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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 T D H一4 C 4 T o型去飞边机 完好要求和检查评定方法 s ,1 / T 3 1 0 9 7 -9 4 主题 内容与适 用范 围 本标准规定了半导体集成电路生产用 T D H -4 C 4 T O型去飞边机的完好要求和检查; 评 定方法 。 本标准只适用于 T D H -4 C 4 T O型去飞边机。 完好 要求 2 门主要性能指标 a . 传递速度: 1 一2 m / mi n ， 可调; b . 夹具宽度调整误差: 士l mm; c . 喷咀移动数( 往复) :
2、 1 4 5 士5 次/ m i n ; d . 喷咀移动幅度: 4 0 m m; e . 集尘能力( 粉尘粒度1 0 p 以下) :3 k g / h , 乙2 操作系统 2 . 2 . 1 各操纵开关、 按钮启动灵活， 定位可靠， 标志齐全。 2 . 2 . 2 制动、 限位装置齐全 ， 灵敏、 可靠。 2 . 3 传动系统 2 . 3 - 1 机械传动键轮、 链条运转正常; 键条张紧度适宜， 传动平稳。 2 . 3 . 2 引线框传送导轨位置正确， 无卡、 滞现象。 2 . 4 气路系统 2 . 4 . 1 各气缸、 电磁阀性能良好， 工作平稳、 行程到位， 不应有停滞和爬行现象。 2
3、. 4 . 2 气动系统各元件动作灵敏、 可靠。 2 . 4 . 3 压缩空气管道、 真空管道整齐、 清洁， 各接头、 阀门元件之间连接牢固， 密封性好， 无漏 气现象 。 2 . 4 . 4 各喷枪固定位置准确、 牢固可靠。 2 . 4 . 5 各气体压力表、 流量表性能良好， 指示灵敏、 准确， 误差在规定范围内， 且有有效期内校 验 合格证 。 2 . 5 电气系统 2 . 5 . 1 电气性能良好、 运行可靠， 保护装置齐全、 有效。 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准 一4 09 一 1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 S J / T 3
4、1 0 9 7 -9 4 2 . 5 . 2 外部导线布线整齐， 绝缘层无破裂、 老化、 漏电现象。 2 - 5 - 3 电气控制箱内布线整齐、 清洁; 各指示灯齐全、 无缺损， 指示正确、 可靠; 各种线路标志 齐全、 明显、 正确， 各端子连接牢固无松动。 2 . 5 . 4 各种接触器、 继电器等器件性能灵敏， 动作可靠; 线路板整洁， 接触可靠。 2 - 55 各光电传感器灵敏、 可靠、 无误动作。 2 . 5 . 6 各种仪表完整、 无损伤， 指示灵敏、 可靠， 误差在规定范围内， 有有效期校验合格证。 2 - 6 附属装置 2 - 6 . 1 粉末发生器性能可靠， 工作稳定， 集尘
5、能力达到规定技术指标要求。 2 . 6 . 2 粉末贮存器密封性好， 吸尘可靠， 无泄漏。 2 . 7 安全防护 2 . 7 . 1 设备保护盖板、 挡尘板齐全、 无损坏 ， 固定牢固、 可靠， 作用良好。 2 - 7 . 2 各种联锁、 报警装置性能稳定， 灵敏、 可靠。 2 . 7 . 3 设备接地可靠， 标志明显。 2 . 8 维护保养 2 . 8 . 1 粉末发生器应及时清洗检测， 保持良好性能， 粉末贮存装置应按时清理， 检查密封性 能。 2 . 8 . 2 其它按 S J / T 3 1 0 0 2 - 9 4 设备维护保养通则 执行。 检查 、 评定方法 3 . 1 检查方法 完
6、好要求所列内容中， 凡有参数要求和条款， 应运用相应仪表检测; 其它在设备现场， 采用 主观法检查。 3 . 2 评定方法 3 . 2 . 1 完好要求中， 2 . 1 各项指标和2 . 2 . 2 , 2 . 5 . 5 , 2 . 6 . 1 , 2 . 6 . 2 , ? . 7 . 1 2 . 7 . 3 为主要项目， 其余为次要项目。 3 . 2 . 2 主要项目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 设备 。 3 . 2 . 3 完好设备的维护保养， 应达到优等设价标准。 附加说明: 本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本标准由中国华晶
7、电子集团公司组织起草。 本标准主要起草人: 顾军建、 张家明、 吴正伟。 4 0 9 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/