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1、中 华人民 共和国 国 家计量 检定 系 统 J J G 2 0 2 2 - 8 9 真空计妞器具 1 9 8 9 年 8月 1 5日批准 1 3 9 0 年5 月1 日 实施 国 家 技 术 监 督 局 真空计且器具检定系统 V e r i f i c a t i o n S c h e me o f Me a s u r i n g I n s t r u me n t s f o r Va c u um J J G 2 0 2 2 -8 9 本国 家计量 检定系统经国家技术监督 局于工 9 8 9 年8 月1 5 日 批 准，并自1 9 9 0 年 5月1日起施行。 起草单位: 中国计量
2、科学研究院 本检定系统技术条文由起草单位负责解释。 本检定系统主要起草人: 费渭南 ( 中国计量科学研究院) 参加拐草人: 周起春( 中国 计量科学研究院) 张家英( 中国计量科学研究院) 目 录 一 计量基准器具. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( I ) 二 计量标准器具 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 3 ) 三 工作计量器具 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . ( 7 ) 四真空计量器具检定系统框图 ( 8) J J G 2 0 2 2 -8 9 共 8页第 1 页 真空计量器具检定系统 在真空科学技术领域中，通常由“ 真空 度”量值表示低于环境大 气压的气体的稀薄程度。 根据当前真空科学技术发展的水平，真空度获得和测量的范围，
4、已 从 大 气 压( 1 0 5 P a ) 室 极 高 真 空( 装置在测量下限P = 1 0 - 0 P a 时， a l =3 0 o 6 i =1 % a s =1 0 0 得a =15 % ( 3 0 ) 5 . 2一等标准膨胀法真空装置 a .测量范围 1 0 -1 -1 0 1 Pa b .不确定度 图3 真空度计算公式为: P = V P o ( 8 ) 式中: ， 传递阀的容积， V 一校准室的容积， p 。 起始压强， 由上述参数误差引入的不确定度为: d ， 二 侧 d 乞 + 6 各 + d 二 。 9 ) J I G 2 0 2 2 -8 9 共 8页第 5页 装置
5、本 底 真空 度引 木 的 不确 定 度 为d : . 总不确定度为 d = d , +d z ( 1 0 ) 装置在测量下限P = 1 0 - e P a 时， d , =3 . 5 % d = =1 % 得d二+4 . 5 %-15 % ( 3 0 ) 5 . 3一等标准液体压力计 a .测量范围 1 0 1 - 1 0 6 P a b . 不 确 定 度 因庄 静态下用国家基准液体压 力计对其直接校准，则一等标准液 体 压 力 计 的 V,确 定 度 为 : d = 记 d ; + d m ( 1 1 ) 式中: d . 基准器的不确定度; d m 被检装置 ( 或计)与基 准器的最大相
6、对偏差。 装置在测量下限P = 5 x 1 0 1 P a 时， d , =0 . 4 % d m 二0 . 8 % 得d = 0 . 8 9 %士 1 % ( 3 a ) 5 . 4一等标准压缩式真空计组 a .由1 0 - - 1 P a 和1 - 1 0 P a 两个不同范围的一等标准压缩式 真空计组成，其总测量范围为。 1 0 - - 1 0 0 Pa b .不确定度 计算公式即 为式 ( 3 ) d=d, +d, 装置在测量下限P = 1 0 - P a 时， d , = 3 . 5 % d , =1 % 得6=14 . 5 %士5 % ( 3 a ) 一等标准流导法、膨胀法、压缩法
7、三种真空装置一旦建成，有些 参数很难再重新测定。因此，上述三种标准装置的周期检定是:整台 共8页第 6 页 J J G 2 0 2 2 - 8 9 装置通 过一 只稳定性不大于1 % 的参考真空计 ( 例如磁悬浮转子真空 计或电容薄 膜真空计) ，用真空国家基 准进行定点间接检定，验证一 等装置的理论分析 不确定度数值.此外，为进一步保证这些装置真空 度量 值的 准确可 靠，还应根据需要不定期的以 同样办法用参考真空计 在这些装置之间彼此比 对，以 消除可能有的系统误差。 6 二等真空标准器有六种 6 . 1二等标准热阴 极电离真空计 测量范围为1 0 - 1 .1 0 P a( 目 前尚未建
8、立) 6 . 2二等标准热阴 极电离真空计 测 量范围为1 0 - 6 - 1 0 P a 6 . 3二等标准磁悬浮转子真空计 测量范围为1 0 - 3 - 1 0 P a 6 . 4二等标准电容薄膜真空计 测量范围为1 0 - -1 0 P a 6 . 5二等标准电容薄膜真空 计 测量范围为l o z 1 0 8 P a 6 . 6二等标准压缩 式真空计组 由 测量范围 为1 0 - 8 -1 P a 和1 - x 1 0 9 P a 的两只二等标准压缩 式 真空计组成. 后五种二等标准器的允许误差 4与式 ( 1 1 )相同，即 = 侧蔺不灰 丁( 1 2 ) 在这些二等 标准真空计的测量
9、下限时， 6 . =5% 6 二二8 % 可 得 后 五 种 龚 标 准 真 空 计 的 允 许 误 差 ， 均 为 : =f4 . 4 %1 1 0 % 第一 种二等标准热阴极电离真空 计由于在1 0 - 9 1 0 - 9 P a 范围的 误差是根据真空计规管的 剩余电流作线性延伸求得的，因此该二等标 准真空计的允许误差为: d= 一 d ; + d 丁+ 二( 1 3 ) 式中: 八 二 规管剩余电流引入的误差。 J J G 2 0 2 2 -8 8共 8 页第7页 在测量下限p = 1 。 一P a 时， 0 . =5 %d .=8 % 二 “ 2 0 % 由式 ( 1 3 )得第一种
10、二等标准真空 计的允许误差为: =士3 0 % 三工 作 计 皿 路 具 工作计量器具分六大类 7 热阴 极电离真空计 分三个测量范围，相应的允许误差为: 7 . 1 1 0 - 1 1 0 - 1 P a ,=1 7 0 %1 7 . 2 1 0 - 0 1 0 - P a ,=15 0 %1 7 . 3 1 0 - 1 -l 0 P a ,八=士5 0 %. 8 冷阴极电 离真空计 分二个测量范围，相应的允许误差为: 8 . 1 1 0 - 1 -1 0 - 1 P a ,=- , e 0 1 1 1 8 . 2 1 0 - 1 1 0 P a ,=士 , o 0 %. 9 电 容薄膜真空
11、计 分二个测量范围相应的 允许误差为: 9 . 1 1 0 - 1 -1 0 1 P a ,么=土 2 0 %1 9 . 2 1 0 : 一l o , P a , 0= 12 0 %1 1 0 热偶真空计 分二 个 测 量范 围 ， 相 应的 f t 许 误 差 为: 1 0 . 1 1 0 - -1 0 P a ,么=士5 0 0 1 1 1 0 . 2 1 0 - 1 - 1 0 1 P a ,二士5 0 %. 1 1 电阻真空钊 分二个测量范围，相应的 允许误差为: 1 1 . 1 1 0 - -l o P a , 0=15 0 %1 1 1 . 2 1 0 - -1 0 P a , 0
12、=15 0 %. 1 2 压缩 式真空计组 总测量范围为1 0 - 1 1 0 1 P a 共8页第8页 J J G 2 0 2 2 -8 9 允许误差为 =1 5 0 % 工作计量器具的允许误差计算公式为: =d 。 十d 二+dz 式中 ， d : 为二等标准检定工作用真空计时所用相对校准装置的真空 度不稳定性，要求 6 , 士1 %. 四 真空计皿器具检定系统框图 真空计量器具检定系统框图 计量基准器具 计 量 标 准 器 具 工 作 计 童 器 具 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/