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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 s 7 / T 3 1 1 2 3 -9 4 自动多探针测试台完好要求和检查评 定方法 1 主题内容与运用范围 本标准规定了 T Z -1 0 7型和TZ -3 C型自动多探针测试台( 以下简称探针) 的完好要求 和检查、 评定方法。 本标准适用于T Z -1 0 7 型、 T Z -3 C型自动多探针测试台， 其他类型的探针测试台， 亦可 参照执行 。 术语 2 . 1 自动多探针 利用两个或两个以上的金属探针能自 动将圆片上集成电路芯片的电 极与测试仪联接， 以 完成集成
2、电路性能参数中间测试的电子机械设备。 22探针 具有特定机械电气性能和结构尺寸的金属针。 2 - 3 探针卡 根据被测芯片电路所需的探针数量及布局， 将探针对应固定于一块基板上的测试探头。 2 . 4探边器 用来探测探针是否已测至被测圆片边缘的部件。 2 . 5 分离式测试探头 可在一定范围内分别调解探针的X. Y; Z方向距离， 用以安装固定探针的部件。 2 . 6 打点器 给性能不合格的芯片打上标记的部件。 2 - 7 承片台 能固定芯片， 完成0向对准及 Z向升降的部件。 2 . 8 探针支盘机构 为测试探头、 打点器、 探边器提供安装位置， 并通过测试探头实现芯片电路与测试仪之间 的机
3、电联接的机构。 2 . 9 图形数控制 从键盘或拨码开关给微机内输入x方向的图形数目及图形间距， 用以控制工作台移动 完好要求 3 . 1精度 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准 1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 4 76 S J/ T 3 1 1 2 3 -9 4 1 Z -1 0 7 型T Z -3 C型探针的几 何精度和运动精度的完好要求和检测方法， 见 表1 表 1 允差mm 序号 检测项目 检测器具与方法备注 Z - -1 0 7 型 IT Z 3 C 型 步 进 工 作 台 X-Y方向的垂 直 度 石 0 . 0 4 5 N 量 长 度
4、 1 0 0 毛， 0 0 0 2 5 用标准角尺、 测微仪， 在工作 台有效行程内检测， 误差以最 大差 值 计 。 步进工作 台定 位 精 度 杯 0 . 0 1 3 用 标 准 级 量 块 和 电 感 比 较 越 士 。 。 仪 ， 检 测 工 作 台 定 位 精 度 。 误 1差 以 最 大 差 值 计 步进工 作台的 可 重 复 性 落 士 0 . 0 0 3七 0 . 0 0 2 5 在工作台行程范围内， 选定 一 移动距离， 使工作台到步进到、 位， 用电感比较仪检N J 误差 以最大差值什。 步进工 作台的 步 进 分 辨 率 ( o . o f 落 0 . 0 1 在运行条件
5、下， 检 测 。 误 差 以 A 步进工作台x, Y方向行程公、 英制转换误差 杯 士0 . 0 0 5设备现场操作测试 G, 承片台 吸片盘 在高位 时端面 跳动( 包括吸片 盘 回转时及承 片台沿X, Y方 向 移动时示值 误 差 ) 抓 0 . 0 1 5落 0 . 0 0 8 在运行条件 下. 用电 检测承片台吸片盘 的表面跳动， 误差以最大差值 计 。 承片台 Z向行 程 -0 . 8可i 卜 开 机 操 作 用 指 示 器 检 i139 承 ; 。 . 8可调 )台2方行程的可调性 3 . 2 性能 应根据设备规定的性能， 完成集成电路性能参数中间测试经测试的严品. 质觉指际包V
6、测试后不合格品， 应达到规定要求。 33 操作 系统 4 77 S J 7 T 3 1 1 2 3 - 9 4 I11 各操作、 变速手柄、 开关、 按钮启动灵活、 定位可靠、 标志齐全 3 . 3 . 2 制动、 限位、 保警装置齐全、 灵敏可靠。 3 . 4 传动系统 3 . 4 - 1 设备运转平稳、 无冲击、 无振动。 3 . 4 . 2 采用步进电机变速应稳定、 灵敏。 3 . 5真空系统 3 . 5 . ， 真空系统各装置完整无损， 管路齐全、 气路畅通。 15 . 2 压力表灵敏可靠， 气阀装置有效， 吸片可靠。 I6 电气系统 3 . 6 . 1 电气性能良好运行可靠， 保护装
7、置齐全、 有效。 3 . 6 . 2 线路完整、 绝缘层无破裂、 无漏电现象。 3 . 6 . 3 印刷线路板与相应插座应接触可靠、 不得有错位、 卡死等现象。 3 . 了 微机控制系统 3 - 7 . 1各 开 关、 按 钮、 操 作 键 完 整 无 损， 动 作灵 敏 、 可靠 ， 控 制装 置各 组 成部 分保 持 完 整 功 能 齐全， 性能稳定、 工作状态良好， 显示清晰。 3 . 7 . 2 显示器能正常显示通电自检的正常信息， 微机系统通电自检功能必须正常。 3 . 7 . 3 输入/ 输出程序正确无误。 3 . 7 . 4 打印机、 穿孔机与主机接口良 好， 工作正常。 3 .
8、 了 . 5 装 置内 部 清 洁， 布 线 褚 齐， 线 路 无 老 化 、 破 裂， 各 线 路 标 志 齐 全、 正 确。 3 . 7 . 6 所有裸露导体件( 包括外壳) ， 必须与保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和 整机外壳之间的电阻不得大于 。 . I Q. I8附件 附件齐全、 保管良好， 无锈蚀、 积尘、 损伤。 3 . 9安全防护 3 . 9 . 1 各安全防护装置齐全、 可靠 3 . 9 . 2 接地可靠、 标志明显。 3 . 1 0 维护保养 3 - 1 0 . 1 设备内外清洗无锈蚀。 3 . 1 0 . 2 使用环境条件为: 温度 : 2 3 士3 C b 、
9、 空气净化度与相对湿度与半导体装配工艺所需条件相同。 3 . 1 0 - 3 滚珠丝杠、 直线导轨及承片台直线 承处， 一年内滴加精密仪表油 3 -5 滴。 3 . 1 04 暂不使用的探头、 应存放在探针盒内， 防止针尖损坏。 3 . 1 0 . 5 探边器的触头与片簧接触处、 应保持清洁、 以保证接触良好。 3 . 1 0 . 6 为防止针头变位、 注意不要碰撞探针支盘、 以便于再次使用。 3 . 1 0 . 7工作完毕、 应切 断电源、 盖 r _ 罩布 。 47 8 s J / T 3 1 1 2 3 -9 4 检查、 评定方法 4 - 1 检查方法 4 . 1 . 1 设备精度按表
10、1 所列方法检测。 4 . 1 . 2 各性能指标， 结合产品工艺技术要求 ， 在设备现场逐项测试。 4 . 1 . 3 对各系统完好要求所列内容， 在设备现场检测。 l 车2 评定方法 4 . 2 . 1 完好要求所列内容中， 3 . 1 , 3 . 2各项指标和 3 . 9 . 1 , 3 . 9 . 2 为主要项目， 其余为次要项 目。 4 . 2 . 2 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有两项不符合要求， 亦为不完好 设备。 4 . 2 . 3 完好设备的维护保养， 应达到优等设备标准。 附加说明: 本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本标准由电子工业部第
11、4 5 所组织起草。 本标准主要起草人: 赵志扬、 何继红。 - 4 79 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/