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1、设 备 完 好 要 求 和 检 查 评 定 方 法 ( 下册) 专 用 设 备 ( 续) 中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准 E V P - - 1 3 4 8 0 型磁控溅射机完好要求 和检查评定方法 S J / T 3 1 2 7 3 -9 4 主肠内容与适用范囤 本标准规定了E V P -1 3 4 8 0 型磁控溅射机的完好要求和检查、 评定方法。 本标准适用于E V P -1 3 4 8 0 型磁控溅射机， 其它规格的磁控溅射机亦可参照执行。 2术语 磁控溅射是在靶上外加互相垂直的磁场和电场， 在一定的真空情况下， 发生浓密度的 等离子体， 利用等离子体的作用 形成膜
2、层。 3 完好要求 3 . 1性能 要 求 3 . 1 . 1 极限压力: 低于1 X 1 0 - P a . 3 . 1 . 2 设备运转: 2 0 min后， 极限压力能满足溅射要求。 3 . 2 操作系统 各操作手柄、 开关、 按钮等齐全、 无缺损、 灵敏、 可靠， 标志齐全。 3 . 3传 动现 象。 3 . 3 . 1 传动机构运行平稳， 可靠、 电机变速机构等工作正常， 无异常噪音。 3 . 3 . 2 制动、 限位装置齐全， 完整、 灵敏、 可靠。 3 . 4 润滑系统 3 . 4 . 1 润滑装置齐全， 完整无损， 作用良好。 3 . 4 . 2 管路齐全， 油路畅通， 油窗明
3、亮， 油标醒目; 油质、 油量符合规定要求。 3 . 4 . 3 油嘴、 油杯、 油眼清洁， 无堵塞现象。润滑良好; 基本无漏油， 即每一漏油点滴油数， 3 m i n 内不得超过一滴。 3 . 5 真空系统 3 . 5 . 1 真空泵运转平稳， 无异常振动， 无冲击 ， 极限压力不低于1 X 1 0 - P a , 3 . 5 . 2 低温泵工作正常。 3 . 5 . 3 蒸发室观察窗清洁、 密封良好。 3 . 5 . 4 真空管路连接紧固可靠、 畅通、 密封良好。 3 . 5 . 5 真空阀门开闭灵活可靠。 3 . 6 电气系统 中华人民共和国电子工业部 1 9 9 4 - 0 4 - 1
4、 5 批准 一8 1 0 一 1 9 9 4 - 0 6 - 0 1实施 S J / T 3 1 2 7 3 -9 4 3 . 6 . 1 各元、 器件齐全、 完整、 性能良好 ， 可靠， 无老化现象。 3 . 6 -1 2管线 完整， 无 损， 联 接 牢 固。 线 路 绝 缘 层 无 破 裂， 无 老 化， 漏电 现 象。 3 . 6 . 3 电气控制柜内部清洁， 线路布置整齐， 标志齐全、 明显， 各端子紧固无松动现象， 元、 器 件动作灵敏、 安全、 可靠。 3 . 6 . 4 仪表齐全、 完整， 灵敏、 指示准确， 可靠， 有有效期校验合格证。 3 . 7附 属 装 置 冷却水供应正
5、常， 管道畅通。 3 . 8 安全防护 3 . 8， 各安全防护装置齐全、 完整， 工作正常， 可靠。 3 . 8 . 2 接地( 零) 可靠、 标志明显。 3 . 9 维护保养 按S J / T 3 1 0 0 2 -9 4 设备维护保养通则 执行。 4 检变、 评定方法 4 . 1 检查方法 4 . 1 . 1 设备极限压力用真空表检测。 4 . 1 . 2 设备接地漏电用兆欧表检测。 4 . 1 . 3 完好要求 3 . 2 -3 . 9 各条所列内容均采用主观法检查. 4 . 2 评定方法 4 . 2 . 1 3 . 1 -3 . 9 所列各条要求中， 主要项目 为: 3 . 1 .
6、1 , 3 . 1 . 2 , 3 . 5 . 1 , 3 . 5 . 2 , 3 . 5 . 3 , 3 . 6 . 1 - - 3 . 6 . 4 , 3 . 8 . 1 , 3 . 8 . 2 。其余为次要项 目。 4 - 2 - 2 设备 。 4 . 2 . 3 主要项目 有一项不符合要求， 为不完好设备; 次要项目有二项不符合要求， 亦为不完好 完好设备的维护保养， 应达到优等设备标准。 附加说明: 本标准 由电子工业部经济运行与体制改革司提出。 本标准由上海市仪表电讯工业局组织起草。 本标准主要起草人 : 周尧良。 8 1 1 *草庐一苇草庐一苇*提供优质文档， 如果 你下载的文档
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