尺检定规程.pdf

《JJ.国家计量标准-JJG 740-2005 研磨面平尺检定规程.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《JJ.国家计量标准-JJG 740-2005 研磨面平尺检定规程.pdf（25页珍藏版）》请在三一文库上搜索。

1、UU场 中华人民共和国国家计量检定规程 J J G 7 4 0 -2 0 0 5 研 磨 面 平 尺 Mi l l i n g S t r a i g h t E d g e s 2 0 0 5 一0 3 一 0 3 发布 2 0 0 5一0 9一0 3实施 国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局发布 JJ G 74 0- 2 0 0 5 研磨面平尺检定规程 J J G 7 4 0 - 2 0 0 5 V e r i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o f Mi l l i n g S t r a i g h t E d g e s 代 替 J

2、J G 7 4 0 - 1 9 9 1 40 、. 0. 0. o. o. 0- 一一 。- 一- 一 0o . 0. o. 本规程经国家质 量监督检验检疫总局于 2 0 0 5年 3月 3日批准 ，并 自 2 0 0 5年9 月3日 起施行。 归 口 单 位 :全国几何量工程参量计量技术委员会 起 草 单 位 :北京市计量科学研究所 本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释 J JG 7 40 - 2 00 5 本规程起草人 : 马桂茹( 北京市计量科学研究所) 吴迅( 北京市计量科学研究所) 刘振福( 北京市计量科学研究所) J JG 74 0 - 2 00 5 目录 1 范围

3、， ( 1 ) 2 引用文献. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .( 1 ) 3 概述 4 ( 1 ) 4计量性能要求 ( 1 ) 4 . 1 工作面的表面粗糙度 ( 1 ) 4 . 2工作面的平面度 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

4、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 2 ) 5 通用技术要求 ， ( 2 ) 5 . 1 外观 ( 2 ) 5 . 2 表面质量 ( 2 ) 6 计量器具控制 ( 2 ) 6 . 1 检定条件 ( 2 ) 6 . 2 检定项目 ( 2 ) 6 . 3 检定方法 ( 2) 6 . 4 检 定结果的 处理 ( 4 ) 6 . 5 检定周期 ( 4) 附录 A 等倾干涉法测量平面度及计算 . . . .

5、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .( 5) 附录 B 常用段 ( n = 3 一 6 )分段法计算式 ( 1 )的简化公式 ， ( 8) 附录 C 分段测量研磨面平尺工作面平面度的数据处理示例 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 9) 附录 ll 研磨面平尺工作面平面度测量结果不确定度评定 ( 1 3 ) 附录 E 检定证书和检定结果通知书内页格式 . . . .

6、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 一 ， ( 2 1 ) JJ G 7 40 - 20 0 5 研磨面平尺检定规程 范围 本规程适用于研磨面平尺首次检定、后续检定和使用中检验。 2 引用文献 本规程引用下列文献: J J G 2 8 -2 0 0 0 平晶 J J G 6 6 1 -2 0 0 4 平面等倾干涉仪 J J F 1 0 0 1 -1 9 9 8 通用计量术语及定义 J J F 1 0 5 9 -1 9 9 9 测量不确定度评定与表示 J J F 1 0 9 4 -2 0 0 2 测量仪器特性评定

7、 I S O 1 4 2 5 3 . 2 : 1 9 9 9 测量设备校准和产品检验中G P S 测 量不确定度评定指南 使用本规程时，应注意使用上述引用文献的现行有效版本。 3 概 述 研磨面平尺是一种精密的平面标准器具，其结构形状如图 1 中 ( a ) , ( b )所示。 研磨面平尺主要用于检定刀口形直尺工作棱边的直线度。 口 ( a ) 皿 图 1 研磨面平尺结构示意图 4 计t性能要求 4 . 1 工作面的表面粗糙度 研磨面平尺工作面的表面粗糙度 ， 应符合表 1 的规定。 表1 研磨面平尺工作面的表面粗糙度 研磨面平尺长度/ m m 五 . 值/ 1! m 毛33 0 33 0

8、,0 . 0 2 5X0 . 0 5 d . 1 G 74 0 - 2 00 5 4 . 2 工作面的平面度 研磨面平尺工作面的平面度，应符合表 2的规定。 表2 研磨面平尺工作面的平面度 研磨面 平尺长度L / m m2 0 0 _ L3 0 0 3 0 0 _ L 5 0 05 0 0 _ L 工作 面 平 面度 纵向 全长/ p m 续0 . 1 5(0 . 4(0. 5 局部/ ( 1, m / m m ) X0. 2 5 / 2 4 0X0. 4 / 4 0 0 横向/ p m _0. 1 5 注: 研 磨面 平尺 有 效 工 作 长 度从 ， 二 L 一 2 a . 2 a 研磨面

9、平尺两端点减去的长度，一般取 a = 5 m m o 5 通用技术要求 5 . 1 外观 研磨面平尺非工作面上应标有制造厂名 ( 或厂标) 、产品编号、尺寸规格及退互 二 标 志 。 5 . 2 表面质量 研磨面平尺工作面不得有锈迹、裂纹、划痕、碰伤及影响测量准确度的其他缺陷。 研磨面平尺应无磁。 后续检定和使用中检验允许有不影响测量的上述缺陷。 计，器具控制 计量器具控制包括首次检定、后续检定和使用中检验。 6 . 1 检定条件 6 . 1 . 1 环境条件 6 . 1 . 1 . 1 检定室温度应为 ( 2 0 士 5 ) 1 C ;温度变化不得超过0 . 1 C / h 和 1 C /

10、2 4 h . 6 . 1 . 1 . 2 检定室内的温度与仪器保温箱内的温度之差应不大于0 . 2 90o 6 . 1 . 1 . 3 研磨面平尺在检定室内平衡温度的时间应不少于 1 0 h 。长平晶与研磨面平尺放 置在仪器内的时间，对小于等于 3 3 0 m m研磨面平尺和 2 1 0 m m长平晶应不少于 l h ;对大 于3 3 0 m m研磨面平尺和3 1 0 m m长平晶应不少于 1 . 5 h . 6 . 1 . 2 检定设备 检定设备见表 3 0 6 . 2 检定项目 检定项目见表 3 0 6 . 3 检定方法 6 . 3 . 1 外观及表面质量 目力观察与手动试验。 6 .

11、3 . 2 工作面的表面粗糙度 J JG 7 4 0- 2 0 05 用表面粗糙度比较样块比较法测量。有争议时用表面粗糙度测量仪测量。 6 . 3 . 3 工作面的平面度 以长平晶作为标准，在平面等倾干涉仪 ( 装置)中对研磨面平尺平面度进行测量。 当被测研磨面平尺的有效长度小于或等于长平晶的长度时，采用等倾千涉法 ( 见附 录 A )整段测量。 当被测研磨面平尺的有效长度超过长平晶长度 ( 如 3 0 0 m m或 5 0 0 m m研磨面平尺和 2 1 0 m m长平晶)时，采用等倾干涉法分段测量。 表 3 检 定项 目和主要检定设 备 J -T- 剂 碱 p to H1 3 h 1 tf

12、i t 主要检定设备首次检定后续检定 使用中检验 带11.AR9aRtc AR ftkf61X ( T)f l ! 11 “1l. 一 注 :表 中 “十”表示应检项 目;“一”表 示可不检项 目。 分段测量的步骤: 等倾干涉法分段测量时，每段测量长度为 1 8 0 m m，在 1 8 0 m m长度上测7 个点， 计算 各测点对 0 与 1 8 0 m m两点连线的偏差。然后仪器工作台退回一半即9 0 m m ，加接长管， 光斑中心对准 9 0 m m处十字线，移动长平晶 ( 此时被测研磨面平尺不许做任何移动) ， 并使长平晶的零 十字刻线处于光斑中心上;且移动工作台时长平晶上所有十字线都能

13、通 过光斑中心，取下接长管，让十字线与干涉环中心重合，移动工作台保证所有十字线都 能通过千涉环 中心。经过适当等温后 ，进行测量 ( 9 0 一2 7 0 ) m m间各测点对 9 0 m m与 2 7 0 m m两点连线的偏差。 对于研磨面平尺长度不足 9 0 m m的部分，可以将长平晶只移位 3 0 m m或 6 0 m m 。例 如，测量 3 3 0 m m的研磨面平尺可分为三段测至 2 7 0 m in ， 然后再将长平晶移动 3 0 m m即测 量 1 2 0 m m至 3 0 0 m m间各测点对 1 2 0 m m与 3 0 0 m m两点连线的偏差。 根据 9 0 m m处对

14、。 与 1 8 0 m m两点连线的偏差 a , , 1 8 0 m m处对9 0 m m与 2 7 0 m m两点连 线的偏差 a 2 , ，a ; _ , ， 按式 ( 1 )求出9 0 m m , 1 8 0 m m , 2 7 0 m m ,各点对。 与3 0 0 m m 两端点连线的偏差关。 f = 2 三 ( 。 一 ， ) a , + ( n - 2 ) a , + . . . + a _ ,一 厂 “- 1 ) a , + ( i - 2 ) a , + 二 。, I ( 1 ) 式中:n 段数; i -测点序号。 常用段 ( ， : 二 3 一6 )的分段法计算式 ( 1 )

15、的简化公式见附录 S o 按.瓜， f l 8 0 ，一之值将其余各点补插进去。对 1 2 0 m m , 1 5 0 m m等位置有重复偏差 J JG 7 4 0- 2 0 05 五 、 ， f e w 的 ( 重复偏差之差应不大于1 / 6 平面度要求， 否则应重测) ， 取其平均值 为 测量值。 并根据长平晶各点平面 度偏差和自 重变形量 ( 见J J G 2 8 -2 0 0 0 平晶检定规程 附录 F )对研磨面平尺各对应点进行修正后，按符合最小条件准则处理后得到测量结 果。 分段测量研磨面平尺工作面平面度的数据处理示例见附录 C o 研磨面平尺横向平面度用平面平晶等厚干涉法进行测量

16、。 也可用带有 笋 3 1 0 m m标准平晶的等厚干涉仪测量。当有争议时以等倾干涉法测量结 果为准 。 6 . 4 检定结果的处理 经检定符合本规程要求的研磨面平尺发给检定证书。不符合本规程要求的，发给检 定结果通知书，并注明不合格项 目。 6 . 5 检定周期 研磨面平尺的检定周期根据使用情况确定，一般不超过 1 年。 JJ G 7 4 0 - 20 0 5 附 录 A 等 倾干 涉法 测量 平面度 及计 算 等倾干 涉法测量原理如图A . 1 所示。 将两块尺寸差小于0 . l tL m的量块，分别研合在长平晶工作面上两端。也可用专用 的三球支承 架 ( 钢球直径为3 . 1 8 m m

17、三个钢球的直径差应小于0 . l y m )代替量块。 使用 球支承架时，支承架的 3 个支承点应尽量与工作台支承点相重合。 图A. 1 等倾干涉仪 ( 装置)测量原理示意图 1 一观察孔;2 一玻璃分化板;3 一半反射镜;4 -透镜;5 一光阑;6 一光源: 7 一长平晶;8 一支承量块;9 -被测研磨面平尺;1 o-一 支承;I 1 一可称动工作台 被测研磨面平尺工作面向上，放在仪器工作台的两个可调距离支承点上，两支承点 a w T R m 1 iff ft f * R 普 : 处( 1 ,-IR M R * R ikc f ) 。 此 、将 长 、。研 、其 上的量块 ( 或球形支承架)

18、放在被测研磨面平尺工作面上。 被测研磨面平尺工作面与长平晶工作面，由量块支承 ( 或球形支承架支承)形成一 个平行空气层。它位于平面等倾干涉仪 ( 装置)光路中的聚焦点附近，并与光轴垂直， 此时在平面等倾干涉仪 ( 装置)目镜里可观察到一组等倾干涉环。这时工作台从一端移 至另一端时，两端干涉环级数的变化应不超过一环。再将测微 目镜取下，装上接长管， 重新套上测微 目镜，调整 目镜 ( 即调整接长管的工作长度) ，使 目镜视场内能同时见到 照明光斑的像与长平晶上的十字线。调整长平晶上各点的十字刻线与工作台运动方向平 行，且光斑中心与十字刻线重合。将零十字刻线调到光斑中心上，并调整位移手轮上的 刻

19、度至零位或需要 的位置上 ，然后取下接长管，装上测微 目镜，再次检查干涉环的变 5 JJ G 7 4 0- 2 0 0 5 化，直至两端的干涉环变化小于一环为止。将仪器保温箱门关上，按要求平衡温度。 用等倾干涉法测量研磨面平尺平面度，实质上是测量研磨面平尺工作面与长平晶工 作面间空气 层厚度的 变化。设各点空气层厚度为 H o , H , H 2 , ，H n ， 则某一点 i 对 两端点 ( 0 点和 n点)连线的偏差 F : o F 一 卜 L ; 1。 L ;L n H a + L n H n 一 H i ( A. 1 ) 式中:F : -i 点对。 点与 n 点连线的 偏差; H o

20、, H、H - 0 点、i 点及n 点的空气层厚度; L : -i 点到。 点的距离， m m ; L a -n 点到。 点的 距离，。 。 设。 点的空气层厚度H 。 二 K 。 十 K o , K o 为。 点空气层厚度中干涉仪级数， A K o 为 其干涉级数的小数部分， 其他各点的空气层厚度 H , = A K ; + K o , A K为i 点空气层厚度 减去K o 而剩下的干涉级数。若用干涉级数表示对两端点连线偏差，则 F = 朴 一 L 1 A K “ L O K , K = (A K 。 一 K ， 一 会 ( A K 。 一 、 ) ( A. 2 ) 工作台移动时，当移向空气

21、层厚度变小处 ，在视场中可以看到干涉环会一环一环向 中心收缩以致消失，每消失一个干涉环，表明长平晶与被测研磨面平尺表面空气层厚度 ( 亦 即 长 平 晶 与 被 测 研 磨 面 平 尺 工 作 面 距 离 刁 、 了 合 ; 当 干 涉 环 扩 张 时 ， 每 扩 张 一 个 干 涉 环 ， 则 表 明 其 厚 度 增 大 了 粤 ) o 2 一 卜、 曰 、2 为了使得到的结果 “ + ”表示 凸， “ 一 ”表示凹，规定每收缩消失一个干涉环时， 表示干涉级数 “ 增大”一级 ( 用 “ +1 ”表示) ;每扩大产生一个新干涉环时，表示干涉 环级数 “ 减少”一级 ( 用 “ 一 1 ”表示

22、) 。 通常，干涉环收缩或扩张不到一个环的小数部分 K i ，可用下式计算: “ 干 涉 环 扩 张 时 ， “ = 一 ( D i)2 (gy m )D o + 6 JT Wk V 时 ， A K , = 卜1D n 12 J 合(ti m ) ( A. 3 ) ( A. 4 ) 式中:D , -i 点所测干涉环直径，m m ; D o 仪器 标准干涉环直径， m m ; 几 光波波长， Km. 标准干涉环直径 D 。 是根据空气层厚度确定的仪器常数， 提供，也可以通过实测由式 ( A. 5 )确定: D o = N L 万二 研 式中:D ; , ， 与 D ; 相邻两干涉环直径。 6 由

23、仪器 出厂及周期 检定 时 ( A. 5 ) J J G 7 4 0 -2 0 0 5 为保证D 。 的准确， 应取多次测量的平均值。测量次数不得少于1 0 次， 每次测量时 应改变干涉环直径。 当测量一组干涉环直径时，标准干涉环直径可由式 ( A . 6 )求得 : D o 1 2 习( 一 ) D Zx 一 6 ( i 一 1 ) 习D R K ( K一1 ) ( K+1 ) ( m m)( A. 6 ) 式中:K 自中心起的干涉环环数 ; D x 自中 心起第 i 环的直径。 当 K=4时 Do 3 ( D ; 一 D zi ) + ( D ; 一 D Z ) 1 0 ( m m)( A

24、. 7 ) 当 K=5时D 2 ( 。 ; 一 刀 : ) + ( 刀 卜 刀 : ) 10 ( A. 8 ) 测量时，将被测研磨面平尺工作面分为7 个测点逐点检定，移动工作台观察并记取 每段干涉环的 变化量 K i ，检定每段不到一个环的小数部分并计算出G K ; 再按式 ( A . 9 ) 进行计算，求得被测研磨面平尺工作面各测点对两端点连线的偏差 F: F = I K ( 、 。 一 、 ) 卜合 。 、 。 ( 、 。 一 、 。 ) 合 ( A. 9 ) 式中: K i 从。 点到 i 点干涉环变化的整数部分; K . 从 。 到 n 点干涉环变化的整数部分; A K , - 0 点

25、干涉级数小数部分; O K , 从 。点到 i 点干涉环变化的小数部分; A 若出现符号相反时，按符合最小条件准则 处理得到被测研磨面平尺工作面的平面度。 J JG 7 4 0- 2 0 05 附录 B 常用段 ( n二 3 一 6 )分段法计算式 ( 1 )的简化公式 n 二3: 五 4 a , +2 a 2 一3 f 2 2 a , +4 a 2 3 几 二4 A 6 a , +4 a 2 +2 a 3 =4 f 2 4 a , +8 a 2 +4 a 3 4 儿 2 a , +4 a 2 +6 a 3 4 n二5: 、 _ 8 a , + 6 a 2 + 4 a 3 + 2 a 45 f

26、 2 几 f 4 6 a , +1 2 a 2 +8 a 3 +4 a , 一5 4 a , + 8 a 2 +1 2 a 3 + 6 a 4 一5 2 a , +4 a 2 +6 a 3 +8 a 4 一5 n=6: 五 1 0 a , +8 a , +6 a ,+ 4 a , +2 a , 一6 几 儿 人 8 a , + 1 6 a , + 1 2 a , +8 a , + 4 a 5 一6 6 a , +1 2 a 2 +1 8 a 3 +1 2 a 4 +6 a , 一6 4 a , +8 a 2 +1 2 a 3 +1 6 a 4 +8 a , 一6 .f s 2 a , +4 a

27、 2 +6 a 3 +8 a 4 +l O a s 一6 8 J J G 7 4 0 -2 0 0 5 附录 C 分段测t研磨面平尺工作面平面度的数据处理示例 对于3 0 0 m m研磨面平尺，可用2 1 0 m m长平晶在等倾干涉仪中分段测量。测量时分0 至 1 8 0 m m, 9 0 m m至 2 7 0 m m , 1 2 0 m m至3 0 0 m m三段进行，每次测量 1 8 0 m m段中的7 个测 点 ， 共得 2 1 个读数，并按下述方法进行数据处理，参见表 C . t o C . 1 计算 0 至 1 8 0 m m间各点对。与 1 8 0 m m两点连线的偏差 按式 (

28、A . 9 )且考虑长平晶平面度偏差 ，计算该 1 8 0 m m长度上各测点对 0与 1 8 0 m m 两点连线的偏差。 C . 2 计算 ( 9 0 至2 7 0 ) m m间各点对9 0与2 7 0 m m两点连线的偏差 按式 ( A . 9 )且考虑长平晶平面度偏 差，计算该 1 8 0 m m长度上各测点对 9 0与 2 7 0 m m两点连线的偏差。 C . 3 计算 ( 1 2 0 至 3 0 0 ) m m间各点对 1 2 0 与 3 0 0 m m两点连线的偏差 按式 ( A . 9 )且考虑长平晶平面度偏差，计算该 1 8 0 m m长度上各测点对 1 2 0与 3 0

29、0 m m两点连线的偏差。 C . 4 计算 ( 0 至 2 7 0 ) m m间各点对 0 与 2 7 0 m m两点连线的偏差 根据表C . 1 , 9 0 m m处对。 与 1 8 0 m m两点连线的偏差 a , =一 0 . 0 7 6 p m , 1 8 0 m m处对 9 0 与2 7 0 m m两点连线的偏差 a 2 =一 0 . 2 0 5 1 c m ， 按式 ( 1 )或附录B 中简化公式计算， 求 得 9 0 m m及 1 8 0 m m处对。与2 7 0 m m两点连线的偏差 f . f 9 0 二 五w二 4 a , +2 a 2 3 2 a , +4 a 2 3

30、4 x( 一 0 . 0 7 6 ) + 2 、( 一 0 . 2 0 5 ) 3 2 x( 一 0 . 0 7 6 ) + 4 x( 一 0 . 2 0 5 ) =一 0 . 2 3 8 ( l e m ) =一 0 . 3 2 4 ( 1 c m ) 再根据几及五 ， 的 值将其余各点补插进去， 从而求得被测研磨面平尺0 至2 7 0 m m间 各点对 。 与 2 7 0 m m两点连线的偏差。 对于五 2 0 及无 5 。 各有两个测得值， 分别计算相应测得值之差，当其不超过3 0 0 m m 研 磨面平尺平面度要求 ( 0 . 4 1 e m )的1 / 6 时 ( 超过时 应重测)

31、， 取其平均值作为测得值。即 关2 0 二 f ,5 .= ( 一 0 . 3 1 4 )+ ( 一 0 . 3 1 0 ) 2 =一 0 . 3 1 2 ( ji m ) ( 0 . 3 4 5 )+ ( 一 0 . 3 2 5 ) 2 =一 0 . 3 3 5 ( N m ) C . 5 计算 。 至 3 0 0 m m间各点对 。 与 3 0 0 m m两点连线的偏差 在 1 2 0 m m至 3 0 0 m m测量段 内，以 1 2 0 m m与 2 7 0 m m两点连线为基准，并延长至 3 0 0 m m，得到 3 0 0 m m这点对此连线的偏差。这点偏差与在 0 至 2 7 0

32、 m m测量段内测量结果 中连接 1 2 0 与 2 7 0 二 两点并延长至3 0 0 m m得到的偏差叠加起来 ，得到 3 0 0 m m这点偏差， 即可求得 0 至 3 0 0 m m间各点对 0 与 3 0 0 m m两点连线的偏差。按符合最小条件准则处理 得到测量结果 ( 参见表 C . 2 ) o JJG 7 叨一2 佣5 表 C. 1 Do二3 . 9 2 mm 检测 位置 ( mm ) 一干 涉 环 直 径 l m 。一 一 干涉带级数 天 C ， 二凡 一K。 乙 二 C 乙 n did 2d=d l 一注 ， 06. 6 2 2. 5 3 一 一 4. 00一0. 0 90

33、O 3 O6. 412. 5 73. 8 4 一 一 十0. 0 4 I +0. 1 3一0， 01 606. 3 82. 6 83. 7 0+0. 11+0， 2 0一0， 0 龙 9O6. 3 92. 6 03. 7 9+0 06+0 1 5一0. 03 5 1 20 6. 5 22 5 04. 0 2一0. 0 5十0. 04一0 0 5 1 5 06. 5 92. 434. 1 6一0. 1 3一0， 04一0. 06 1 8 0661 一 一0 1 6一0 0 7一0. 07 9066 62. 5 64. 1 0一0， 0900 1 206. 7 0 一 24 5 ll ) 4 .

34、3 4 一 一0. 2 3一0. 1 40 1 5 05 8 03. 442. 3 6一0. 2 6一0. 1 7 一 一 一0 01 1 8 05 8 02. 472. 3 3一0. 3 5一0. 2 6一0， 01 21 06. 7 7 2. 484. 2 9一0 20一0， 11一0. 01 2 4 06. 7 42. 5 44. 20一0. 1 5一0. 0 6一0. 02 2 7 0 6. 7 0 2574. 1 3 一0. 1 一0. 0 2一0. 02 1 2 06 6 92. 524. 1 7一0. 1 300 1 5 06. 3 02. 4 23. 88 - 一0. 02 l

35、 +0. 1 1一0. 01 1 8 06. 1 0 2. 1 2 3. 98 一0. 03+0. 1 0一0 03 21 06 3 22. 1 5 一 0一0， 04 24 06. 422. 204. 2 2一0. 1 6一0. 03一0. 05 27 06. 452. 2 3 4. 2 2 一 一0. 1 6一0. 03一0. 07 3oo6. 5 0 2 20 4. 3 2一0. 21一0. 08一0. 08 l 0 J JG 7 40 - 2 00 5 a二0. 5 9 0 k m 乙。 = L C. 一百 二C_ L F ; 二 . x 冬 艺 ( l e m ) 长平 晶平 面度偏

36、差 21 , 1 p . 被 测研磨 面平 尺局 部偏 差 F, 二F 一A 一 会 、 。 被测研磨面平尺 两点连线偏差 I t e m ; 二 F ， + L h 0000一 一 0 0 +0. 1 4+0. 0 41+0. 0 7 0 一 一0. 0 29 一0. 05 4一0. 0 8 3 +0. 2 2 +0. 0 6 5+0. 11 9一0. 05 4 一0. 1 0 8 I 一0. 1 6 2 +0. 1 8 5+0. 05 5+0. 1 31一0. 0 76一0. 1 6 2 一0. 2 3 8 +0, 0 9+ 0. 02 7+0.1 2 5一0. 0 98 I - 0 .

37、2 1 6 一0. 31 4 I_ +0. 0 2 十0. 00 6 +0. 0 81 一0. 0 75 ! 一0. 2 70 .345: 一 0000一0. 3 2 4 一 1 一 0000一0. 2 38 一0. 1 4一0. 041+0. 0 7 0一0. 1 1 1一0. 1 99 _ 0 .3 10一 一0. 1 6一0. 04 7+0. 1 1 9一0. 1 66 一0. 1 5 9 J 一0. 32 5 一0. 25 一0. 07 4 +0. 1 31 一0. 2 0 5一0. 11 9一0. 32 4 一0. 1 0一0. 03 0+0. 1 2 5一0. 1 55一0. 0

38、7 9一0. 23 4 一0. 04 一0. 01 2 +0. 1 81一0. 0 93 一0. 0 4 0一0. 1 3 3 000000 0000 一0. 31 2 一 +0. 1 2 +0. 0 3 5+0. 0 70一0. 0 3 5一0. 2 5 0 +0. 1 3 +0. 0 38 +0_ 1 1 9一0. 081一0. 1 8 7 +0. 04+0. 01 2+0. 1 31一0. 1 1 9一0. 1 2 5 】一 +0. 0 2+0. 0 0 6+0. 1 2 5一0. 1 1 9一0. 06 2 +0. 0 4 +0. 01 2 +0. 1 81 一 。 . 0 6 9 一

39、 0000+0. 06 2 1 l J J G 7 4 0 -2 0 0 5 欲660!0“660.0，!0“气 gcnO 令 ; 二 令 l O 口口 巴 O I 叼 李 一 O I r J OC r刀 O l O .、 m O I 心 卜 亡门 O I 今 V口 r尸 O 1 ，- OJ 吧护 O l 途 O 心 二 碉 撰 攫 O r ，门 C 加 O ! O、 N O O l 寻 O O l O( h O O ! r r 卜向 O O l r OO O O l NO O I O; 甘 寸 .，叫 O I 蓄 Nr 二 嗜 誊 蟹E x N O t甲1 以 二 O C 匀 吞 r刀 心

40、尸叫 0 万 口( r尸 r 刁 0 诊 七尸 O r尸 0 I 户刀 O巴 户刀 O I 办 一 rV 0 I O 七 尸 ，. 0 r O 们 寸 ，叫 0 十 二 1 P $ 攫 丫0 履琴 F$ H 昌M 目9 里蓄 荔N NMO 护.叫 r 、 卜刁 O l 导 O 刀 O I 屺护 O 户 刀 O I 叱 护 刀 ”叫 O 1 O 了 1 寸 尸.叫 O 十 圈 mr N E rx : N 首 I L (V :4 Ccn 那钾圈琴 O ，.， N O O I 叹 ， 、 甘) O O I 心C r毛 O O ! 落 O O I O r尹 O巴 O O + 咽 撰 樱 CJ 寸 ，叫

41、 O O + CO 广 J O O 十 9 O + 刀 n v 1 0 0 + C 六 吕 0 + pr 以 O 0 + 洲 嗜 N E N0 言 IT rl艇 绷 忍0 冲钾叹遐 0 叼勺 r 尸 0 C二 . 月 一 oc 0 C ) I a0 a 一 ，目 0 ! a 吕 心 I 0 ，酬 旧心 t二 ， 洲司 口 0 呈rl N O 州 玛 忍N N 尸州 尸 O C 七尸 C 刀 O ! 叹 、 口( 尸叫 O l 尸】 N ， - O I 广刀 8 O ! O N 旧 O O 十 ，崛 隆 心J ; ， 洲2口 i l l昌el 匕O 蕊 N勺致 绷 O r尸 O 巴 O O I r刀 心 ，.叫 O I 口( rr C 刀 O I 户习 尸. 创 O I MO 甘 f J r尸 O I 寸 护 户刀 O I C门 t们 目 O I O 毫 咧吕 理 +乏 O O导家 NOO邑ON q NON SM 1 2 J J G 7 4 0 -2 0 0 5 附录 D 研磨面平尺工作面平面度测量结果不确定度评定 D. 1 概述 通过对常用规格的研磨面平尺工作面平面度测量结果不确定度的评定 ， 确认本规程 提出的测量原理、测量方法、测量程序和测量条件的合格性。 D . 2 任务和目 标不确定度 D . 2 . 1 测量任务 测量2 0 0 m m和 3