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1、I CS 3 1 . 0 2 0 I . 95 备案号: 7 0 0 -1 9 9 7 J J 中 华 人 民 共 和 国电 子 行 业. 标 准 S J / T 1 1 1 3 1 一 1 9 9 7 蒸发镀膜设备基本参数系列 B a s i c p a r a me t e r s e r i e s o f e v a p o r a t i o n p l a t i n g e q u i p me n t 1 9 9 7 - 0 9 - 0 3发布1 9 9 8 - 0 1 - 0 1 实施 中华人民共和国电子工业部发布 前言 本标准是 S J 1 0 9 8 -7 7 高真空蒸发
2、设备参数系列 , S J 1 0 9 9 -7 7 ( 超高真空蒸发设备参数 系列 合并的修订版。 本版本对前版两项标准的重要技术内容改变如下: 改变了标准名称; 根据蒸发镀膜设备的用途和发展， 对基本参数项目和数值作了补充和调整; 取消了电极对数、 离子轰击、 工作架转速、 真空系统配置等辅助性和可变动性参数。 本标准由电子工业部标准化研究所归口。 本标准起草单位: 成都南光实业股份有限公司。 本标准起草人: 陈华先、 谭丽、 康开丽。 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 S I / T 1 1 1 3 1 一1 9 9 7 蒸发镀膜设备基本参数系列 B a s i c p
3、a r a me t e r s e r i e s o f e v a p o r a t i o n p l a t i n g e q u i p m e n t 代替8 J 1 0 9 8 -7 7 盯 1 0 9 9-7 7 范 围 本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准 适用 于极限压力为3 x 1 0 - 3 P 二 一 5 x 0 - 6 P : 范围 内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。 2 定义 本标准采用下列定义。 2 . 1 极限压力u l t i m a t e p r e s s u r e 泵在工作时， 空载干燥的真空容器逐渐接近稳定的最低压力。 2 . 2 恢
4、复真空抽气时In p u m p i n g d o w n t i m e o f r e c o v e r v a c u u m 在规定的操作程序下， 蒸发室从大气开始抽至规定压力所需要的时间。 2 . 3 漏气速率l e a k t h r o u g h p u t o f a v a c u u m s e c t e m 蒸发镀膜设备真空系统， 由于漏气渗入到真空系统中、 并影响真空容器中压力的气体流 量。 2 . 4 I件加热均匀度h e a t in g u n if o r m t e m p e r a t u r e o f w o r k p i e c e s 工
5、件 烘烤时， 在被镀 工件与 烘烤装置之间， 距工件表 面规定距离处的有效加热区内的温度 均匀程度。 3 墓本参数 3 . 1 蒸发镀膜设备的蒸发室尺寸、 极限压力、 恢复真空抽气时间、 工件加热均匀度、 工件烘烤 温度调节范围和蒸发源功率应符合表1 的规定。 3 . 2 蒸发镀膜设备的漏气速率应符合表2的规定。 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 7 - 0 9 - 0 3 批准1 9 9 8 - 0 1 - 0 1 实施 一t一 S I / T 1 1 1 3 1 一1 9 9 7 表 1 参数名称 参数数值 蒸发室尺寸 mm 钟罩式( 内径)3 2 0, 4 0 0 , 5 0 0,
6、6 3 0, 8 0 0 , 1 0 00 , 1 2 5 0, 1 6 0 0 , 1 8 0 0 , 2 0 0 0 , 2 2 0 0 箱式( 宽度 ) 5 5 0, 7 0 0, 1 1 0 0 , 1 5 0 0, 1 8 0 0 极限压力 P , 挡次ABC 不加液氮(5x1 0一 6 镇Sx1 0一 (3x1 0一 7 加液氮(3 x 1 0一 簇3 x 1 0- 0 恢复真空抽气时间 mi n 从大气压抽至 1. 3 x 1 0 一 P , 落6 0 从大气压抽至 7 x1 0 一 ， P , 簇2 0 从大气压抽至 7 x 1 0 一 2 P . 毛1 5 工件加热均匀度 (
7、1 0 , 毛1 6, 落2 0, 2 5 , 毛3 2 工件供烤温度调节范围 室温一2 0 0 , 室温一2 5 0 、 室温一3 0 0 , 室温 一3 5 0 , 室温 一4 0 0 , 室温一4 5 0 , 室温一5 0 0 蒸 发 源 功 率 电 阻 蒸 发 源 每 对 ) 3 , 5 , 7 , 1 0, 1 2, 1 4, 1 6 k W 一 电 子 束 蒸 发 源 每 个 ，3 , 4 , 5 , 6, 8, 1 0, 1 5 , 2 0 , 3 0, 5 0, 1 0 0, 3 0 0 表 2 参数名称 漏气速率 P , “ I八 极限压力挡次 ABC 蒸发室尺寸 mm 3 2 0一 55 0 蕊8x1 0一 心7 x 1 0- 6 3 0一1 2 5 0 7 x 1 0一 ，簇7x1 0一 z 巧 0 0一 2 0 0 0 蕊2x1 0一 I 2 2 0 0 镇2 0