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1、中华 人 民共 和 国国 家 标准 无损检测术语泄漏检测 T e r mi n o l o g y f o r n o n d e s t r u c t i v e t e s t i n g -L e a k t e s t i n g G B / T 1 2 6 0 4 . 7 一 1 9 9 5 1 主面内容与适用范围 本标准规定了在泄漏检测的一般概念， 泄漏检测设备、 器件和材料， 泄漏检测方法中使用的术语。 本标准适用于泄漏检测。供制定标准和指导性技术文件及编写和翻译教材、 图书、 刊物等出版物时 使用。 2 泄派检测的一般概念 2 . 5 2 . 6 2 . 7 泄 漏检测 le
2、 a k t e s t in g 检测泄漏或对泄漏定位或定量的方法， 或三者兼备的方法。 大 气压 力 a t m o s p h e r ic p r e s s u r e 在特定地点和时间的大气的压力。 同义词: 大气压强 大气压( 标准) a t m o s p h e r e ( s t a n d a r d ) 0 时， 在标准重力加速度下， 7 6 0 m m高汞柱所产生的压力， 相当于1 0 1 3 2 5 P a , 绝对压力 a b s o l u t e p r e s s u r e 与真空空间相对应的绝对零值以上的压力， 即地区大气压力加上表压力。 同义词: 绝对
3、压强 表压力 g a g e p r e s s u r e 绝对压力与大气压力之差。 同义词: 表压 压力 差 p r e s s u r e d if f e r e n c e 漏孔入口侧的压力与漏孔出口侧的压力之差. 同义词: 压强差 分压 力 p a r t ia l p r e s s u r e 由一种气体本身产生或是有其他气体存在时产生的压力。当不存在第二种气体时， 分压力与总压 力相同( 见表1 ) , 同义词: 分压 2.12.22.32.4 国家技术监怪局 1 9 9 5 一 1 2 一 2 0 批准1 9 9 6 一 0 8 一 0 1 实施 G B / T 1 2 6
4、 0 4 . 7 一 1 9 9 5 表 1 大气成分与分压力 成分体积， %分压力， k P a ( 0 . 2 1 只1 0 1 =) 2 1 ( 0 . 7 8 X 1 0 1 =) 7 9 ( 0 . O I X 1 0 1 = ) 1 总计大气压力， 1 0 1 21781 在海平面( 大气压力为1 0 1 k P a ) 氧气 氮气 其他气体 在海拔 3 7 0 0 -( 大气压力为6 4 k P a ) ; 氧气 氮气 其他气体 ( 0 . 2 1 X6 4 = ) 1 3 ( 0 . 7 8 X 6 4 = ) 5 0 ( 0 . 0 1 X6 4 = ) 1 总 计大气压力，
5、6 4 舒781 2 . 8 等效氮压力 e q u i v a l e n t n i t r o g e n p r e s s u r e 如果装置内的气体用相同分子密度的氮气代替时， 由压力计或其他仪表所指示出的计算压力。 同义词: 等效氮压 2 . 9 牛仁 顿 n e w t o n ( N ) 国际单位制中力的单位( k g m / s ) o 2 . 1 0 帕 斯卡 帕 P a s c a l ( P a ) 1 P a 约等于 1 X 1 0 - a t m， 或更确切地说， 1 P a =0 . 9 8 6 9 2 X1 0 -a t m, 2 . 1 1 微米( p m
6、 ) m ic r o m e t r e ; m ic r o n 长度单位， 等于 l m的百万分之一。 2 . 1 2微 米 汞 柱 m ic r o n o f m e r c u r y 压力单位， 等于l y m高汞柱产生的压力。 2 . 1 3毫米汞柱 m ill im e t r e o f m e r c u r y 压力单位， 等于标准重力加速度下1 m m高汞柱产生的压力， 有时称为托( T o r t ) . 2 . 1 4 前级压力 f o r e p r e s s u r e 在靠近泵出口处测出的泵出口侧的总压力。 在讨论喷汽的作用时， 术语前级压力可用来表示喷汽
7、 冲击气体的总压力。 同义词: 背压 b a c k p r e s s u r e ; 抽气压力e x h a u s t p r e s s u r e ; 排气压力 d i s c h a r g e p r e s s u r e ; 出口压力 o u t le t p r e s s u r e , 2 . 1 5 蒸汽压力 v a p o r p r e s s u r e 当固体或液体与其蒸汽平衡时， 该蒸汽所产生的压力。 2 . 1 6 气体g a s 物质的一种形态， 在此形态下， 分子实际上不受分子间力的约束， 因而分子能自由地占据密闭体 内的整个空间。在真空技术中， 气体
8、这个词在不严格的情况下， 也已应用于真空系统中的不凝结 气体和蒸汽。 2 . 1 7 理想气体 i d e a l g a s 一种遵循波义耳定律( B o y l e s l a w ) 并具有自由膨胀无热效应 或者也遵循查理定律( C h a r l e s l a w ) 的气体。 同义 词: 完美 气体p e r f e c t g a s 2 . 1 8 非 冷凝气体 n o n c o n d e n s a b le g a s 一 种温度高于其临界温度的气体， 这种气体单靠增压不能液化。 2 . 1 9 分 子流 m o le c u la r f lo w c s / T 1
9、 2 6 0 4 . 7 一 1 9 9 5 在气体分子平均自由程大于通道横截面最大尺寸的条件下， 通过通道的气流。 2 . 2 0 粘滞流 v is c o u s f l o w 在气体分子平均自由程远小于通道横截面最小尺寸的条件下， 通过通道的气流。 这种流可能是层 流， 也可能是湍流。 2 . 2 1 泊萧流 P o i s e u i l l e f l o w 层状粘滞流通过圆形截面长管时的特殊情况。 2 . 2 2 过渡流 t r a n s i t i o n f l o w 介于层状粘滞流与分子流之间的气流。 同义词: 克努森流K n u d s e n f l o w 2
10、. 2 3 流速 f l o w r a t e : . 气体通过系统给定截面的速率， 用单位时间内通过的气体体积与该截面上它的( 分) 压力的 乘积来确定; b . 在通气管两端或孔的两侧， 气体分压力差与该通气管或孔的导气率的乘积， 以单位时间内压 力 一 体 积 表 示， 如P a m / s e 同义 词: 流量f lo w ; t h r o u g h p u t 2 . 2 4帕 斯卡 立 方米 每 秒 p a s c a l c u b ic m e t r e s p e r s e c o n d ( P a m / s ) , 国际单位制中推荐的气体流量单位。1 P a
11、“ m / s 约等于 l o a t m “ c m / s ， 或更确切地说， l P a m / s =9 . 8 6 9 2 a t m c m, / s . 2 . 2 5 流西克l u s e c 流 速 的 单 位， 等 于。 . 1 3 3 m P a m 丫 “ 。 2 . 2 6 克流西克 c l u s e c 一种已不用的流速单位， 等于1 0 - 1 流西克。 2 . 2 7 漏孔le a k 密闭体壁上的孔洞， 在壁两侧压力差或浓度差的作用下， 液体或气体能从壁的一侧穿到另一侧， 而与流体的流量无关。 2 . 2 8 漏隙 a p e r t u r e le a
12、k 几何形状为漏道的长度远小于其最小直径的一种漏孔， 因此， 可认为这种漏孔等效为无限薄壁上 的一个通孔。 2 . 2 9 分子 漏孔 m o le c u la r le a k 几何形状为气流通过时遵循分子流定律( K n u d s e n s l a w) 的一种漏孔。流量与两端压力差成正 比， 与该气体分子量的平方根成反比。 2 . 3 0 粘滞 漏孔 v is c o u s le a k 几何形状为气流通过时呈“ 粘滞” 性， 即气流遵循泊萧定律( P o i s e u i l l e s l a w) 的一种漏孔。流速与 两端压力平方差成正比， 与气体粘滞性成反比。 2 .
13、3 1 虚漏 v i r t u a l l e a k 在真空系统中因捕获气体的缓慢释放而造成有漏孔的假象; 或由于系统在抽空前， 曾暴露在大气 压下， 在升压率检测时， 系统中所有材料的表面上和细孔内都在缓慢地释放所吸附或吸留的气 体， 从而造成真空系统中有漏孔的假象。 2 . 3 2 漏率 le a k a g e r a t e 在给定温度和漏孔两侧规定压力差的条件下， 液体或气体通过漏孔的流速。对气体来说， 标准条 件是 2 5 和 1 0 0 k P a ,漏率可用不同的单位表示， 如P a “ m丫s 或 P a “ L / s ( 见表 2 ) . G s / T 1 2 6
14、0 4 . 7 一 1 9 9 5 表 2 泄漏检测用的单位换算系数 被换算单位换算后单位 换算系数 漏率 a r m . c m / s mi c r o n l i t r e s / s mic r o n f t / h p a s c a l l i t r e s / s S T D c m / s T o r r l i t r e s / s p am / s P a m / s P a in , / . P a m“4 P a. m/ii P a. m/ii 1 . 0 1 X 1 0 - 1 . 3 3 X1 0 - 1 . 0 5 X 1 0 - 0 1 . 0 0 X
15、1 0 - 1 . 0 1 X1 0 - 1 . 3 3 X 1 0 - 压力 PaPaPaPaPaPaPa a t mo s p h e r e ( s t d ) b a r m i c r o m e t r e o f H g m i c r on PaPa mmm m il li m e t r e o f H g p o u n d s - f o r c e / i n To r r 粘度: c e n t t p o i s e p os e 体积: c m f t l i t r e 1 . 0 1 X 1 0 1 . 0 O X 1 0 1 . 3 3 X1 0 - 1 .
16、 3 3 X1 0 - 1 . 3 3 火1 0 6 . 8 9 X 1 0 1 . 3 3 X 1 0 1 . 0 O X 1 0 - 1 . 0 O X 1 0 - 1 . 0 O X 1 0 - “ 2 . 8 3 X 1 0 1 . 0 0 X 1 0 - 2 . 3 3 2 . 3 4 2 . 3 5 2 . 3 6 2 . 3 7 2 . 3 8 2 . 3 9 2 . 4 0 2 . 4 1 4 0 0 标准 漏率 s t a n d a r d le a k a g e r a t e 在入口压力为0 . 1 MP a 士5 %、 出口压力小于 AN, 温度为2 5 士5 及露
17、点低于一2 5 的条件 下大气的流动速率。 最小可 探测漏率 m in im u m d e t e c t a b le le a k a g e r a t e 在检测期间， 当有漏孔存在时， 某一给定检漏仪能够明确检出的最小漏率值。 泄 人率 in - le a k a g e r a t e 在特定抽空的容器中所有漏孔产生的漏率之和， 以单位时间内的压力一 体积单位表示。 同义词: 渗入率 渗透系数 p e r m e a b i l i t y c o e f f ic i e n t 在给定温度和每单位压差下， 气体通过单位面积和单位固体屏康厚度的稳态流动速率。 同义词: 透气系数
18、 导气 率 c o n d u c t a n c e 气体流经导管或通气孔的流速( 在稳态守恒条件下) 与导管两端或通气孔两侧气体的分压差之 比， 以单位时间内 体积单位表示， 如m / s , 流阻r e s is t a n c e ( t o f l o w) 导气率的倒数。 灵敏度 s e n s i t i v i t y 对于检漏仪来说， 系指检诵仪对示踪气体泄漏的响应( 即单位漏率显示的表盘刻度值) 。 泄漏检测灵敏度 s e n s i t i v i t y o f l e a k t e s t 在规定条件下， 仪器、 方法或系统能够检出的最小漏率。 检 漏仪的 动态灵
19、敏度 d y n a m ic s e n s it iv it v o f le a k d e t e c t o r G B / T 1 2 6 0 4 . 7 一 1 9 9 5 2 . 4 2 2 . 4 3 2 . 4 4 2 . 4 5 2 . 4 6 2 . 4 7 2 . 4 8 2 . 4 9 2 . 5 0 2 . 5 1 2 . 5 2 在规定条件下， 对被检密闭体连续进行有效地抽空时， 检漏仪能够检出的最小漏率。 本 底 信 号 b a c k g r o u n d s ig n a l 因存在残留的示踪气体或其他会引起检测元件响应的物质， 而使检漏仪产生稳定的或波
20、动的输 出信号。 漂移 d r i f t 由于电子学上的原因， 而不是示踪气体量的变化引起的检漏仪本底输出电平出现相对缓慢的变 化。 氮漂移 h e l i u m d r i f t 用探头进行泄漏检测时， 距探头端部一定距离处的漏孔或可渗透垫圈引起的漂移。 这种漂移被探 头检出， 可能使操作者误认为探头附近区域有泄漏; 或由于探测管中氦浓度的缓慢变化( 因泄漏 或释气) 而引起检漏仪输出仪表指针的逐渐漂移， 以单位时间内的移动刻度数表示。 扩散d i f f u s io n 气体穿过一种物质的流动， 实际上气体是通过该物质的晶格的迁移， 而不是通过几何漏孔( 孔径 可与分子直径相比)
21、的泄漏。 散 射 s c a t t e r in g 由于分子或离子间的碰撞而引起的向各个方向的弥散或扩散。适用于质谱管中残留气体或通过 该管的离子束的效应。 吸收 a b s o r p t io n 气体渗入或结合到固体( 或液体) 内部。 吸留 o c c l u s i o n 固化时， 固体内捕获的不溶解的气体。 吸着 s o r p t i o n 通过吸收、 吸附、 化学吸着或这些过程的任一组合采集气体。 密 封 t ig h t 根据规定的技术条件进行检测而无泄漏。 严格气密的密封 h e r m e t ic a l l y t i g h t s e a l 当将对压力侧
22、气体敏感的商用检漏仪置于相对一侧进行动态检测， 或使用任何形式的液体检测， 均未显示泄漏的密封. 真空 v a c u u m 在真空技术中， 指气体压力低于大气压力的给定空间。真空度按压力范围可区分为低真空、 中真 空、 高真空、 甚高真空和超高真空( 见表3 ) , 表 3 真空度 真空度 低真空 中X空 高真空 甚高X空 超高X空 近似的压力范围 1 0 0 k P a -3 k P a U P - 0 . I N 0 . 1 P . - 0 . 1.P. 0 . 1 m P a -0 . 1 p P a G0 . 1 . P . 2 . 5 3 除 气 o u t g a s s in
23、 g 使材料在真空中逸出气体。 2 . 5 4 烘烤 b a k e - o u t 在抽气过程中， 用加热方法使真空系统脱气。 G s / r 1 2 6 0 4 . 7 一 1 9 9 5 2 . 5 5 2 . 5 6 2 . 5 7 2 . 5 8 2 . 5 9 2 . 6 0 2 . 6 1 2 . 6 2 2 . 6 3 2 . 6 4 2 . 6 5 2 . 6 6 2 . 6 7 2 . 6 8 2 . 6 9 2 . 7 0 4 02 粗 抽 r o u g h in g 真空系统的初始抽空。 抽 气时间 p u m p - d o w n t im e 抽空的时间。 节流
24、t h r o t t l i n g 通过局部关闭阀门或安装一段低导气率管道来降低抽气系统的净抽气速度。 清除 c le a n - u p 泄漏检测系统的信号输出减少到示踪气体停止进人泄漏系统时所指示信号的3 7 %所需的时间。 同 义 词: 清 除 时 间c le a n - u p t im e 响 应时 间 r e s p o n s e t im e 检漏仪或泄漏检测系统产生的输出信号达到连续对被检系统施加示踪气体所获得最大信号的 6 3 % 时所需的时间。 同 义 词: 响 应r e s p o n s e 响 应系 数 r e s p o n s e f a c t o r 卤
25、素检漏仪对0 . 3 MP a / s 或更小流量的1 2 号致冷剂 二氯二氟甲烷( C C I , F ) 的响应除以对等量 的其它卤素检测气体的响应。 因此， 被检出漏孔的实际漏率将是检漏仪指示值乘以响应系数。 示 踪气体与非卤素气体混合物的响应是示踪气体的响应系数除以示踪气体在检测气体中所占的分 数。 升 压 率 r a t e o f r is e 用阀门将真空系统与泵突然隔离后， 在给定时间内真空系统的压力上升的时间速率。 在测量升压 率时， 系统的体积和温度应保持不变。 浓度比 c o n c e n t r a t io n r a t i o 一种( 气体) 混合物中某种成分的
26、原子( 分子) 数与该混合物中的原子( 分子) 总数之比。对于理想 气体来说， 浓度比与该成分的体积分数或分压力相同 前 级空间 b a c k in g s p a c e 前级泵( 预真空泵) 与连带的扩散泵( 或要求预真空泵的其他类型的泵) 之间的空间。 前级罐 b a l l a s t 当预真空泵暂停时， 能维持低的前级压力的足够大的前级空间。 同义词: 气镇罐 原 子质量单位 a t o m ic m a s s u n it ( a m u ) 粒子( 原子、 分子、 离子等) 质量的量度单位， 定义为碳原子1 2 质量的1 / 1 2 。 以原子质量单位表示 的粒子质量的数值与
27、过去采用的原子量相同。 质 量 数 m a s s n u m b e r 最接近原子质量的整数， 可用原子质量单位或( 化学的) 原子量表示。 平 均自 由 程 m e a n f r e e p a t h 一个分子与其他分子连续碰撞中所经过的平均距离。 电 离电 位 io n iz a t io n p o t e n t ia l 从一个原子或分子中移去一个电子以形成一个正离子所需要的最小能量， 以( 电子) 伏特表示。 质谱m a s s s p e c t r u m 在质谱仪内处理某一给定物质时， 产生各种质量的离子， 质谱是表示离子相对数量的记录、 曲线 图或表格等。 遮蔽 m
28、 a s k i n g 将被检件的一部分覆盖， 以防止示踪气从覆盖部分可能存在的漏孔中进入。 G B / T 1 2 6 0 4 . 7 一 1 9 9 5 2 . 7 1 2 . 7 2 同义词 : 遮挡 离解d is s o c ia t i o n 一种物质分解成两种或更多种成分。 同义 词: 裂解; 分解c r a c k in g 淹没系统 f lo o d e d s y s t e m 检测时， 已为示踪气体所充满， 以致不能进一步实施泄漏检测的系统。 3 泄漏检测设备、 器件和材料 3 . 1 检漏仪 l e a k d e t e c t o r 检测、 定位、 测量或兼而
29、有之的检漏装置。 3 . 2 质谱 检漏仪 m a s s s p e c t r o m e t e r le a k d e t e c t o r 一种调节到仅对示踪气体有响应的质谱仪。 3 . 3 氦检 漏 仪 h e liu m le a k d e t e c t o r 用氦气作为示踪气体的检漏仪。 3 . 4 超声波 检漏仪 u lt r a s o n ic le a k d e t e c t o r 能探测出由分子湍流产生的 超声波能量并能将此能量转换成有用信号的 仪器。 分子湍流是在气体 通过小孔时从层流转变为湍流而发生的。 3 . 5 火花 线圈检 漏仪 s p a
30、r k c o i l le a k d e t e c t o r 泰斯拉( T e s l a ) 型高频放电线圈， 通过线圈铁心与针孔之间的触发火花揭示玻璃真空系统中的针 孔 3 . 6 把屏 检漏仪 p a lla d iu m b a r r ie r le a k d e t e c t o r 用氢气作为示踪气体并以氢气通过热把屏扩散进入抽空真空计为原理的一种检漏仪 3 . 7 差动 检漏 仪 d if f e r e n t ia l le a k d e t e c t o r 在带有捕集器的桥式电路中采用两根相似的测流速管， 有选择地捕集该系统与任一测流速管之间 的示踪气体
31、。 3 . 8质 谱 管 s p e c t r o m e t e r t u b e 质谱检漏仪的敏感元件。 3 . 9卤 素 检 漏 仪 h a lo g e n le a k d e t e c t o r 一种对卤素示踪气体有响应的检漏仪， 亦称为卤素敏感检漏仪或卤化物检漏仪。 a . 卤化物喷灯， 由一个能将火焰喷射在铜板或屏上的本生灯和一根带有取祥探头的可将示踪气 体输送到本生灯进气口的软管组成。 同义 词: 铜一 火 焰检测 仪c o p p e r - f la m e d e t e c t o r b碱离子二极管卤素检漏仪， 它依靠卤素分子进入敏感元件时加热铂阳极正离子发
32、射的变化进 行检测。 3 . 1 0 碱离子二极管a l k a l i io n d i o d e 一种卤素气体传感器。 3 . 1 1 放射 性同 位素 泄 漏检测系 统 r a d io is o t o p e le a k t e s t s y s t e m 使用放射性示踪气体和一个测量示踪气体发射用的探测器的一种泄漏检测系统。 3 . 1 2 放电管泄漏指示器 d i s c h a r g e t u b e l e a k i n d i c a t o r 一根与被检系统相连的玻璃管， 玻璃管带有电极， 与高频高压电源连接， 如泰斯拉线圈或感应线圈， 当有合适的示踪气体
33、( 甲烷、 二氧化碳、 乙醇) 流过漏孔时， 便能观察到放电颜色的变化。 3 . 1 3 ff 响泄漏指示器 a u d i b le le a k i n d i c a t o r 检漏仪的附件， 能将输出信号转变为音响指示， 音响的频率是漏率的函教 G f f / T 1 2 6 0 4 . 7 一 1 9 9 5 同 义 词: 声 响 器s q u e a le r 3 . 1 4 探头 p r o b e 一种用于引导或收集示踪气流的一端有孔的管子。 同 义 词: 压 力 探 头p r e s s u r e p r o b e 3 . 1 5 比 例 探头 p r o p o r
34、t io n in g p r o b e 能使样品与纯空气的比例在1 0 0 %样品和 1 0 0 %纯空气之间改变， 而从探头流出的总流量无明显改 变的一种探头。 3 . 1 6 取样 探头 s a m p li n g p r o b e 用来采集被检件上某一区域逸出的示踪气体和在规定的减压条件下将示踪气体馈送给检漏仪的一 种器件。 同义词: 采样探头; 吸气探头s n i f f i n g p r o b e 3 . 1 7 喷 射 探头 s p r a y p r o b e 将一小束示踪气体喷向进行真空检测的工件用的器件。 3 . 1 8 质谱仪 m a s s s p e c
35、t r o m e t e r ( M . S . ) 一种能够分离不同质荷比的电离分子并能分别测定离子流的仪器。 质谱仪可用作真空计， 其输出与 特定气体的分压成正比， 也可作为对特定示踪气体敏感的检漏仪， 或者作为确定气体混合物成分百分率 的分析仪器。 3 . 1 9 迪姆普斯特质谱仪 D e m p s t e r ( M. S . ) 离子首先由电场加速通过一条狭缝， 然后由磁场使其偏转 1 8 0 0 ， 通过第二条狭缝。 3 . 2 0 B - J M质谱仪B a i n b r id g e - J o r d a n ( M. S . ) 离子由 径向静电 场和使离子偏转6 0
36、 的磁场分离。 这样安排能使在给定速度差时， 电场中离子的发 散正好为磁场中离子的发散所补偿。 3 . 2 1 波利克尼质谱仪B l e a k n e y ( M. S) 离子由交叉的电场和磁场分离。 同义词: 交叉场质谱仪 c r o s s f i e l d s ( M. S . ) 3 . 2 2 尼尔质谱仪 N ie r ( M. S . ) 迪姆普斯特质谱仪的一种改进型， 用磁场偏转离子。 3 . 2 3 渡越时间质谱仪t i m e o f fl i g h t ( M. S . ) 气体由脉冲调制的电子束电离， 每群离子被加速射向离子收集器， 但不同质荷比的离子以不同的时 间
37、通过其行程。 3 . 2 4 射频质谱仪 r a d i o - f r e q u e n c y ( M . S . ) 离子经加速进入射频分析仪， 在分析仪中， 质荷比选定的离子加速通过交替连接到射频振荡器的一 系列隔板上的孔进入静电场， 而静电场只允许在分析仪内被加速的离子抵达收集器。 3 . 2 5 回 旋质谱仪 o m e g a t r o n ( M. S . ) 用回 旋加速器的原理使离子加速。 3 . 2 6 电 离真空计 io n iz a t io n v a c u u m g a g e 一种由气体分子电 离装置、 用于收集所形成的正离子的电极和指示所收集到的离子流
38、量的装置组 成的真空计。 3 . 2 7 热阴 极电 离真空 计 h o t - c a t h o d e io n iz a t io n g a g e 由 热灯丝( 或阴极) 发射并经电场加速的电 子撞击产生离子的电离真空计。 同义词: 热灯丝电 离真空计h o t - f i l a m e n t io n i z a t i o n g a g e ， 离子计i o n g a g e 3 . 2 8 B - A型电 离真空计 B a y a r d - A l p e r t i o n iz a t i o n g a g e 使用一根带电极结构的管子， 该结构可使来自 离子
39、收集器上由X射线感生的电子发射减至最小。 G B / T 1 2 6 0 4 . 7 一 1 9 9 5 3 . 2 9 冷阴 极电 离真空 计 c o l d - c a t h o d e io n iz a t io n g a g e 由冷阴极放电产生离子， 通常， 在有磁场存在时， 会延长阴极和阳极之间的电子路径。 放电管是透明 的， 管中冷阴极放电( 在无磁场存在时) 的颜色和形式可指示出气体的压力和性质。 3 . 3 0菲利 普电 离真空 计 P h illip s io n iz a t io n g a g e 一种冷阴极电离真空计， 其磁场与环形电极( 通常是阳极) 的轴线
40、平行， 环形电极位于两块垂直于该 轴线的板极之间。彭宁真空计( P e n n i n g g a g e ) 的各种改进型是以其发明者命名的， 而其中的某些型号则 被 称 为 磁 控 管 真 空 计( m a g n e t r o n v a c u u m g a g e s ) , 3 . 3 1 放射 性电 离真空 计 r a d io a c t iv e io n iz a t io n g a g e 由放射源发出的辐射( 通常是a 粒子) 产生离子。 3 . 3 2 热导真空计 t h e r m a l c o n d u c t i v i t y v a c u u m
41、 g a g e 一种具有两个不同温度表面的真空计， 在两表面之间， 热可通过气体分子来传递， 因此其中任一表 面的温度变化( 或为保持恒温所需加热功率的变化) 均与气体压力相关。 3 . 3 3 皮拉尼真空计 P i r a n i g a g e 压力从零点上升时， 引起具有电阻温度系数大的材料制成的加热灯丝的温度下降， 从而使惠斯登桥 式电路失去平衡( 或调节电路， 以保持灯丝温度恒定) 。 3 . 3 4 热电 偶真空计 t h e r m o c o u p le g a g e 压力上升时， 加热灯丝的温度下降， 通过与加热灯丝中心有热接触接点的热电 偶电 路中电动势降低 指示出来
42、。 3 . 3 5 热敏电 阻真空计 t h e r m is t o r g a g e 一种以热敏电阻作为加热元件的皮拉尼真空计。 3 . 3 6 双 金属片 真空 计 b im e t a llic s t r ip g a g e 双金属片随温度变化而偏转， 从而指示出压力的变化。 3 . 3 7差 动 皮 拉 尼 计 d if f e r e n t ia l p ir a n i g a g e 采用两根相似的皮拉尼管作为惠斯登电桥臂的泄漏检测装置。 3 . 3 8 预真空泵f o r e p u m p 对在大气压力下不能排气的泵产生必需的预真空用的泵。 同义词: 前级泵， 初级
43、泵b a c k i n g p u m p 3 . 3 9 粗抽泵 r o u g h in g p u m p 用于真空系统初始抽空的真空泵。 同义词: 低真空泵 3 . 4 0 维持泵 h o l d i n g p u m p 当粗抽泵将系统压力降低到能使燕汽泵与系统之间的阀门打开而不中断蒸汽从喷嘴流出的某一点 时， 用来保持燕汽泵处于工作状态的预真空泵。 同义词: 保持泵 3 . 4 1 离子泵 io n p u m p 一种抽气用的电气装置， 它由气体电离装置和一个具有适当电位的电极系统组成， 有时还带有磁 场， 使形成的离子向吸收或湮没离子的表面运动。 3 . 4 2 3 . 4
44、 3 3 . 4 4 离子源io n s o u r c e 检漏仪探测管的一部分， 示踪气体被探测之前预先在其中电离。 绝对压力计 a b s o l u t e m a n o m e t e r 一种可 根据仪器可测的物理常数计算出 校正值的压力计， 其校正值适用于所有的理想气体。 标准漏孔 s t a n d a r d l e a k 能使示踪气体按已知速率进入检漏仪或泄漏检测系统， 用以校准检漏仪的器件。 c B / T 1 2 6 0 4 . 7 一 1 9 9 5 3 . 4 5 人z漏孔 l e a k a r t i f a c t 一种用来将气体以控制速率 通常为 1 0
45、 - 摩尔每秒( m o l / s ) 或更小 引入系统的器件。 3 . 4 6 钟罩 b e l l j a r 一端( 通常是底部) 敞开的容器， 用作真空室或检测容器。 3 . 4 7 粗抽管道r o u g h i n g l i n e 从机械泵接到真空室的管道， 通过该管使真空室预抽到低真空范围。 3 . 4 8 抽空 管道 p u m p - o u t t u b u la t io n 从抽空装置中引伸出来的管道， 气体通过它被抽出， 在装置抽空后， 通常就将该管永久密封。 同 义 词: 抽 气 管 道e x h a u s t t u b u la t io n 3 .
46、4 9 前级管道 f o r e - l i n e 预真空泵与其后接泵之间的管道。 3 . 5 0 前级管道阀门 f o r e - l i n e v a l v e 位于前级管道中的真空阀门， 用以使扩散泵与其前级泵隔离。 3 . 5 1 入口 i n l e t 检漏仪或泄漏检测系统上的开口、 法兰、 接头或联接器， 由于被检件上的漏孔， 示踪气体可通过它们 进入泄漏检测系统。 同义词: 入口 孔i n le t p o r t ; 人口 法兰i n l e t f l a n g e 3 . 5 2 示 踪气 体 t r a c e r g a s 通过漏孔后能被专用的检漏仪检出，
47、从而揭示漏孔存在的一种气体。 同义词: 指示气体; 探测气体， a r c h g a s 3 . 5 3 氢8 5 k r y p t o n 8 5 当采用放射性同位素检漏方法时， 用来检测泄漏的一种示踪气体。 3 . 5 4探 头 气 体 p r o b e g a s 从探头孔喷出的示踪气体， 它可射到某一限定的检测区域。 3 . 5 5 卤 素 h a lo g e n 氟、 氯、 澳和碘元素族中的任何一种元素。 在卤素的严格定义中， 化合物不属于卤素， 但在本标准中， 为了便于描述， 卤素这个词也用于卤素化合物。在卤素检漏中， 卤素化合物的重要意义在于它们有足够 的蒸汽压力可用作示
48、踪气体。 4 泄漏检测方法 4 . 1浸溃 起泡 检测 b u b b le im m e r s io n t e s t 对含气密闭体进行泄漏检测的一种方式， 由 漏孔处生成的气泡来指示密闭体上的漏孔。 4 . 2 静水压检测 h y d r o s t a t ic t e s t 一种压力检测， 检测时， 将被检件充满水或其他液体， 如有需要， 则在规定的时间内对液体加压并目 视检查被检件外部有无泄漏。 同 义词: 水 压检 测h y d r a u lic p r e s s u r e t e s t 4 . 3 钟罩 检测 b e l l ja r t e s t in g 将被
49、检件全部或部分地充以示踪气体并置于真空室或钟罩内检测其泄漏的一种方法。 同 义 词: 外 泄 检 测in s id e - o u t t e s t in g 4 . 4 护罩检测 h o o d t e s t 一种整体检测， 将进行真空检测的工件用“ 护罩” 罩住， 罩内充以示踪气体， 使工件的所有部分同时 受检。 这是动态检漏的一种方式， 检测时， 整个密闭体或其外表面的大部分都暴露在示踪气体中， 而密闭 体内部则与检漏仪相连接， 以测定有无泄漏存在。 G s / T 1 2 6 0 4 . 7 一 1 9 9 5 4 . 5 隔离检A ll is o l a t i o n t e s t 当系统与泵隔离时， 通过观察抽空系统内压力上升的速率来确定系统中是否存在漏孔或估算漏孔 大小的一种方法。 4 . 6压力 检测 p r e s s u r e t e s t in g 将被检件充满气体或液体， 然后加压， 检查被检件外表以检出漏孔。 4 . 7 压力 一 抽空 检测 p r e s s u r e - e v a c u a