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1、U D CL 3 2 6 2 1 . 3 1 5 . 6 1 2 CG 8 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 G s / T 1 4 6 2 0 一 9 3 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 Al u mi n a c e r a mi c s u b s t r a t e s f o r t h i n f i l m i n t e g r a t e d c i r c u i t s 1 9 9 3 一 0 9 一 0 3 发布1 9 9 3 一 1 2 一 0 1 实施 国家技术监督局 发 布 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片 GB /
2、 T 146 20一 93 Al u m i n a c e r a m i c s u b s t r a t e s f o r t h i n f i l m i n t e g r a t e d c i r c u i t s 1 主题内容与适用范围 本标准规定了薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片的结构尺寸、 技术要求、 试验方法、 检验规则、 标志、 包装、 运输、 贮存。 本标准适用于薄膜集成电路用氧化铝陶瓷基片( 以下简称基片) 。 引用标准 G B 1 0 3 1 表面粗糙度参数及其数值 G B 1 9 5 8 形状和位置公差 检测规定 G B / T 2 4 1 3 压电陶瓷材料
3、体积密 度测量方法 G B 2 8 2 8 逐批检查计数抽样程序及抽样表( 适用于连续批的检查) G B 2 8 2 9 周期检查计数 抽样程序及抽样表( 适用于生产 过程稳定性的检查) G B 5 5 9 2 电子元器件结 构陶瓷材料的名称和牌号的命名方法 G B 5 5 9 3 电子元器件结 构陶瓷材料 GB 5 5 9 4 . 3 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法平均线膨胀系数测试方法 G B 5 5 9 4 . 4 电 子元器件结构陶瓷材料性能测试方法 介质损耗角正切值的测试方法 GB 5 5 9 4 . 5 电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法体积电阻率测试方法 G B 5 5 9
4、8 氧化傲瓷导热系数测定方法 G B 9 5 3 1 电子陶瓷零件通用技术条件 结构尺寸 基片的长、 宽、 厚和最小孔尺寸列于表l , 表 1 长 X宽 厚度 最小孔尺寸 (1 1 5 X 1 1 5的所有尺寸 0 . 2 - 1 . 0 最小直径护0 . 2 5 最小边长0 . 4 0 3 . 2 相邻两孔之间的壁厚或边与孔间 距离不小于基片的厚度， 且不小于。 . 5 m m , 4 技术要求和试验方法 4 . 1 材料性能和试验方法列于表 2 , 国家技术监督局1 9 9 3 一 0 9 一 0 3 批准1 99 3一 1 2一 01实施 GB/ T 1 46 20一 93 表 2 材
5、料性 能 试 验 方 法 项 目测 试 条 件单位 A 9 9 . 6 9 9 . 6 写 A 1 2 0 3 瓷 状 态 颜 色 体 积 密 度 吸 水 率 维氏硬度 抗弯强度 线 膨 胀 系 数 导 热 率 比 热 最高使用温度 击穿强度 体积电阻率 介电常数 ( 电 容 率 ) 介质损忙 角正切值 负荷 4 . 9N 2 0 5 0 0 C 2 0 - 8 0 0 C 2 0 C 2 0 C 3 0 0C 5 0 0C I M H z I M H z g/- % GPa 州 P a 1 X 1 0 - mm/ 0C W / ( m K) k J / ( k g K) k V/ mm n
6、c m 细 密 白色 3 . 8 0 1 6 . 2 3 4 3 6 . 5 - 7 . 5 6 . 5 - 8 . 2 2 5 . 1 O . 8 0 1 6 0 0 1 2 1 0 1 0 “ ) 1 0 1 9 . 5 - 1 0 . 5 成 2 X1 0 - 按GB 2 4 1 3 按GB 5 5 9 3 3 . 5 条 按G B 5 5 9 4 . 3 按G B 5 5 9 8 按 G B 5 5 9 3 3 . 1 5 条 按G B 5 5 9 4 . 5 按GB 5 5 9 3 3 . 1 0 条 按 GB 5 5 9 4 . 4 4 . 2 抗热震性 4 . 2 . ， 基片经
7、抗热震性试验后应无裂纹和破碎。 4 . 2 . 2 用基片 作试样做抗热震性试验， 其试验方法按G B 5 5 9 3 第3 . 7 条。 4 . 3 外观 4 . 3 . 1 外观缺陷项目的术语采用 G B 9 5 3 1 第 1 章。 4 - 3 . 2 外观要求和试验方法列于表 3 , Gs/ T 1 462 0一 9 3 表 3 mm 外观要求 试 验 方 法 项 目最大允许值 裂 纹 场贫 在灯光下用 2 0倍刻 度显徽镜进行检查。 对裂纹检查， 必要 时可用浸色掖后再行目 测 。 瓷 泡 室扣 凸脊 价呀 脚 毛 刺 朴贬 针孔或麻点不允许 凹 坑 菠 藏 痕 迹 深 0.0 1
8、缺 损 篡 0. 2i-t a 片 厚 度 的 一 ，!习劲 斑 点不允许 4 . 4 公 差 4 . 4 . 1 公差项目、 数值列于表 4 G B / T 1 4 6 2 0 一9 3 表 4 n、nl 公差项目 数值 优 级 1级2 级 厚 度 公 差 长、 宽度公差 戈 9 线 公 差 翘曲度 垂 直 度 平 行 度 士 7 % ( 但不小于0 . 0 5 ) 士 0 . 5 % ( 但不小于。 . 0 8 ) 士 。 . 5 % ( 但不小于。 ， 0 8 ) 0 . 0 5 / 2 5 ( 长) 长度尺寸的 。 . 3 % 长度尺寸的 。 . 3 % 士 1 0 % ( 但不小于0
9、 . 0 5 ) 士 0 . 8 % ( 但不小于0 . 1 0 ) 士 0 . 8 % ( 但不小于。 . 1 0 ) 0 . 0 8 / 2 5 ( 长) ( 但不小于。 . 0 5 ) 长度尺寸的。 . 4 % 长度尺寸的。 . 4 % 士 1 0 写 ( 但不小于0 . 0 5 ) 士 1 % ( 但不小于0 . 1 0 ) 士 1 % ( 但不小于0 . 1 0 ) 0 . 1 0 / 2 5 ( 长) ( 但不小于。 . 0 5 ) 长度尺寸的0 . 5 % 长度尺寸的。 . 5 % 4 . 4 . 2公差项目所对应的测量方法列于表 5 , 表 5 公差项目 厚度公差长、 宽度公差
10、划线 公 差 侧 量 方 法 用千分表、 游标卡、 光学仪或其他能够保证测量精度的任何量、 仪具 翘曲度 平行板法: 在基片自重作用下， 以4 5 。 角通过已经调整好间距的两平行板者为合格品 通过间距二翘曲度X基片长度+基片厚度 平 行 度 按G B 1 9 5 8 标准中有关规定测量 垂 直 度 按GB 1 9 5 8 标准中有关规定测量 4 . 5 表面粗糙度 4 . 5 . 1 R , -O . 2 p m, 4 - 5 . 2 用针触式表面粗糙度测量仪进行测量。 5 检验规则 5 . 1 基片分交收检验和例行检验。 5 . 2 所有检验均在供货单位质量部门 进行， 必要时订货单位也可
11、以派人共同进行， 供货单位提供检验 所需要的一切条件， 并对检验结果负责。 5 . 3 订货单位有权按本规则对提交批进行复验。 5 . 4 交收检验按G B 2 8 2 8 采用一次正常抽样方案， 其检验项目、 检查水平、 合格质量水平列于表6 0 表 6 检验项目 技术要求和试验方法 条款 检查水平 ( I L ) 合格质量水平 ( A QL ) 外观 裂 纹 4 . 3 I 0. 2 5 2 . 5 0 其 他 公差 翘曲度 4 . 4 S- 4 1 . 0 其 他 t 5 . 5 若交收检验不合格， 该批瓷 件应进行百分之百挑选后再次提交检验， 但必须使用加严检查， 若加严 GB / T
12、 146 20一 93 检查仍不合格， 则不 得再次提交验收。 6 例行检验按G B 2 8 2 9 ， 采用判别水平为， 一次抽样方案， 其检验项目、 检查周期、 不合格质量水平 ( R QL ) , 判定数组( A - R , ) 列于表 7 , 表 7 检 验 项 目 技术要求和试验 方法条款 检查周期 ， ( 月 ) R QLAR 材料性能 4 . 1 按 G B 5 5 9 3第4章进行例行试验 抗热展性 4 . 261 501 表面粗糙度4 .563 0 0 1 5 . 7 若例行检验合格， 则本周 期生产的 基片经交收检验合格的 批可以出厂或入 库。若例行检验不合格 则本周期生产
13、的基片停止交收， 并将已经交收检验而未出厂的基片停止出厂， 已出厂的基片原则上退回 供货单位或双方协商解决。 标志、 包装 、 运输、 贮存 标志、 包装、 运输、 贮存按G B 9 5 3 1 第6 章。 附加说明: 本标准由中华人民共和国机械电子工业部提出. 本标准由国营七九九厂负责起草。 本标准主要起草人王秀琳、 王玉功。 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/