JJG-764-1992.pdf

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1、中华人民 共和国国家计量检定规程 J J G 7 6 4 -9 2 立 式 激 光 测 长 仪 1 9 9 2 年 2月1 5日批准 1 9 9 2 年 8月1日实施 国 家 技 术 监 督 局 目录 一概述 “ ， “ ” ” ， ， “ ( 1 ) 二 检定项目 和检定条件 一( 7 ) 三 技术要求和检定方法 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 2 ) 四检定结果处理和检定周期 “ ， ，. ” ( 1 3 ) 附 录 关于对测量误差

2、进行 “ 实时综合修正”的调整方法“ 二 “gg * 4 M n j “ W 1 “ n a i a , _ .A tt m ,0 14 m m * NI M M+ - 示艘的变动性S m md 等最块+ 黑 摆 絮 力 后 引 “ ” 面 形 W A， 一 芬 夔 宿 采 买 事 a . u 6 N fh y m 9)7 ii l af f )7f L A 装 “ 、 一 二 - s fV ft w v rl可 如 性3 f 丝 垦 k万下 ， 舞 m m 3 f M 2犷A ,0 0 0 m m 1 *A ZZ ,A万一 万 - 一 口 - tr = f m r a高 ,r+l S:1kH

3、: IT万一 万一厂 黑 T f p dI w fff w 与 测 皿 ” ”几 . A tk1 f/$= g 、 刃 e f lm ,几 丁一 万 ff二 竺 115 2 些 1d 9i $ i $ . s e c m m if IC 2 f3t y ,g 一 * 一万一一 不 一 12 g 9 S M * 411111X A 9h ifR d tfiA th ir二 ， 二 一丁 一 三二7G iff 2 f p d 97 2r - pr 一 0 6 0 m m 2 级 。一 了 一 不 一 一 不 一 zTm T 护 与 M g % “ 6 m m 4 V * A兀 - 一 万二 一 f

4、6 一 7 $ 112 tF i3 MJ $ 1F 11$ 一 1 76 - - 1 fM X A R +一一 二 一 一 厂 辅助下作合与储形下0 1 5 m m 1 级刀口形直一 2 f p # 1 1 r 17 礴 i112 Pf: n fl( 1T fl - 5 m m 4 V f A . 6 iG7 Nfi at 4g万 - ; 二 一 兀 一 1一二 %r i Yr - 一 _二一 卜 二一 : 一 1 9 不 值im 差 2 等 愈块十一千 共1 4 页第 4页 J J G 7 6 4 -9 2 续表 检定类别 一 一j 一使男 一剔 一 受检项目主 要检定工 具 平而测帽 和刃

5、 形测帽工 作 表面与 测帽孔 轴心线 的 垂直度 专 用阶梯轴 、 I . 自准i, i 仪、 专 用V 形 铁， I 级 平 板 平 而侧泪和刃形 测帽工 作 表面中 心线 与测帽孔 轴心 线的 同轴度 专 用阶梯轴 、工 具显微 镜、 专用 V 形铁 平 面测帽和 刃形 测褶工 作 表面的 平面度 1 级平 晶 球 面测帽 球面中心 线与 测帽 孔轴心 线的同轴 度 球 面测帽 球面的面 轮廊 专用 阶梯轴 、工具显 微 镜 .专 用 V 形铁 干涉 显微镜、 I 级 平晶 】1 7】1 注:表 中. 十， 裘示应 该检定， “ 一” 表示 可以不 位定。 3 . 2检定方法 目测。 4

6、 各 部分相互作用 4 , 1要求 4 . 1 . 1各活动部 分活动时应平整，各紧固 用螺钉应牢固 无松动 现 象。 4 . 1 . 2仪器各操作键、按钮应接触良 好，动作正常。 4 . 1 . 3当仪器测 量轴移动时，数字显示计数 应正常，并在任何位 置上都能置零。 4 . 2检定方法 目测和手感，逐项进行检定。 5 测量轴移动的直线度 5 . 1要求 测量轴移动的直线度应不超过 1 5 0 , J J G 7 6 4 -9 2 共1 4 页第 5 页 5 . 2检定方法 将分 度值不大于1 “ 的自 准 直仪安置在被检仪器的一侧 ，调整自 准直仪使其光轴和被检仪器的工作台面平行在被检仪器

7、测量轴上安 装4 1 4 m m平面 测帽 ，在工作台 上放置一个五角 棱镜，如图3 所示 。 调整五角棱镜至自 准直仪视 场中 观察到经平面测帽反射来 的像 .使侧 量轴处于零位，并进行对准和读 数。检定在全行程范围内 进行，任意 两次读数的差值应不大 于 1 5 “ 。直线度的检定应在相互垂直的两个方 向上进行。 6 示值 的变动 性 6 . 1要求 示值的变动性应不超过0 . 1 u m . 6 . 2检定方法 首先在测量轴上 安装功 g m m平面测帽，使带筋工作台调艳至与 测量轴相垂直后，取 下平面测帽，换上球形侧 帽，使球形测 帽与 带筋 工作台上的 5 m m量块接触，记下读数。

8、然后使测量轴 往 复 移动 1 0 次，夕 卜 记下读数，以最大读数与最小读数的差值为示值的变动性。 图3 1 一自准直仪.2 -测量轴，3 -0 1 4 m m平面测帽， 4 一五角使镜，5 一工作台 共1 4 页第6页 J J G 7 6 4 -9 2 7 测量轴径向受力后引起的示值变化 7 . 1要求 测量轴径向 受力后引起的 示值变化应不超过。 . 1 la m . ? , 2检定方法 在测量轴上安装0 8 m m平面测帽，将平面工作台 调整至与测量 轴相垂直后，取下平面测帽，换上球形测帽，在球形测帽与平而工作 台间垫入一半径为5 1 5 M -的柱面 形测块 ( 取自 量块附 件或特

9、制) ， 使柱面与测帽接触，然后将柱面形测块的平面紧贴平面工作台按柱面 素线垂直方向移动，并记下柱面最高点的示值。此检定应在测量轴相 互垂直的两个方向 上进行.使测量往返移动3 次 ，读出其示 值。测量 时球面测帽与柱面形测块应I量接触在同一个位置上。以最大读数与 最小读数之差为测量轴径向 受力后引起的变 化。 8测力 8 , 1要求 力值应为1 . 5 士 。 , 1 5 N . 8 . 2检定方法 用分度值 不大 于。 . 0 5 N的测力计或测力装置加祛码 进行检定， 如图4 所示。力值的检定应在测轴行程的两 端位置上进行 。 9 工作台调整的可靠性 9 , 1要求 9 , 1 , 1

10、球筋工作台面与平面测帽平行度应不超过。 . 2 w m . 9 , 1 . 2球筋工 作台测量头与球形测帽重合度，应不超过。 . 2 w m . 9 . 2检定方法 9 . 2 . 1球筋工作台面与平面测帽平行度的检定，首先在测量轴上 安装 “8 m m平面测帽，在球筋 卫 作台上放置开槽量块， 使测帽与开槽 量块接触，调整工作台调节螺钉将工作台面调至 与 测 帽工作平面平 行.当量块的同一部位依次地与平面测帽四个方位接触时，每一方位 的接触位W . 为测帽直径 的1 / 4 ，同时观察示值，任意两个读数差均应 不大于。 . 2 P M . 9 . 2 . 2球筋工作台测量头与球形洲帽重合度的

11、检定，首先在测I J J 吕7 5 4 -9 211* 1 4 页第 7页 轴上安装球形测帽，使球形测帽与球筋工作台oll l In 头和接 触，然后调 整工作台调节螺钉使球筋工作台测量头与球形测帽相重合，找到最大 值。在相互垂直的二个水平方向上最大值之差应不大于 0 . 2 u m. 1 0 筋形工作台的平面度 1 0 . 1要求 筋形工作台的平面度 ( 不包括中A筋)应不超过 0 . 6 F t m 。中间筋 的平面 度，用平晶检定时应不出现干涉色彩 。 1 0 . 2检定方法 用0 6 0 m m的开槽2 级平晶，以 光波干涉法进行检定 ，中间 筋的 平面度用 06 0 -的 I 级平品

12、检定。 1 1 筋形工作台中间筋的高出度 1 1 . 1要求 筋形工作台中间筋应比其他筋高出。 . 3 - 0 . 6 k m . 1 1 . 2枪定方法 检定时，在测量轴 上安装0 8 m m平面测帽，将筋形工作台调整 至与测r 轴泪垂肖，取下平面测帽，换 L球形测帽，将开槽量块放在 筋形工作台上，使其与筋条方向栩垂直。按图 5 所示的 I 位置上，将 共1 4 贡第8贡 J J G 7 6 4 -9 2 球形测帽与开 槽量块接触，记下示值，然后再将开槽量块移动至图5 所示的2位置上，再记下示值，两次读数之差即为中间筋的高出度。 1 2 筋形工作台 与测盘轴线的垂 直度 1 2 . 1要求

13、/尹石弓司 图5 筋 形Z 作台与测m轴线的垂直度应 不超 过0 . 2 w m . 1 2 . 2检定方法 检定时，在测量轴上安装刃形测帽，使测帽长边与工作台筋条相 垂直 .在工作台 上放置开 槽量块，其长边垂直于工作台 筋条方向。然 后在测帽与 开槽量块之间 放置一根$ 1 . 5 m m以上1 级三针 ，移动三 针，使其与测帽的一端离边缘0 . 5 m m处接触，并观察示值，记下读 数。 : ，再移动三针，使其与测帽的另一端离边缘。 . s m m处接触 ，再 观察示值记下读数 。 : ，然后将测帽转动 1 8 0 0 重 复上述检定，得到对 应位置读数。 : 和。 : 。测量轴线对 T

14、作台面的垂直度 a 按 ( 1 ) 式计 算求得。 D a = 一 ( a . - a . ) + ( b , - b 立 2 ( 1 ) 再将刃形测帽转动9 0 0 ,使其长边与工作台筋条方向相 平行，按上述 方法 检定，取得这一方位上测得的测量轴线对筋形 工作台的垂直 度。 以上两个方位上测得的测量轴线对工作台面的垂直度，均应符合 要求。 1 3 球筋工作台 的平面度 1 3 . 1要求 J J G 7 6 4 - - - 9 2 共1 . 4 页第 9 贾 球筋工作台的平面度 ( 不包括中间测头)应不超 过 0 . 6 Ix m. 1 3 . 2检定方法 用0 6 0 -m的开槽 2 级

15、平晶，以光波干涉法进行检定。 1 4 球筋工作台中 间测头的高出 度 1 4 . 1要求 球筋工作台中间测头应高出其他筋面 2 -3 ta m . 1 4 . 2检定方法 将开槽量块放置在球筋工作台 上进行检定，检定方法与第1 1 . 2 欲相 同。 1 5 平面工作台的平面度 1 5 . 1要求 平面工作台的平面度应不超过0 . 6 ti m ( 不 允许凹) 。 1 5 . 2检定方法 用0 6 0 m m的2 级平晶，以光波干涉法进行检定。 1 6 平面工作台与测 量轴线的垂直 度 1 6 . 1要求 平面工作台与测量轴线的垂直度应不超过 0 . 2 ta m . 1 6 . 2检定方法

16、 在测量轴上安装0 8 m m的平面测帽，在平面工 作台 上放置一块 5 m m量块，调整工作台调节螺钉，将工作台 面调至与测帽工 作平面 平行.当 量块的同一部位 依次地与平面测帽四个方位接触，每 一方 位 的接触位置为测帽 直径的1 / 4 ，同时观察示值，任意两个读数差即 为 平面工作台与测量轴线的垂直度。 1 7 辅助工作台的平面度 1 7 . 1要求 辅助工作台的平面度应不超过 5 ta m . 1 7 . 2检定方法 用刀口形直尺，以光隙法进行检定。 1 8 辅助工作台 与筋形工作台、球筋工作台 和平面工作台 的相对 位置. J 七 1 4 页竿1 0 页J J G 7 6 4 -

17、 - 9 2 1 8 . 1要求 辅助工作台而均应低于筋形工作台而、球筋工作台面和平面工作 台11i i 0 . 0 1 - 0 . 0 5 m m, 1 8 . 2检定方法 首先将筋形- L 作台安 装 好，用 1 . 0 0 , 1 . 0 1 , 1 . 0 5 mm的 5 等量 1) ; 和刀口形直尺，将1 0 0 m m和1 . 0 1 m m , 1 . 0 0 m m和1 . 0 5 m m 的 扭块分别 成对地放置在筋形工作台及辅助工作台上，用刀口 形直尺以 光隙法进行检定.然后依次 再对球筋工作台、平面工作台进行检定。 1 9 辅助工作台负重对示值的影响 1 9 . 1要求

18、辅助工作台负重0 . 5 k g 时，示值不应有变化。 1 9 . 2检定方法 在测量轴L安装球形测帽，在筋形工作台上放 置 5 m m量块，使 球形测帽与 量块接触，记下仪器的示值.在辅助工作台的角 边缘上放 置0 . 5 k g 的砧码，观察示值是否 有变化。这一检定应在辅助工作台 的 四个角上分别进行。 2 。 示值稳定度 2 0 . 1 要求 仪器示值稳定度在。 . 5 h 内应不超过0 . 1 h m . 2 0 . 2检定方法 在测量轴上安装球形测帽，将球筋工作台调整至工作状态，使测 帽与工 作台接触，连 续观察0 . 5 妈 仪器示值的变化量即 为示值稳 定 度。 2 1 示值

19、误差 2 1 . 1要求 仪器示值误差应不超过士 ( 0 . 2 + 2 幻w m .其中， L为被测长 度 ( m) , 2 1 . 2检定方法 仪器的示值误差用 2 等量块直接检定。对测量 范 围0 -5 0 m m , 则每间隔1 0 m m检定一点， 对测量范围大于5 0 m m ，则每间 隔2 0 m m 1 1 C 7 6 4 -9 2共1 4 X 第1 1 贾 检定一点。 在。 1 0 m m范围内 ，受检点为1 , 2 , 5 和1 0 m m四点。 2 1 . 2 , 1在测量轴上安装球形测帽，在辅助工作台上安装筋形工 作台，使筋形工作台的筋条方向必须与辅助工作台筋条相平行。

20、调整 好筋形工作台.将测量轴上升后再下降接触工作台面往复数次，使仪 器示值 u N 0 “ ,用 “ 实时综合修正”方法 ( 详见附录) ，对 测量范围 为0 -1 0 0 m m的用 1 0 0 m m量块 ( 测量范围为0 x 5 0 m m的用5 0 m m 量块)进行校正，校正至仪器显示值与量块实际值-致,即可依次对 受检点进行检定，并分别记下示值，每一量块应进行三次测量 ，取三 次示俏的算术平均值作为测得值。11I1 得值与其量块实际值之差即为各 受检点的示值误差。 2 1 . 2 . 2将筋形工作台换成球筋工作台，调整好仪器 ，分别 对 1 , 2 , 5 , 1 0 m m四块量

21、块依次进行检定.数据处理方法同上. 2 2 平内i li 帽和刃形测帽工作表而 与测帽孔轴心 线的垂ft 度 2 2 , 1要求 平面测帽和刃形测帽工作表面与测帽孔轴心线的垂直度应不超过 3 ， 。 2 2 , 2检定方法 在平板土安放 V形铁和自准直仪。将测帽装在阶梯轴上 ，然后将 阶梯轴放在 V形铁的V形槽上，调整自准直仪，使 视 场 中出现由测 帐 1 1 作向反 射 回 米的像。转动阶样轴，在自准直仪视场中观察反射 像的最大变化量。j 卜 记下变化量的方向.随后在最大示值 ( 或最小示 位)处， 将测帽转动1 8 0 0 ，转动阶 梯轴，观察反射像的最大变化量， 记下变化量的方向，若变

22、化方向与前者相反，则 记 为 “ 负值” ，取二 次变化量之 差的1 / 4为 测帽工作表面 与测帽孔轴心 线的垂直度. 2 3 平面测帽和刃形测帽工作表面中心线与测帽孔轴心线的同轴 度 2 3 , 1要求 平lfl i f 帽 和 刃 形 测 帽 一 U 作 表 面中 心 线 与 测 帽 孔 轴 心 线 的同 li G l 嵘 不超过0 . 1 m m . 2 3 . 2检足为法 共1 4 员第1 2 页J J G 7 6 4 -9 2 在工具显微镜的工作台 上放上V形铁， 将测帽装 在阶梯轴 上， 然后 阶梯轴放在 V形槽上。调整工具显微镜，用测角目镜的十字虚刻线对 准 测头座外圆素线 ，

23、转动阶梯轴，观察测头座外圆素线的变动。取测 头座外圆 素线最 大变动值的1 / 2 为测帽工 作表面中心线与测帽孔轴心 线的同轴度。 2 4 平面测 帽和刃形测帽工作表面的平面度 2 4 . 1要求 列于 表 2 ,工作表面的平面不允许凹。 . 2 工 作平 面道径或 长度 ( mm) 平面度婴 求 ( P .) 二片带下一一 0 . 0 6 -一一一一 0 . 0 0 日. 2 4 . 2检定方法 工作面的平面度，用注 级平晶以 光波干 涉法检定。 2 5 球面测帽球面书L 线 与测帽孔轴心线的同轴度 2 5 . 1要求 球面测帽球面中心线与测帽孔轴心线的同 轴度应不超 过0 . l u m

24、 . 2 5 . 2枪定方法 在工具显 微镜的工作台上放 上V形铁 ，将测帽装在阶 梯轴上。然 后，阶梯轴 放在V形槽上。调整工具 显微镜，用测角目 镜的十字虎 刻线 对准 球而测头，转动阶梯轴，分别测出 相互 垂直的二 方向和Y 方 向的变动量A x 和 Y 。其同 轴度按 ( 2 )式计算: =亿 Ax 8 十A尹 ( 2 ) 2 6 球面测帽球面的面轮廓度 2 6 . 1要求 球而测帽球面的面轮廓度应不超过。 . 里 w m , 2 6 . 2检定方法 a s C7 6 4 -s 2共 1 4 3f 第 1 3 贾 首先 在千涉显微镜工作台上 放上平晶，调整仪器，使视场中调节 到一片均匀

25、颜色( 或仅有一 条条纹) ，然 后拿下平晶 ，换上球面测帽。 移动工作台，使测头球心移至仪器物镜光轴上。这时干涉条纹图形中 心 大致位于视场中 央，测出干涉条纹图形偏离规则圆 周量 ，用仪器说 明书中公式计算出球面侧帽球面的面轮廓度。 四 检定结果处理和检定周期 2 7 经检定符合本规程要求的立式激光测长仪出具检定证书，不 符合 本规程要求的发给检定结果通知书，并指出 不合格项日 ， 2 8 立式激光测长仪的检定周期可根据使用的具体情况确定，一 般为一年。 共1 4 页 第1 4 页J J G 7 6 4 -9 2 附 录 笑千对测最误差进行 . 实时综合修正，的调整方法 仪器采用He -

26、N e 激光波长作为长度基准，由于 仪器测量受环境 姐度、气压 ，湿度、被测件的线膨胀系 数及仪器的系统误差等影响而 产生误差，仪器可通过改变修正系数C: 的方法来进行综合修正。 首先将C。 修正拨码盘置于 “ 1 2 3 2 “位置上，在测 量轴上安装球 形测帽，调整好筋形工作台 ，使仪器处于正常工作状态下，将测量轴 上升后再下降与工作台面接触，使显示器置 于 零 位。再 使测量轴上 升，对于测量范围为 0 -1 0 m m的放入 1 0 0 - ( 对 于测 量 范围为 0 -5 0 - -的 放入 ”m m ) 的2 等量块进行校正，得到l , 测得值，观 察显示器的测得值是否与量块的实

27、际值相同，不同时，可按下式计算 出 八C : 的修正格值。 人C: 二 忿 s 一王 1 P 式中:I , -测得值， 1 z量块的实际值 ， P 长度 的修 正 当量。对于 0 5 0 m m行 程 的仪器 P取 0 , 0 3 w m ，对于 0 -1 0 0 m m行程的仪器 P取0 . 0 6 1 1 m. 接着将拨码盘置于 0 1 2 3 2 +OC, “的位置上。当 仪器 测量达到 l , 等于2 : 时为 理想状态，即可对被MM 州 进行直接测是 1其显示 值便是 在温度 2 0 C时的实际值.在测量过程中，可经常逃行校正. *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档

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