[电子标准]-SJT10477-94.pdf

《[电子标准]-SJT10477-94.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《[电子标准]-SJT10477-94.pdf（8页珍藏版）》请在三一文库上搜索。

1、SJ 中 华 人 民共 和 国 电 子 行 业 标 准 S J / T 1 0 4 7 7 一9 4 外圆切割机通用技术条件 G e n e r a l s p e c i f i c a t i o n f o r e x c i r c i e s l i c e r 1 9 9 4 - 0 4 - 1 1 发布 1 9 9 4 - 1 0 - 0 1 实施 中华人民共和国电子工业部发布 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 外圆切割机通用技术条件 Ge n e r a l s p e c i f i c a t i o n f o r e x c i r c le s l

2、ic e r S 1 / T 1 0 4 7 7 -9 4 主题内容与适 用范围 本标准规定了外圆切割机( 以下简称切割机) 的术语、 技术要求、 试验方法、 检验规则、 包装 贮存等。 本标准适用于外圆切割机. 其他类型的切割机可参照使用。 2 引用标准 GB 1 91 GBn 1 93 GB 3 76 8 GB 5 08 0. 7 GB 5 22 6 GB 6 38 8 包装储运图示标志 出口 机械、 电 工、 仪器仪表产品包 装通用 技术条件 噪声源声功率级的测定一简易法 设备可靠 性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验 方案。 机床电气设备通用技术条件 运输包装收发货

3、标志 3术语 3 . 1 外圆切割机e x c i r c i e s l i c e r 利用外圆刃部镀有金刚石粉等磨料的圆形刀片对半导体单晶等脆硬材料进行切割的设 备。 3 . 2 刀杆c u t t e r b a r 固定在主轴上， 用来安装固定刀片的部件。 3 . 3 工件进给系统 w o r k p i e c e f e e d s y s t e m 将工件按预定进给量输送到切割位置的装置。 3 . 4 旋转工作台r o t a t i n g t a b l e 调整被切割工件角度的装置。 3 . 5 电 磁T - 作台 e l e c t r o m a g n e t i

4、 c t a b l e 吸紧被切割工作并附有退磁电路的装置。 3 . 6 工件进给精度 w o r k p i e c e f e e d a c u r a c y 工件进给系统运动的实际进给量与设定进给量的最大差值。 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 1 批准 1 9 9 4 - 1 0 - 0 1 实施 S i / T 1 0 4 7 7-9 4 4 技术要求 4 . 1 一般要求 4 . 1 . 1 切割机上应有指示润滑、 操作、 冷却、 安全等标牌或标志。 4 . 1 . 2 主轴旋转方向必须有箭头指示。 4 . 1 . 3 切割机一般应具有自动切割功能

5、。 4 . 1 . 4 切割机一般应有电磁工作台或旋转工作台。 4 . 2 使用条件 切割机应能在下列使用条件下正常工作。 4 . 2 . 1 环境条件 a . 温度: 2 5 1 S ; b . 相对湿度: 不大于7 0 %; c . 远离振动源; d . 通风良 好。 4 . 2 . 2 供电条件 a. 3 80士38 V b. 2 20士22V c . 5 0士l H2 4 . 3主轴 4 . 3 . 1 切割机主轴端面圆跳动不大于O . O l m m， 径向圆跳动不大于O . O l m mo 4 . 3 . 2 切割机刀杆轴向圆跳动不大于O . O l mm ， 径向圆跳动不大于O

6、 . 0 l m m. 4 . 3 . 3 在水平方向上主轴轴线和横向进给工作台的运动平行度， 在测量长度为2 0 0 mm的范 围内不得大于 0 . 0 5 m me 4 . 3 . 4 主轴轴线与工作台纵向进给的垂直度， 在测量长度为 2 0 0 mm范围内， 不得大于 0 . 0 3 mmo 4 . 3 . 5 主轴轴线与支臂转轴轴线的平行度， 在测量长度为 1 5 0 mm的范围内. 不得大于 0 . 0 2 mma 4 . 3 . 6 当电 力中断时 主轴应具备保护装置。 4 . 3 . 7 主轴润 滑密 封必须良 好， 不得有渗油现 象。 4 . 3 . 8 主轴转动应灵活、 平稳

7、、 无阻滞、 抖动现象。 4 . 3 . 9 主轴( 带刀杆) 应作动平衡试验和校正， 平衡精度等级为 G O . 4 . 4 . 3 . 1 0 主轴带刀杆连续运转时温升不大于5 0 C o 4 . 4 导轨 4 . 4 . 1 在行程l 0 0 m m的范围内导轨运动的直线度不大于O . O l mm. 4 . 4 . 2 滚动导轨面硬度不得低于 H R C G 0 , 滑动导轨面硬度一般应为 H B 2 5 0 一2 7 0 0 4 . 4 . 3 滑动导轨与滑动面， 滚动导轨与滚动体均应接触良好， 运动轻便灵活， 无阻滞及爬行现 象。 4 . 4 . 4 滚动导轨与滚动体， 滑动导轨与

8、滑动面必须润滑良好。 4 . 5 工件进给系 统 4 . 5 . 1 工作台面与纵向进给导轨的运动平行度。 在测量长度为 3 0 0 mm的范围内， 不大于 一2 一 S T / T 1 0 4 7 7 -9 4 0 . 0 6 m m o 4 . 5 . 2 工作台面与横向进给导轨的运动平行度， 在侧量长度为 3 0 0 mm的范围内， 不大于 0 . 0 6 mmo 4 . 5 . 3 工作台纵向运动与横向运动的垂直度， 在测量长度大于 l O O m m的范围内， 不大于 0 . 0 l mm. 4 . 5 . 4 旋转工作台面圆跳动不大于0 . 0 3 mm o 4 . 5 . 5 工

9、作台横向步 进允许 偏差不得大于士 。 O l m m , 4 . 5 . 6 工作台面纵向运动与横向运动的直线度， 在测量长度为 l 0 0 m m的范围内允许偏差不 大于0 . 0 3 m m o 4 . 5 . 7 工作台在切割 过程中 定位应牢固可靠。 4 . 5 . 8 工件进给速度应在4 -4 0 0 mm / mi n内连续可调。 4 . 5 . 9 工件进给速度应有良好的稳定性， 其允许偏差不得超过5 %， 在最低速度时不得有爬 行现象。 4 . 旋转工作台调整机构 旋转工作台应能绕轴线旋转 3 6 0 ， 并应有刻度指示， 读数分辨率不大于 1 0 4 . 7 切割冷却系统

10、4 . 7 . 1切割 冷 却 应充 分 、 良 好 ， 冷 却 戒 流 量 应 可 调 ， 并 设 有 冷 却 液 中 断 后 的 报 警 装 置 。 4 . 7 . 2 冷 却系 统各阀 门关闭后不得有渗漏现象。 4 . 7 . 3 防护罩应密封良好， 便于观察。 4 . 8 润滑系统 4 . 8 . 1 对于导轨、 主轴、 齿轮等重要运动部件应润滑良好， 各润滑部位应在产品说明书中明确 规定和说明。 4 . 8 . 2 润滑油池应有指示油位的油标。 4 . 8 . 3 润滑油泵不得有泄漏现象。 4 . 9 切割质量要求 在正常工艺条件下， 切割质量应达到下列要求: a .表面粗 糙度 R

11、 a 的数值不大于1 . 6 W m; b . 切割片子两切割面的平行度在测量长度为 2 0 0 mm ， 高度为2 0 m m的范围内不大于 0 . 0 5 mm, 4 . i 0 噪声 切割机空载运转时噪声应小于 MO( A ) 4 . 1 1 振动 切割机运转时其振幅在 X , Y, Z三个方向均应小于 0 . 0 0 2 mm o 4 . 1 2 可靠性要求 切割机平均无故障时间( M T B F ) 的下项值m， 不得低于5 0 0 h ， 平均维修时间( M T T R ) 不 大于 2 h a 4 . 1 3 外观要求 4 . 1 3 . 1 切割机外表面不允许有凸 起、 凹陷、

12、 毛刺、 粗 糙不平和其它损伤现象。 4 . 1 3 . 2 外表面喷漆颜色应均匀， 色调一致， 平整光滑， 不得有脱落、 龟裂、 流挂、 起泡、 划痕及 误喷现象， 套色不得互相污染。 S 1 / T 1 0 4 7 7 -9 4 4 . 1 3 . 3 电 镀及化学 涂覆的零部件 表面 应光滑、 无斑点、 锈蚀、 起泡、 脱层 及明显划痕等缺陷。 4 . 1 3 . 4 操作面板及标牌应清晰、 耐久， 其中的刻线、 数字、 文字和图形符号等标志应正确、 均 匀并有涂色。 4 . 1 4 安全性要求 4 . 1 4 . 1 动力电路与保护电路导线之间的绝缘电阻不得小于1 M1 1 , 4 .

13、 1 4 . 2 外露的旋转零件( 如齿轮、 主轴、 刀具、 皮带及皮带轮) 应有保护 装置。 4 . 1 4 . 3 切割机整机必须有接地螺钉和明显的接地标志。 4 . 1 4 . 4 切割机必须有紧急停止功能。 4 . 1 4 . 5 切割机的照明应采用3 6 V 安全电压。 4 . 1 4 . 6 电气设备必须经受耐压试验。设计规定不经受高压试验的元、 器件， 在进行试验时， 应把它们断开。 4 . 1 5 成 套性要求 制造提供切割机时， 应包括主机、 附件和随机技术文件。 5 试验方法 5 . 1 一般要求检查 按设计文件， 产品说明书等有关技术文件的规定并与实物对照检查。 5 .

14、2 主轴检查 5 . 2 . 1 用精度为 0 . 0 0 1 m m 的电 感比较 仪检测切割机主轴的轴向端面圆跳动和径向 圆跳动。 5 . 2 . 2 用精度为 0 . 0 0 1 m m 的电 感比较 仪检测切割机刀杆端面和径向的圆跳动。 5 . 2 . 3 用千分表检测切割机主轴轴线与横向进给工作台运动的平行度。 5 . 2 . 4 用千分表 检测主轴轴线与工作台纵向进给的垂直度。 5 . 2 . 5 用千分表检测主轴轴线与支臂转轴轴线的平行度。 5 . 2 . 6 按下列方法检查主轴报警装置及保护措施。 a . 起动主轴使其正常运转 1 0 m i n 后断电， 检查保护装置及刹车机

15、构是否有效; b . 循环升降1 0 次检查主轴升降行程开 关限位的可靠性。 5 . 2 . 7 用目测法检查主轴密封性。 5 . 2 . 8 用目测法检查主轴转动情况。 5 . 2 . 9 用动平衡试验机检查主轴( 带刀杆) 动平衡精度。 5 . 2 . 1 0 主 轴运转2 h 后， 用点温计检查主 轴轴承点的温 度并计算温升。 5 . 3 导轨检查 5 . 3 . 1 用精度为0 . 0 0 1 mm的电感比较仪检测导轨运动的直线度。 5 . 3 . 2 用洛氏硬度仪检测滚动导轨面硬度， 用布氏硬度仪检测滑动导轨面硬度。 5 . 3 . 3 开机运动导轨， 用目测法检查导轨面接触、 润滑

16、和运动情况。 5 . 4 工件进给系统检查 5 . 4 . 1 用千分表分别检测工作台面与纵向导轨和横向导轨的运动平行度。 5 . 4 . 2 用千分表检测工作台纵向运动与横向运动的垂直度。 5 . 4 . 3 用千分表检测旋转工作台面圆跳动。 5 . 4 . 4 在全程内 分三段按0 . 5 m m进给量进给， 用精度不 低于0 . 0 0 1 m m的电 感比较仪， 分别 测量2 5 m m， 检测工作台横向步进允许偏差。 一4 一 S J / T 1 0 4 7 7 -9 4 5 . 4 . 5 用精度为0 . 0 0 1 m m的电感比较仪检测工作台横向运动与纵向运动的直线度。 5 .

17、 4 . 6 按设定值重复试验5 0 次用千分表检测工作台定位可靠性。 5 . 4 . 7 实际操作用秒表检测切割进给速度可调性。 5 . 4 . 8 在环境温度2 5 士 5 范围内分低、 中、 高三种进给速度. 用秒表检测切割进给速度稳定 性。 55 旋转工作台调整机构检查 实际操作检查旋转工作台调整机构。 5 . 6 切割冷却系 统检查 5 . 6 . 1 开机人为中断冷却滚进行试验， 检查报警装置。 5 . 6 . 2 开机用目测法检查冷却系统密封性。 5 . 7 润滑系统检查 按使用说明书检查各润滑部位润滑情况及指示油位的油标。 5 . 8 切割质量检查 a . 用比较法检查切割片表

18、面粗糙度; b . 用厚度检测仪检查切割片的平行度。 5 . 9 噪声检查 切割机空载运转， 按G B 3 7 6 8 规定的方法检查整机噪声。 5 . 1 0 振动检查 开机运转， 将测振计置于主机台面上， 检查整机振动情况。 5 . 1 1 可靠性验证试验 5 . 1 2 外观检查 用目测法对切割机进行外观质量检查。 5 . 1 3 安全性检查 5 . 1 3 . 1 用5 0 0 V 兆欧表检测动力电路与保护电路导线之间的绝缘电阻。 5 . 1 3 . 2 用目测法检查外露旋转件的保护装置。 5 . 1 3 . 3 用目测法检查有无接地螺钉， 接地标志是否明显。 5 . 1 3 . 4

19、操作检查切割机紧急停止功能。 5 . 1 3 . 5 用电压表检查切割机照明电压。 5 . 1 3 . 6 按 G B 5 2 2 6 第 1 3 . 2 条的规定进行耐压试验。 按 G B 5 0 8 0 . 7 第 5 章规定的定时( 定数) 截尾试验方案 5 : 7进行， 截尾时间为 1 . 4 6 m o ， 截 尾失效数为 3 , 5 . 1 4 成套性检查 根据切割机使用说明书. 有关供货合同. 检查产品成套性。 6 检验规则 6 . 1 检验分类 a . 定型检验 ; b . 交收检验; c . 例行检验。 6 . 2 定型检验 S J / T 1 0 4 7 7 -9 4 6

20、. 2 . 1 切割机在设计定型和生产定型时， 应通过定型检验。 6 . 2 . 2 定型检验的项目按表1 规定。 表 1 序号试验项目 技术要求 条号 试验方法 条号 定型枪验交收检验例行检脸 1一般要求 4 . 1 条5 . 1 条OO 2主轴 4 . 3条5 . 2条OO 3导轨 4 . 4 条5 . 3条OO 4 工件进给系统 4. 5条5. 4条OO 5 旋转工作台调整机构 4 . 6 条5. 5条OO 6 切割冷却系统 4. 7条5. 6条OO 7 润滑系统4. 8条5. 7条OO 8切剖质量要求4 . 9条5. 8条OOO 9 噪声4. 1 0条5. 9条OO 1 0 振动4 .

21、 1 1 条5. 1 0条OO 1 1 可靠性要求4. 1 2条5. 1 1条OO 1 2 外观要求4 . 1 3 条5. 1 2条OO 1 3 安全性要求4. 1 4条5. 1 3条OO 1 4 成套性要求 4. 1 5条5. 1 4条 OO 注: “ O“ 表示在该类检验中应进行的检脸项目。 6 . 2 . 3 定型检查的样品数量最少为2 台。 6 . 2 . 4 检查中出现故障， 或某项目不合格时， 应停止检验， 待查出发生故障的原因， 排除故障 并提出故障分析报告， 重新进行该项检验。若在以后的检验中再次出现故障， 或某项目不合格 时， 应停止检查， 查明 故障原因， 排除 故障， 提

22、出故障分析报告后， 重新进行检验。 6 . 3 交收检验 6 . 3 . 1 交收检验由生产厂质量检验 部门负责 进行。 6 . 3 . 2 批量生产或连续生产的切割机， 每台都应通过交收检验方可出厂。 6 . 3 . 3 交收检验的项目按表1 规定。 6 . 3 . 4 检验中出现任一故障时应查出 故障 原因， 排除故障 后， 重新进行检验。 重新检验若再次出 现故障， 则该 切割 机判为不合格。 6 . 4 例 行检验 6 . 4 . 1 正式生产的切 割机至少每隔 两年应进行例行检验。当材料、 工艺有较大改变， 可能影 响产品性能时. 必须进行例行检验。 6 . 4 . 2 例行检验由生

23、产厂质量检验部门负责进行。 6 . 4 . 3 例行检验的项目按表1 规定。 6 . 4 . 4 例行检验的样品应在交收检验合格的产品中随机抽取， 其数量应不小于 2台。 6 . 4 . 5 检验中出 现故障， 或某项目 不合格时， 应查明故障原因， 排除故障后， 继续或重新进行 一6 一 S 1 / T 1 0 4 7 7-9 4 该项 检验。 若在以后 检验中再次出 现故障或 某项目 不合格时， 应停止检验， 查明故障原因， 排 除故障后， 重新进行例行检验。重新进行检验又出现某一项不合格时， 则判例行检验不合格。 标志、 包装 、 运输、 贮存 7 . 1 标志 切割机应有铭牌， 并应固

24、定在明显的部位上， 铭牌至少应标出下列内容。 a . 制造厂名称; b . 产品名称; c . 产品型号或标记; d . 制造日 期或日 期代号; e . 出 厂 编 号 。 7 . 2 包装 7 . 2 . 1 切割机的包装应符合 G B n 1 9 3中3 . 1 条“ 箱装” ; 3 . 5 . 2条中“ 防潮包装， 及 3 . 5 . 3条 “ 防震包装” 的规定。 7 . 2 . 2 切割机的包装箱上应按 G B 1 9 1的规定至少应标上“ 小心轻放” 、 “ 向上” 、 “ 怕湿” 、 “ 重 心点” 、 “ 由此起吊” 五种包装储运图示标志。 7 . 2 . 3 切割机的包装箱上应按 G B 6 3 8 8的规定， 至少标上“ 产品规格” 、 “ 重量” 、 “ 体积.， 、 “ 收 发货地点和单位” 、 “ 运输号码， 运输包装收发货标志。 7 . 3 运输 切割机在运输过程中应避免大于2 . 5 9 的冲击加速 度。 74 贮存 切割机必须放在防潮， 防尘及通风良好的室内， 不得露夭存放。贮存期间每隔半年抽查一 次， 一年后全面检查一次， 消除锈迹和霉斑然后重新封箱保存。 附加说明: 本标准由电子工业部标准化研究所归口 。 本标准由电子工业部平凉半导体专用设备研究所负责起草。 本标准主要起草人: 黄燕、 赵志扬、 廖温初。