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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 S J / T 3 1 0 9 9 -9 4 倒角机完好要求和检查评定方法 1 主题内容与适用范围 本标准规定了8 6 1 4 型和 S VG-1 4 型倒角机的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于集成电路生产用倒角机。 2 完好要求 2 . 1 性 能 倒角机的性能、 加工精度应能满足生产工艺要求， 质量达到规定指标。生产效率应能达到 设计能力的 9 0 %以上。 2 . 2 操纵系统 2 . 2 . ， 各操作按钮启动灵活可靠， 标志齐全， 平面定向盘调节自如。 2
2、 . 2 . 2 各传感器限位装置齐全， 灵敏可靠。 2 . 3 传动系统 2 . 3 . 1 步进工作台传送架运行可靠， 丝杆传动及皮带传送自动 上、 下料工作正常。 2 . 3 . 2 主轴上、 下运动， 自动旋转无异常声响。 2 . 3 . 3 园片定中心机构定位准确， 导轨通道工作平稳， 滚轮传动无异常现象， 砂轮臂运动可 靠， 直径微调、 粗调灵活准确。 2 . 4 气路系统 2 . 4 . 1 气路系统各元件动作灵敏、 可靠， 各部压力应在设备设计范围之内。 2 . 4 . 2 气路系统中失压和过压保护必须可靠。 2 . 4 . 3 汽缸安装位置正确， 工作平稳， 行程到位。 2
3、. 4 . 4 各电磁阀， 流量表头工作正常。 2 . 4 . 5 各气路及真空接头牢固， 无漏气及漏真空现象 2 . 4 . 6 真空室密封好， 防止倒角甩干片时圆片脱落， 真空过滤器工作正常。 2 . 5 电气系统 2 . 5 . 1 电气控制箱内布线整齐， 各指示灯齐全完整， 指示正确可靠。各种线路标志明显， 联接 可靠。线路无破损老化， 保护装置齐全、 有效。 2 . 5 . 2 电气系统装置齐全， 管线完整、 性能良好， 运行可靠。 2 . 5 . 3 设备故障诊断工作正常. 程序设定及运行正常。 2 . 5 . 4 各传感器工作可靠， 面板显示齐全， 正常按钮开关灵活可靠。 中华人
4、民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准1 9 9 4 - 0 6 - 0 1 实施 一4 1 2 一 S J / r 3 1 0 9 9 -9 4 2 . 6 自动控制系统 2 . 6 . 1 主控单元、 元器件性能可靠， 运算正确控制软件功能齐全， 自检程序运行正篇。 2 . 6 . 2 位置控制单元， 速度控制单元， 连接单元的元器件性能可靠; 定位准确、 运行平稳， 各控 制信号和控制回路畅通。 2 . 6 . 3 手动数据输入和显示功能齐全、 有效。 2 . 6 . 4 伺服电机运行平稳， 噪音、 温升符合电机出厂指标， 工作可靠。 2 . 6 . 5 手摇脉
5、冲发生器动作灵敏， 到位准确。 2 . 6 . 6 程序输人/ 输出装置保持清洁， 输人/ 输出程序正确无误。 2 . 6 . 7 控制柜内部清洁， 布线整齐、 线路无老化， 各线路标志明显。 2 . 7 安全防护 2 . 7 . 1 各安全防护装置牢固可靠二 齐全、 完整。 2 . 7 . 2 外壳接地可靠、 安全， 标志明显。 2 . 8 维护保养 按 S J / T 3 1 0 0 2 -9 4 ( 设备维护保养通则 执行。 检 查、 评定方法 3 . ， 检查方法 完好要求中， 凡有参数要求的条款， 应运用相应检测器具测定; 其余在设备现场， 采用主观 法检查 。 3 . 2评定方法
6、3 . 2 . 1主要项 目有 2 . 1 , 2 . 2 . 2 , 2 . 5 . 3, 2 . 5 . 4 , 2 . 7 . 12 . 7 . 2 。其余为次要项 目。 3 . 2 . 2 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备 ; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 设备 。 3 . 2 . 3 完好设备的维护保养， 应达到优等设备标准。 附加说 明 : 本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本标准由中国华晶电子集团公司组织起草。 本标准主要起草人: 徐海祥、 顾军建、 周惠文、 吴正伟、 糜祖熙。 4 1 3 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺
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