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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 专 用 设 备 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 s J / T 3 1 1 5 6 -9 4 磁控管排气台完好要求和检查评定方法 主题内容与适用范围 本标准规定了磁控管排气台的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于生产磁控管用排气台 本标准不适用于其它产品的排气台。 完好要求 主要性能 磁控管排气台的主要性能指标如下表所列。 PH = ,ff,; 0-500V ; 一 一 斗 Ek A 1 : 电 流 : 0 - 5 0 0 . A 0 2 5 m A 一栅电压:。 一士1 0 0 V; 电流 : 0 一 1 0 .A
2、 0 1 0 0 - A 热 丝 电 压 : 0 - 5 0 V 0 - 1 5 V 电流 : 0 - I A 0- 5 A 极限真空度:5 X 1 0 - P a 2 . 2 操作系统: 各操作开关、 按钮、 启动灵活， 定位可靠， 标志齐全。 2 . 3 传动系统 设备运转平稳， 无冲击， 无振动。 2 . 4 润滑系统: 升降机构润滑系统完好， 管路齐全， 油路畅通。 2 . 5 电气系统: 2 . 5 . 1 电器性能良好 ， 运行可靠， 保护装置齐全、 有效。 2 . 5 . 2 线路完整， 绝缘层无破裂， 无漏电现象。 2 . 5 . 3 各种仪表指示正确， 无误、 有效期内校验合
3、格证。 2 . 5 . 4 电炉烘箱电热丝固定， 牢固可靠。 2 . 5 . 5 各级电极夹头应有明显标记， 线夹接头处应牢固无松动现象。 2 . 5 . 6 调压器、 继电器开关接头牢靠， 动作触点接触良好。 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1 5 批准 1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 54 5 S J/ r 3 1 1 5 6 -9 4 2 . 6 真空系统 : 2 . 6 . 1 机械泵、 扩散泵、 运行正常、 可靠。 机械泵完好要求参照S J / T 3 1 4 1 2 -9 4 W 型真空泵完 好标准执行。 2 . 6 . 2 真空管道 ， 阀门
4、应密封良好， 不许有渗漏现象。 2 . 了 安全防护 : 2了， 各安全防护装置齐全， 可靠。 2 . 7 . 2 接地可靠， 标志明显。 2 . 8 维护保养: 按 S J / T 3 1 0 0 2 -9 4 设备维护保养通则 执行。 检查、 评定方法 3 . 1 检查方法 3 . 1 . 1 电压、 电流用设备上的电压表和电流表进行检查 3 . 1 . 2 极限真空度可检查预抽机械泵、 扩散泵 1 h后看真空度是否达到: 5 X 1 0 - P a ， 用电离真 空计检查。 3 . 1 . 3 绝缘性能用兆欧表检查漏电。 3 . 1 . 4 其余项目完好要求所列内容用主观法检查。 3 .
5、 2 评定方法: 3 . 2 . ， 主要项 目有2 . 1 , 2 . 5 , 2 . 6 , 2 . 7项中所列各条， 其余项目为次要项 目。 3 . 2 . 2 主要项 目有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 设备 。 3 . 2 . 3 完好设备的维护保养， 应达到优等设备标准。 附加说 明: 本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本标准由上海市仪表电讯工业局组织起草 本标准主要起草人: 庄正方。 9 46 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 提供优质文档， 如果 你下载的文档有缺页、 模糊等现象或 者遇到找不到的稀缺文件， 请发站内 信和我联系！我一定帮你解决！ 本人有各种国内外标准 20 余万个， 包括全系 列 GB 国标国标及国内行业行业及部门标准部门标准，全系列 BSI EN DIN JIS NF AS NZS GOST ASTM ISO ASME SSPC ANSI IEC IEEE ANSI UL AASHTO ABS ACI AREMA AWS ML NACE GM FAA TBR RCC 各国船级 社 船级 社 等大量其他国际标准。豆丁下载网址：豆丁下载网址： http:/