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1、艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅
2、膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿
3、莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆
4、芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀
5、肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄
6、芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿
7、膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃
8、莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇
9、膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄
10、肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈
11、芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃
12、膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇
13、莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁
14、膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅
15、肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀
16、节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇
17、肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁
18、莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅
19、膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀
20、聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄
21、节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈
22、肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅
23、莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿
24、膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄
25、羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈
26、芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂
27、肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆
28、莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃
29、腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈
30、羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃薆螀节蒂蚈羅膈薁螀螈肄薁蒀羄羀薀薂螆莈蕿螅肂芄薈袇袅膀薇薇肀肆薆虿袃莅薅螁肈芁蚅袃袁膇蚄薃肇肃芀蚅袀聿艿袈膅莇芈薇羈芃芈蚀膃腿芇螂羆肅芆袄蝿莄莅薄羄芀莄蚆螇膆莃衿羃膂莃薈袅肈莂蚁肁莆莁螃袄节莀袅聿膈荿薅袂肄蒈蚇肈羀蒇蝿袀艿蒇葿肆芅蒆蚁罿膁蒅螄膄肇蒄袆羇莆蒃 传感器技术在机电一体化系统中的应用及其发展
31、 摘 要 在机电一体化系统中，传感器处系统之首，其作用相当于系统感受 器官，能快速、精确地获取信息并能经受严酷环境考验，是机电一体化系统达 到高水平的保证。如缺少这些传感器对系统状态和对信息精确而可靠的自动 检测，系统的信息处理、控制决策等功能就无法谈及和实现。文章概述传感器 研究现状与发展，探讨传感器在机电一体化系统中的应用，并分析我国传感 器技术发展的若干问题及发展方向。 关键词：传感器技术，光机电一体化，应用 1 THE SENSOR TECHNOLOGY APPLICATION IN MECHATRONICS SYSTEM AND ITS DEVELOPMENT ABSTRACT In
32、 mechatronics system, where the sensor system, the role of the equivalent system feeling Organs, can quickly and accurately to obtain information and can withstand harsh environment test, is electromechanical integration system reaches To a high level of assurance. Such as lack of these sensors on t
33、he system state and accurate and reliable information to be automatic Testing, the systems information processing, control decision-making functions cannot talk about and realization. This article summarizes the sensor Research situation and development, discusses the sensors in the electromechanica
34、l integration system, and analyzes the application of sensor Implement technology development certain problems and development direction. WORDS: KEY WORDS:sensor technology，Optic-mechanical integration，application 2 目 录 中文摘要2 页 英文摘要.3 页 前言.1 页 第一章、传感器在机电一体化系统中的作用及地位.1 页 1.1 机器人用传感器. .1 页 1.2 机械加工过程的
35、传感检测技术.1 页 1.3 汽车自动控制系统中的传感技术.2 页 第二章、常用传感器的类型、特点、结构及用途.3 页 2.1 电阻式传感器.3 页 2.2 电容式传感器.5 页 2.3 电感式传感器.6 页 2.4 压电式传感器.7 页 2.5 霍尔式传感器.9 页 第三章、机电一体化系统中传感器的选择 .11 页 3.1 数控机床对传感器的要求.11 页 3.2 位移的检测.11 页 3.3 位置的检测.12 页 3.4 速度的检测.13 页 3.5 压力的检测.13 页. 3.6 温度的检测.14 页 1 3.7 刀具磨损的监控.14 页 第四章、 我国传感器技术的发展趋势.14 页 4
36、.1 与国外的差距.15 页 4.2 今后的发展趋势.15 页 第五章、结论.17 页 第六章、参考文献.18 页 第七章、致谢.19 页 2 前 言 从 20 世纪 80 年代起，逐步在世界范围内掀起一股“传感器热” ，各先进工业 国都极为重视传感技术和传感器研究、开发和生产。传感技术已成为重要的现代 科技领域，传感器及其系统生产已成为重要的新兴行业。 传感器技术是一项当今世界令人瞩目的迅猛发展起来的高新技术之一，也是 当代科学技术发展的一个重要标志，它与通信技术、计算机技术构成信息产业的 三大支柱。如果说计算机是人类大脑的扩展,那么传感器就是人类五官的延伸，当 集成电路、计算机技术飞速发展
37、时，人们才逐步认识信息摄取装置传感器没 有跟上信息技术的发展而惊呼“大脑发达、五官不灵” 。 传感器技术是测量技术、半导体技术、计算机技术、信息处理技术、微电子学、 光学、声学、精密机械、仿生学、材料科学等众多学科相互交叉的综合性高新技 术密集型前沿技术之一。 第一章 传感器在机电一体化系统中的作用及地位 在机电一体化系统中，传感器处系统之首，其作用相当于系统感受器官，能 快速、精确地获取信息并能经受严酷环境考验，是机电一体化系统达到高水平的 保证。如缺少这些传感器对系统状态和对信息精确而可靠的自动检测，系统的信 息处理、控制决策等功能就无法谈及和实现 。 传感器是左右机电一体化系统（或产品）
38、发展的重要技术之一，广泛应用于各种 自动化产品之中。 2 1.1 机器人用传感器 工业机器人之所以能够准确操作，是因为它能够通过各种传感器来准确感知 自身、操作对象及作业环境的状态，包括：其自身状态信息的获取通过内部传感 器（位置、位移、速度、加速度等）来完成，操作对象与外部环境的感知通过外部 传感器来实现，这个过程非常重要，足以为机器人控制提供反馈信息。 1.2 机械加工过程的传感检测技术 1 （1）切削过程和机床运行过程的传感技术。 切削过程传感检测的目的在于优化切削过程的生产率、制造成本或（金属） 材料的切除率等。切削过程传感检测的目标有切削过程的切削力及其变化、切削 过程颤震、刀具与工
39、件的接触和切削时切屑的状态及切削过程辨识等，而最重要 的传感参数有切削力、切削过程振动、切削过程声发射、切削过程电机的功率等。 对于机床的运行来讲，主要的传感检测目标有驱动系统、轴承与回转系统、温度 的监测与控制及安全性等，其传感参数有机床的故障停机时间、被加工件的表面 粗糙度和加工精度、功率、机床状态与冷却润滑液的流量等。 （2）工件的过程传感。 与刀具和机床的过程监视技术相比，工件的过程监视是研究和应用最早、最 多的。它们多数以工件加工质量控制为目标。20 世纪 80 年代以来，工件识别和工 件安装位姿监视要求也提到日程上来。粗略地讲，工序识别是为辨识所执行的加 工工序是否是工（零）件加工
40、要求的工序；工件识别是辨识送入机床待加工的工 件或者毛坯是否是要求加工的工件或毛坯，同时还要求辨识工件安装的位姿是否 是工艺规程要求的位姿。此外，还可以利用工件识别和工件安装监视传感待加工 毛坯或工件的加工裕量和表面缺陷。完成这些识别与监视将采用或开发许多传感 器，如基于 TV 或 CCD 的机器视觉传感器、激光表面粗糙度传感系统等。 （3）刀具,砂轮的检测传感。 切削与磨削过程是重要的材料切除过程。刀具与砂轮磨损到一定限度（按磨 钝标准判定）或出现破损（破损、崩刃、烧伤、塑变或卷刀的总称） ，使它们失去 切（磨削能力或无法保证加工精度和加工表面完整性时，称为刀具/砂轮失效。工 业统计证明，刀
41、具失效是引起机床故障停机的首要因素，由其引起的停机时间占 NC 类机床的总停机时间的 1/5-1/3.此外，它还可能引发设备或人身安全事故，甚 至是重大事故。 1.3 汽车自动控制系统中的传感技术 随着传感器技术和其它新技术的应用，现代化汽车工业进入了全新时期。汽 车的机电一体化要求用自动控制系统取代纯机械式控制部件，这不仅体现在发动 机上，为更全面地改善汽车性能，增加人性化服务功能，降低油耗，减少排气污 染，提高行驶安全性、可靠性、操作方便和舒适性，先进的检测和控制技术已扩 2 大到汽车全身。在其所有重点控制系统中，必不可少地使用曲轴位置传感器、吸 气及冷却水温度传感器、压力传感器、气敏传感
42、器等各种传感器 第二章 常用传感器的类型、特点、 第二章、常用传感器的类型、特点、结构及用途 传感器已广泛应用于航天、航空、国防科研、信息产业、机械、电力、能源、 交通、冶金、石油、建筑、邮电、生物、医学、环保、材料、灾害预测预防、农 林、渔业生产、食品、烟酒制造、机器人、家电等诸多领域,可以说几乎渗透到每 个领域 。 下面，我就几类基本类型的传感器做些介绍： 1 2.1 电阻式传感器 电阻式传感器是把被测量转换为电阻变化的一种传感器.按工作的原理可分 为：变阻器式、电阻应变式、热敏式、光敏式、电敏式。 （1） 变阻器式传感器 变阻器式传感器的等效电路如下图： 如果电阻丝的直径和材料确定，单位
43、位移的电阻值为一常数，传感器的输出 与输入成线性关系。 变阻式传感器又称为电位器式传感器。它们是由电阻元件及电刷(活动触点) 两个基本部分组成。电刷相对于电阻元件的运动可以是直线运动、转动和螺旋运 动，因而可以将直线位移或角位移转换为与其成一定函数关系的电阻或电压输出。 这类传感器结构简单，尺寸小，性能稳定。受环境影响小。不需放大。滑线 变阻器式传感器精度可达 0.1。 在生活中，应用实例诸多，如重量的自动检测-配料设备、煤气包储量检测 等。 3 （2）电阻应变式传感器 电阻应变式传感器由弹性敏感元件、电阻应变计、补偿电阻和外壳组成， 可根据具体测量要求设计成多种结构形式。弹性敏感元件受到所测
44、量的力而 产生变形，并使附着其上的电阻应变计一起变形。电阻应变计再将变形转换 为电阻值的变化，从而可以测量力、压力、扭矩、位移、加速度和温度等多 种物理量。 电阻应变式传感器是基于电阻应变片的使用，金属电阻应变片的工作原理是 基于金属导体的应变效应，即金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值 随着它所受机械变形（伸长或缩短）的变化而发生变化的现象。 金属应变片的电阻相对变化为 dR / R = dl / l ? 2dr / r + d / ， dl / l = 称为 金属电阻丝的轴向应变，简称纵向应变。 dr / r 称为电阻丝的径向应变，简称横向 应变。当电阻丝沿横向伸长时，两者之间的关系为 dr / r = ? ?dl / l ，其中 ? 为电阻 丝材料的泊桑比， / = = ， dR / R = (1 + 2 ? + ) ， 则 金属电阻材料的 d 很小，即其压阻效应很弱，这样上式可简化为 dR / R (1 + 2 ? ) ，其灵敏度为 S= dR / R = 1 + 2? = 常数 。为了将电阻应变式传感器的电阻变化转换成电压或电 dl / l 流信号，在应用中一般采用电桥电