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1、中华人民共和国国家标准 UDC 8 6 9 . 7 8 2 : 5 4 8 . 2 : 5 4 3 . 叱 硅多晶气氛区熔磷检验方法G B 4 0 5 9 -8 3 P o l y c r y s t a l l i n e s i l i c o n -E x a mi n a t i o n me t h o d -Z o n e - me l t i n g o n p h o s 曲o r u s u n d e r c o n t r o l l e d a t mo s p h e re 本标准适用于三氯氢硅及四氯化硅氢还原在细硅芯上 沉积硅多晶所生长出来的硅多晶棒。 检测杂质 浓
2、度有 效范围0 . 0 2 一 2 0 p p b a o N型电阻率范围1 0 一 2 0 0 0 Q- c m. 1 方法原理 1 . 1 原理 利用 硅区 熔时硅中磷硼的 有效分 凝系 数的差 别及磷硼从硅中 蒸发 速率的差 别。 1 . 2 方法 气氛区熔法。 试样制备 2 . 1 取样部位 除 在 桥形 硅多 晶 棒 硅 芯 搭 接处或 者 直 的 硅 多 晶 棒 离石 墨卜 头I O m m 一 段 外 均 可 取 样 ( 如图1 ) a 2 ， 2 试 样尺寸 直径1 0 一 4 0 mm o 长度7 0 一 2 0 0 m m o 2 3 试 样处 理 2 . 3 . 1 在化
3、 学 纯丙酮中 洗样去油。 2 . 3 . 2 用化学纯乙醇清洗2 。 一3 0 s 后用电 阻率大于I O M S 的去离子水冲洗。 2 . 3 . 3 在优级纯HF : HN 0 3 = 1 : ( 3 一5 )体积的混合酸液中 腐蚀2 m i n x 2 . 3 . 4 在第二份优级纯H F: HNO3= 1 0 ( 3 一5 )的混合酸液中 腐蚀2 m i r y : 一: 一: 用电阻率大于1 0 M 5 2 的去离子水冲洗试样至中 性 将试样经超声波或用去离子水多次煮沸，洗涤，烘干，包装待用。 3 仪器设备 内热式区熔炉。 4 籽晶制备 4 . 1 籽晶 规格 电阻率大于3 0 0
4、 5 2 “ c m的N 型 1 1 1 )硅单晶。 切成5 m x 5 m x 5 0 m m o 4 . 2 籽晶处理 同2 . 3 试样处理。 5 检验条件 5 . 1 气氛要求 国家标准局1 9 8 3 一 1 2一 2 0 发 布 1 9 8 4 - 1 2- 0 1 实施 CB 4 0 5 9- 6 3 细硅芯 不允许取样部价 图 1 5 . 1 . 1 气氛种类 氢气、氢气或氢氢混合气。 5 . 12 气氛规格 露点 低于一 4 5 *C . 氧含量小于5 p p -。 5 . 2 区熔次数 I 一2 次成单晶。 5 . 3 区熔速度 提纯速度6 一S m m / m i n .
5、 成晶速度3 5 m m/ m i n . 5 . 4 熔区高 度 等于检验棒直径。 5 . 5 熔区行程 大于1 0 个熔区。 5 . 6 检验结果尺寸 直 径1 2 1 2 m m . 长度大于1 0 个熔区。 6 测试方法 6 . 1 6 4 4 导电型号的测试 GB “ 0 5 9 -6 3 采用G B 1 5 5 0 -7 9 ( 硅单晶导电类型测定方法测试。 6 . 2 纵向电阻率的测试 采用G B 1 5 5 1 - 7 9 ( 硅单晶电 阻率直流二探针测量方法测试。 7 检磷电阻率的取值 硅多晶试样经区熔检验后要求全部成N型单晶。测试结果纵向电阻率曲线分布接近理论曲线 ( 如
6、图2 )。取从第一 熔区起到检验棒长的8 0 %处的电阻率值为未扣除基硼补偿的检磷电阳率值。 P( Q. c m) 图2L ( m )2 舀 复检 若检验结果的棒料测试为P型、混合型、电 阻率分布很不正 常或者在区 熔检验过程中 有放花、 打 火等现象均应进行复检。 GB 4 0 5 9 -8 3 附录A ( 补充件 ) A . 1由于硅多晶产品标准对气氛区 熔检磷的硅多晶有寿命参数的要求，本标准采用G B 1 5 5 3 -7 9 ( 硅单 晶寿命直流光电导衰退测a方法M 9 试。 附加说明: 本标准由中华人民共和国冶金工业部提出。 本标准由峨嵋半导体材料厂负责起草。 本标准主要起草人赵祖培
7、。 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/