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1、rJ 中华人民共和国电子工业行业标准 S J / T 1 0 2 1 9 -9 1 薄膜电阻器制造质量控制要点 1 9 9 1 - 0 5 - 2 8 发布 1 9 9 1 一 1 2 - 0 1 实施 中华人民共和国机械电子工业部发布 中 华 人 民 共 和 国 电 子 工 业 行 业 标 准 薄膜电阻器制造质量控制要点 S J / T 1 0 2 1 9 -9 1 主颐内容与适用范围 本标准规定了薄膜电阻器制造过程质量控制的主要因素及其基本的控制方法。 本标准适用于薄膜电阻器 碳膜型、 金属膜型、 化学沉积薄膜型、 氧化膜型产品的制造过 程。其它薄膜型电阻器制造过程的质量控制也可参照本标准
2、执行。 应用本标准时， 应根据产品及制造工艺的特点， 对标准内容作适当剪裁。 引 用标准 S J / T 1 0 2 2 1 GB 5 72 9 GB 5 73 0 GB 5 73 1 GB 855 1 GB 58 34 GB 85 52 GB 72 75 S J 2 8 6 8 通用电子元器件制造质量控制指南 电子设备用固定电阻器第一部分总规范 电子设备用固定电阻器第二部分分规范低功率非线绕固定电阻器 电子设备用固定电阻器第二部分空白详细规范低功率非线绕固定电 阻器评定水平E 电子元器件详细规范低功率非线绕固定电阻器R T 1 3 型碳膜固定电阻 器评定水平 E 电子元器件详细规范低功率非线
3、绕固定电阻器R T 1 4 型碳膜固定电阻 器评定水平 E 电子元器件详细规范低功率非线绕固定电阻器R J 1 3 型金属膜固定电 阻器评定水平 E 电子元器件详细规范低功率非线绕固定电阻器R J 1 5 型金属膜固定电 阻器评定水平 E 电子元器件详细规范低功率非线绕固定电阻器R J 2 0 型金属膜固定电 阻器评 定水平 E 3 控制基本要求 3 . 1 原辅材料及零部件 3 . 1 . 1 外购、 外协原辅材料和零部件供应厂分级及其监控要求 根据原辅材料和零部件供应厂质量保证能力及质量历史， 把供应厂分为优、 良、 可、 差四 种， 并列人分级表。 优级厂的原辅材料和零部件优先大量采购，
4、 良级厂的原辅材料和零部件适量采购， 可级厂 的原辅材料和零部件少量采购; 禁止采购差级厂的原辅材料和零部件。 中华人民共和国机械电子工业部 1 9 9 1 - 0 5 - 2 8 批准 1 9 9 1 一 1 2 - 0 1实施 1一 S J / T 1 0 2 1 9一 9 1 定期对关键、 重要原辅材料和零部件供应厂的质量保证能力进行审核; 并结合原辅材料和 零部件的验收、 使用情况， 适时调整供应厂的等级和合格供应厂名单。 外购、 外协原辅材料和零部件合格供应厂清单见表 t o 3 . 1 . 2 原辅材料和零部件重要性分级及控制要求 根据对薄膜电阻器最终质量的影响， 将原辅材料和零部
5、件分为关键、 重要、 一般三类。 对关 键原辅材料和零部件重点控制. 对重要原辅材料和零部件应有效控制， 对一般原辅材料和零部 件应适当控制。 关键、 重要原辅材料和零部件重要性分级及控制要求见表 2 , I2 制造管理工程图 3 . 2 . 1 工序重要性分级 应根据工序质量对产品质量特性的影响、 工艺复杂程度及质量历史， 对工序进行重要性分 级， 将全部工序分为关键、 重要和一般三类。 对关键工序必须设置质量控制点进行重点控制; 对 重要工序应有效控制， 必要时可设置质量控制点; 对一般工序应适当控制 3 . 2 . 2 绘制制造管理工程图 根据工序重要性分级以及工序质量与产品质量相关性，
6、 确定各工序的控制项目、 要求及方 法等内容， 并绘制制造管理工程图， 参见表 3 0 13 生产设备 I11 设备点检 根据生产设备对产品质量特性的影响程度进行重要性分级， 将生产设备分为关键、 重要和 一般三类， 对关键和重要生产设备应重点维护并定期点检。 生产设备应有合格， 不合格标记。不用设备应有封存标记. 薄膜电阻器制造过程关键、 重要生产设备的点检要求见表 4 , 3 . 3 - 2 设备台时记录 设备日常使用情况应由操作人员填写设备运转台时记录( 运转时间， 停机时间， 原因) 。 3 . 4 测试仪器和设备的校准要求 应根据产品被测质量特性的重要程度、 测试仪器和设备的稳定性及
7、复杂程度， 将被测试仪 器和设备分为关键、 重要和一般三类， 并根据分级情况分别制订预防性维修计划。各类测试仪 器和设备均应定期校准。关键、 重要测试仪器和设备校准要求参见表 5 , 3 . 5 加工区环境 根据加工区环境对产品制造质量的影响， 将其划分为关键、 重要、 一般三级， 并规定每级的 最低环境要求。 关键、 重要加工区的工艺卫生等级、 温度、 湿度等要求参见表 6 , I6 失效分析 产品失效时， 应根据图 1 ( 失效分析流程图) 规定的程序进行失效分析。 失效分析用设备和仪器及其控制要求见表 7 , I了 成品检验 成品 检验包括逐批检验和周期检验。 检验批的组成、 检验周期、
8、 抽样方案、 检试项目、 检试 内容、 技术要求及试验方法均按G B 5 7 2 9 , G B 5 7 3 0 , G B 5 7 3 1 及G B 8 5 5 1 , G B 5 8 3 4 , G B 8 5 5 2 , G B 7 2 7 5 , S J 2 8 6 8 等有关产品 标准执行。 _ 应定期统计逐批检验的质量记录， 以反映制造质量受控水平。 一2 一 s ) / T 1 0 2 1 9 - 9 1 I8 质量审核 3 . 8 . 1 产品质量审核 应每个月进行一次产品质量审核。产品质量审核记录卡参见表 a , 3 . 8 . 2 工序质量审核 应每三个月进行一次工序质量审
9、核。工序质量审核记录卡参见表 9 3 . 9 人员培 11 应对各 类人员 进行定期培训， 不 合格者不得上岗。各类人员 培训要求见表1 0 , 表 1 外购、 外协原辅材料和零部件合格供应厂清单 外购、 外协 原辅材料和零部件 合格供应厂 一 供应厂分级 认证或认 定 单 位 监控措施备注 成膜材料 基体 引线 包 封 漆 帽盖( 带材) 1 每年供应厂至少应向使用厂 提供一次所供应原辅材料和零 部件的理化分析报告; z 每年使用厂将所用原辅材料 和零部件的质量情况向供应厂 反馈一次; 3 原辅材料和零部件供应厂的 认定合格有效期为三年. 标志用漆( 油 墨) 一3 一 s .1 / e 1
10、 0 2 1 9 - 9 1 。黔侧伯邢|N，胭积岭释|0一双霉岭粥|0卜水罕淇岭形|0 拓豁暴绷喇彭尔划比侧茸最盼吴其担解吸N梢 一4 一 s 1 / T 1 0 2 1 9 - 9 1 .!J刁叫阅七 唱只哭探一编积知 一L一湿辰一 一 叮找关州一日举蛾 嗯吠关圳一 绍峨架州 嗒旧沪一平，书曰翻触撇邪 a5 I 日 铆一 e- 一 竺丰些 茹、 一 -f . 曰一附脚附 涂N Nui *- IN 0 i t- *, 蛆 N O翻 1 国田职 翎团叫 联划祷 划针口 吕 国x码嗒 盆之以 平之韶1 象T另 纲尔绷呜 翻尔状 I#狡s g ; gv M s 15裂外履 叱 类 。丝缘付一。狐
11、调豪 祠日邪 调孰 皿一闪日牵一 忆切 介一。端 ， 侧 豁卡票 长 t以 f f i 们 日 各 彬麒 耸扫一埋区薪畴 翻铡牵一侧相娜圈豁太 圈胆州刮扣恻某仍粥 侧划靶扁一N立0一。一一 侧瑕垠众 教喇彭即 品拟洲弩 侧瑕婴田 侧润妞盖 卫。一皿 0一一0 O 靶属 姻众 0一0-。一C一弩田 逻于 5 一 S J / T 1 0 2 1 9 -9 1 吧代关擎，日拳蛾码泪平之彭1 .玲叫肠形|N攀积岭稍|0积契岭稍|0水霉顺脂邵!。 一调暇一柏一揣玲一诈衰 邀血一知日郑一雌，理幕碱竺祠1牵一喇翻滋太 的粥纷 0一0一0一娜切 S J / T 1 0 2 1 9 - 9 1 表 4 关键、
12、重要生产设备点检要求 关键、 重要 生产设备 点检 内容 点检用设备 和方法 合格判据 VT o 点检周期点检人员 备注 被碳炉 温度范围 真 空 度 温度计 真空计 满足工艺要求 1次/ 班操作人员 真空计 目侧 满足工艺要求 1次/ 班操作人员蒸发台 真 空度 运转 溅射台 真空度 运转 真空计 日侧 满足工艺要求1 次/ 班操作人员 喷膜设备 温度 运转 温度计 目侧 满足工艺要求1 次/ 班操作人员 化学沉积膜设 备 温度温度计满足工艺要求一 1次 /班操作人员 刻槽机 阻值 运转 槽纹质量 阻值误差分选仪 目测 放大镜 满足工艺要求 1 次/ 班操作人员 . 点焊机 运转 焊接质量
13、目测 拉力计 满足工艺要求 1 次/ 班操作人员 涂装线 运转 温度 阻值 目测 温度计 阻值误差分选仪 满足工艺要求1认 班操作人员 s .l / r 1 0 2 1 9 -9 1 一|刊|州|一 一以只粼云一辑夸 唱代啊卞 崛代喇卞 崛拭啊卞 遏 袭一 释崔乎把垢 榔田钾把雌 邢瑕钾把垢 邢国钾把辑 维留甚把垢一姗韶 能圈斟把垢一聆韶洲 路留韶男鉴一辟忆1 坦冲一叮代把擎一拍琢操婆一泌裁把彩一把垢把擎一版叹把彩 侧020 卜00的洲之0 袱01之0 洛00的叫之0 户匀0门之0 的的 卜00比之0 净00的之0 tll之的的 口芝t尸.尸尸之口尸0 口芝1.曰1“口to.0 口芝12口00
14、 口洲洲之口 口芝01才口001 口签00之口1.0 明咖 揭豁把彬率书吴沸举姐蒸豁侧朋积 澎的N 彰田。 钾币洲 麟的闪 彭的N 次旧OtO 次NOO 次的0.0 侧契 的邢 卜t+ 次曰洲 次NO 汰1.0 次1.0 侧褶绝 嘴钾瑞俐 耻拼埃侧 邻书一晨刻致圈 们创姐出超聆翻留辉嘟特 如铡牲挥招淞留御崭洲带 姆妞钾倒口轼胡侧 姆留钾侧口拭划侧 举用巾捌哆划留翻钾相姆 之缎巾翎联恻盛军 洛姻尔翎照恻叠 形黑苗孙翻 冲郭足琳毕姐澳吟洲胭职 一8 一 S J / T 1 0 2 1 9 -9 1 姗 雍 崛 益 以 姜 以 岌 崛 彗 崛 巧 以 二 崛 互 崛 聋 崛 彗 万二 牵 拍 t 不
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17、映相澳 又麟巾的N忿蟒N袍侧班呢礼妇创侧俘把串书邢书日留映相理0勺泪 一9 一 S J / T 1 0 2 1 9 -9 1 表 s 关键、 重要加工区环境要求 工 序名称超净级别温度( )湿度( 纬)测试设备测试周期( h )侧试人员 记录用表 燕发、 溅射一级1 0 - 3 0 4 5 - 7 5 温度干湿计 8操 作工记录表 喷膜二级按 工艺要 求 按工艺要求按工艺规定 按工 艺要求 沉积一级按工艺要求按工艺要求按工艺规定按 工艺要求 渗碳二级4 0 以下按工艺要求 温度干湿计 8 操作工 记录表 注 一级卫生区要求: ( a )工作间四壁、 地面、 天花板六面清沽. ( b ) 工作间
18、必须安装双层窗户， 执行闭窗作业. ( c )所有设备和仪器应用除尘、 擦拭或其它合适的方法干净后方可入内. ( d )进入工作区的原辅材料和零部件及工模夹具， 必须清洁无尘， 并按规定摆放整齐. ( e )严格控制进入工作间的人员， 非工作人员不可随意出入。 “)进入工作间的所有人员， 必须穿戴工作衣、 工作鞋、 工作帽( 头发必须放在帽内) 。 ( g ) 严禁带入非生产需要的一切物品. 工作间内严禁饮食、 吸烟、 化妆， 不得大声喧哗。 ( h ) 工作人员操作时， 应按工艺要求， 使用手套、 指套、 镊子或其它工具. 应按规定峨好口罩。 ( i )应严格除尘或擦拭、 保证设备和仪器无可
19、见灰尘或污垢. ( i )每日清扫， 每周大扫除， 保持工作间整齐清洁. 二级卫生区要求: 达到一级卫生区( a ) , ( c ) . ( f ) . ( g ) . ( h ) . ( i ) . G ) 条的规定。 图 f 失效分析流程图 S J / T 1 0 2 1 9 -9 1 表 7 失效分析设备和仪器及其控制要求 分析仪器和设备质t要求 校准或 维修周期 校准标准标准规程 状态标识 校准或 维修人员 备注 X-6 5 0 电子探针徽分析仪 ( EP MA) 按 仪 器 参 数 指 标要 求 一年标样 接仪器 校准规程 专职人员 J E M-I 0 0 0 X I 型 透射电子显
20、徽镜 按 仪 器参 数指 标要 求 一年标样 接仪器 校准规程 专职人员 表 8 产品质量审核记录卡 产品名称及型号 生产日 期 生产( 库存) 批t 审核 数量 审核日期 审核人员 ( 签字) 产品 编号 缺 陷情 况 性能外观包装 ABCABCABB 累计 审核 结论 备注 S J / T 1 0 2 1 9 -9 1 表 9 工序质量审核记录卡 工 序 名 称控制点名称 产品( 零件) 名称及代号批 次 号 审核人员审核日 期 贵任人因素控制的项目及要求审核结果处理意见 一 一 工序能力 情况 C 或C k 审核结论 被审核单位意见 年月日( 签宇) 表 1 0 生产线各 类人员培训要求 一1 2 一 S J / T 1 0 2 1 9 -9 1 续表 1 0 附加说明: 本标准由国营第七一八厂、 上海无线电一厂、 机械电子部电子标准化研究所、 天津无线电 元件九厂、 苏州电阻厂负责起草。 本标准主要起草人卢纯然、 许良、 许军、 詹秀琴、 徐良玉。