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1、中华人民共和国国家计量检定规程 J J G 8 8 9 - 1 9 9 5 磁阻法测厚仪 Ma g n e t i c R e s i s t a n c e T h i n e s s G a u g e 1 9 9 5 一0 2 一 0 8发布1 9 9 5 一0 5 一0 1实施 国 家 技 术 监 督 局发布 . I I G 88 9- 1 99 5 磁 阻法测厚仪检定规程 产 。. O . ， . 口 . O. O . ， . 砚 ， . ， . 口 . O. 口 . O. O . V e r i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o f J J
2、 G 8 8 9 - 1 9 9 5 Ma g n e t i c R e s i s t a n c e .价，.入臼.扒.乙.之，.了，.扒该.乙. T h i n e s s Ga u g e 本检定规程经国家技术监督局于 1 9 9 5年0 2月0 8日批准，并自1 9 9 5 年 0 5 月 0 1日起施行。 归口单位 : 天津市技术监督局 起草单位 : 天津市计量技术研究所 本规程技术条文由起草单位负责解释 . 1 . I G 88 9- 1 99 5 本规程主要起草人 : 王心航 孟继恒 参加起草人 : 李饵 ( 天津市计量技术研究所) ( 天津市计量技术研究所) ( 天津市技术
3、监督局实验工厂) JJ G 88 9- 19 95 目录 概述 ， 。 ， ， ， ， ， ( 1 ) 检定项目 和检定条件 ( 2 ) 检定要求和检定方法 ( 3 ) 检定结果的处理和检定周期 。 ， ( 6 ) 二三四 J JG 88 9- 1 99 5 磁阻法测厚仪检定规程 本规程适用于新制造、使用中和修理后的磁阻法测厚仪的检定。 一概述 磁阻法测厚仪一般用于铁磁基体上非磁性涂层和镀层厚度的测量。其原理是:当仪 器测头与被测涂层或镀层接触时，测头即与磁性基体构成一闭合磁路，由于非磁性覆层 的存在，使磁路磁阻增加，磁阻的变化随着被测覆层厚度的大小而变化 ，仪器能过对磁 阻大小的测量 ，由表
4、头或显示器指示出被测覆层的厚度。 仪器基本分为指针型、数字型、智能型三种型式，测量范围一般在 ( 0 -1 0 ) m m 内 大小不等， 分辨率最高可 达0 . 1 u m ，仪器外形分别参见图1 、图2 和图3 0 校准旋钮 指 不 表 调零 旋 电源开 关 电压指示 图 1 指针型测厚仪 厚 度 . i v示 测头 插 座 测头 插 座 厚度显示窗 薄膜开关面板 校 准键 功 能 键 功能 按 键 测 头 N9 头 图 2 数 字型测厚仪 图3 智能型测厚仪 d7 G 88 9- 19 95 二检定项目和检定条件 1 检定项 目和主要检定用的工具列于表 t o 2 检定条件 2 . 1
5、检定室内温度:( 2 0 15 ) C 2 . 2 检定室内湿度:成6 5 % 2 . 3 仪器预热时间:不少于 巧 m i n 2 . 4 仪器所用电源: A C 2 2 0 x ( 1 +1 0 %)V D C 不得超过仪器使用标称电压的士 5 % B A T 不低于额定电压 1 0 % 2 . 5 外部环境:检定室附近不得有强磁场干扰。 表1 I T- 号 检 定 项 目主要检定 工具 检定类别 新制造使用 中修理 后 1 外观 + 2 各部分相互作用 + 3 基体表面粗糙度及平面度 表面粗糙度测量仪及 0 级刀 口尺 + 4仪器校准厚度 片 三等量块及光学计或电 感仪 +十 5 示值变
6、动性标准厚度片及检定台架 + + 6示值误差 标准厚 度片组及平面基 体 + 7 曲面厚度测量的准确度 标准厚度组及磁性圆柱 面基体 + 8 薄型基体上的测量准确度 5 0x5 0 xl m m基体及 标准厚度片 + 9 示值稳 定度 一 标准厚度片及检定台架 l + 注:“ +”表示应检定，“ 一”表示可不检定。 J J G 8 8 9 -1 9 9 5 三检定要求和检定方法 3外观 3 . 1 要求 3 . 1 . 1 仪器及附件的外表面应无划痕、锈蚀、起泡、脱落等现象。 3 . 1 . 2 仪器及附件上的文字、符号、数值及单位应字迹清晰，铭牌必须标明制造厂名、 仪器编号及出厂日期。 3
7、. 1 . 3 测头的测量端应无明显磨损痕迹，所有连接线缆应完好无损。 3 . 1 . 4 干电池、充电器连接处应有明显极性标志。 3 . 1 . 5 使用中和修理后的仪器允许有不影响准确度的外观缺陷。 3 . 2 检定方法:目力观察。 4 各部分的相互作用 4 . 1 要求 4 . 1 . 1 各操作开关、旋钮、按键、指示灯均能正常工作，准确无误。 4 . 1 . 2 各插头、插座及线缆应安装牢固、连接方便。 4 . 1 . 3 测头的弹簧套应滑动灵活，不得出现卡滞 、 爬行。 4 . 1 . 4 测头置仪器所附基体中心，其外圆至基体边缘的最小距离应大于 巧 m m. 4 . 1 . 5 仪
8、器表头指针的机械零位应准确并指示平稳;厚度显示器的数字显示应完整、清 晰 、稳定 。 4 . 1 . 6 具有统计 、打印等功能的仪器应工作可靠，准确无误。 4 . 2 检定方法 :试验与观察。 5 基体表面粗糙度与平面度 5 . 1 要求: 表面粗糙度 R毛0 . 2 0 f z m ; 平面度簇1 y m o 5 . 2 检定方法 5 . 2 . 1 表面粗糙度可参照 表面粗糙度比较样块检定规程中触针法的检定方法给出基 体表面的R 。 值。 5 . 2 . 2 基体表面平面度采用 0 级刀 口尺，用光隙法进行检定。 6 仪器校准厚度片 6 . 1 要求:校准厚度片的厚度误差及均匀性误差不应
9、超出表 2 规定的允许误差。 6 . 2 检定方法 :用三等量块和投影光学计 ，用绝对法或比较法进行检定。检定时所用测 帽的曲率半径不得小于 2 0 m m,测杆下降时应通过拨权使测帽轻轻与校准片接触，以防 止对校准片的撞击。检定可在校准片有效面积内5个或 9个均布位置上进行 ( 但必须含 中心位置 ，并且对无有效面积标记的校准厚度片规定:其有效面积在以中心为圆心半径 不得小于 1 0 mm的圆内) 。检定结果取 5 次或9次厚度读数的平均值与校准厚度片的标称 值之差为厚度误差，取各次厚度读数与厚度平均值的最大差值为校准厚度片的均匀性误 LI G 88 9- 19 95 差，两者均不应超出检定
10、要求。校准厚度片的受检点如图4 所示。 ( a ) 5 个受检点 ( b ) 9 个受检点 仪器类别 校准厚度片的允许误差 厚度均 匀 性 A级士 0 . 5 u m或士1 %H 士 1 p m或士 1 % H, B级 士 0 . 5 t m或士2 %H士 1 di m或士 2 % H, C级 士 0 . 5 ;gy m或士 3 %H士 2 f m或士 2 % H m 备 注H校准厚度片的标称值 H m厚度检定的平均值 7 示值变动性 7 . 1 要求:见表 3规定。 7 . 2检 定 方 法 : 将 仪 器 ， “ 头 夹 持 在 检 定 台 架 上 ， 选 择 最 刁 、 量 程 挡 位
11、， 并 选 一 大 于 合 量 程 的标准厚度片，用测头对该厚度片重复测量 1 0次，取 1 0次示值 中的最大值与最小值之 差为示值变动性的检定结果，应符合表 3中的规定。 此项检定也可用手持方式进行 ，但若 出现微量超差时，应以检定台架操作的检定结 果为准 。 8 示值误差 J JC 88 9- 1 995 要求 :垂直和水平方向均应符合表 3 的规定。 仪器类别示值变动性要求示值误差要求 A级 (l k , H或 0 . 7 f m士( 0 . 7 V m+3 %H) B级 蕊 2 %H或1 f m1( 1p m+5 %H) C级 (3 %H或2 u m 1( 2 1, m+1 0 %H
12、) 备 注 H一标准厚度片的厚度值 8 . 2 垂直方向检定方法:首先用标准厚度片按仪器规定的校准方法将仪器校准，然后在 测量范围内 ( 或每一量程内)均布 3 -5 个点为受检点 ，选择相应厚度及精度的标准厚 度片 H; ( i =1 , 2 ,，5 )依次检定，每个受检点测 3次，取其平均值作为该点的示值 h: i=1.2. ，5) 。 示 佰 误 羊 柠 下 才 计 算 . H, 各受检点的示值误差均不应超出表 3 中被检仪器所对应的允许误差要求。 8 . 3 水平方向检定方法:将基体固定在某一垂直面上，测头的测量方向应为水平方向， 用标准厚度片按仪器规定的校准方法将仪器校准，然后再选一
13、标准厚度片，用仪器对该 片重复测量 3 次 ，3 次读数的平均值与该标准厚度片标称值之差，应符合表 3中被检仪器 所对应的示值误差要求。 9 曲面厚度测量的准确度 9 . 1 要求:同表3中规定的示值误差要求。 9 . 2 检定方法: 仪器选用最小量程挡， 用一直径为 0 2 0 m m , R a -0 . 2 0 i c m的圆柱面铁 基体作为此项检定用的基体，将其平放于 V形块的V形槽内，再用标准厚度片在该基体 上将仪器校准，然后另选任一标准厚度片对仪器相应受检点测量 5 次，5 次读数的平均值 与标准厚度片的标称值之差，即为曲面厚度测量的准确度。 对没有规定可测最小曲率半径参数的仪器，
14、可以不作此项检定。 1 0 薄型基体上的测量准确度 1 0 . 1 要求:不得超出表 3中规定的示值误差要求。 1 0 . 2 检定方法:基体取检定用的5 0 m m x 5 0 m m x 1 m m ( 长 x 宽 x 厚)的平面铁基体 ， 在该基体上按仪器规定的方法将其校准， 然后选用+ 2 0 K m左右的 标准厚度片对仪器相应 受检点进行检定，两者之差不得超出该点的示值误差要求。 相应精度是指检定用标准厚度片的精度应和8 . 1条的T值允许误差对应起来，原则上前后两者精度 之比应在 I / 一1 巧 范 围之 内。 J . 1 G 8 89- 1 99 5 基体无临界厚度值规定的仪器
15、可不作此项检定。 H示值稳定度 1 1 . 1 要求:仪器 1 h内的示值变化不应超出示值误差的绝对值。 1 1 . 2 检定方法:本项检定应在仪器最小量程挡进行。将仪器校准后，再选用一厚度大 于 合 量 程 的 标 准 厚 度 片 ， 对 仪 器 相 应 受 检 点 进 行 测 量 ， 其 示 值 作 为 第 一 次 读 数 ， 以 后 每 隔 巧 min 记一次读数，连续记录 1 h ，取 5 次示值中的最大值与最小值之差作为仪器的示值 稳定度。 四检定结果的处理和检定周期 1 2 经检定符合本规程要求的磁阻法测厚仪填发检定证书，不符合要求的仪器填发检定 结果通知书。 1 3 磁阻法测厚仪的检定周期可根据具体使用情况确定 ，一般不超过 1 年。