年产3000吨多晶硅项目可研报告.pdf

《年产3000吨多晶硅项目可研报告.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《年产3000吨多晶硅项目可研报告.pdf（135页珍藏版）》请在三一文库上搜索。

1、1 / 135 b 四川永祥多晶硅有限公司 3000 吨/年多晶硅工程 环境影响报告书 简本 中国环境科学研究院环境影响评价中心 2008年 2月 1 总论 8B5E2RGBCAP 1.1 评价任务由来7P1EANQFDPW 1.2 编制依据8DXDITA9E3D 1.2.1 法律法规8RTCRPUDGIT 1.2.2 政策规定85PCZVD7HXA 1.2.3 技术规范9JLBHRNAILG 1.2.4 相关规划文件9XHAQX74J0X 1.3 评价目的9LDAYTRYKFE 1.4 评价原则10ZZZ6ZB2LTK 1.5 环境功能区划10DVZFVKWMI1 1.5.1 水环境功能区划

2、10RQYN 14ZNXI 1.5.2 大气环境功能区划10EMXVXOTOCO 1.5.3 声环境功能区划10SIXE2YXPQ5 1.6 评价因子106EWMYIRQFL 1.7 评价标准11KAVU42VRU S 1.7.1 环境质量标准11Y6V3ALOS89 1.7.2 污染物排放标准12M2UB6VSTNP 1.8 评价内容及评价重点140YUJCFMUCW 1.8.1 评价内容14EUTS8ZQVRD 1.8.2 评价重点15SQSAEJKW5T 1.9 评价等级划分15GMSIASNXKA 1.9.1 大气环境评价等级15TIRRGCHYZG 1.9.2 地表水环境评价等级15

3、7EQZCWLZNX 1.9.3 声环境评价等级15LZQ7IGF02E 1.9.4 环境风险评价等级16ZVPGEQ J1HK 1.9.5 生态环境评价等级16NRPOJAC3V1 1.10 评价范围和评价时段161NOWFTG4KI 1.10.1 评价范围16FJNFLDA5ZO 1.10.2 评价时段16TFNNHNE6E5 2 / 135 1.11工程外环境关系16HBMVN777SL 1.12 控制污染与保护环境目标17V7L4JRB8HS 1.12.1 控制污染目标1783LCPA59W9 1.12.2 主要保护目标17MZKKLKZAA P 2 建设工程简况18AVKTR43BP

4、W 2.1 相关企业现状18ORJBNOWCED 2.1.1 四川永祥股份有限公司简介182MIJTY0DTT 2.1.2 四川永祥股份有限公司对本工程的支撑条件分析19GIISPIUE7A 2.2 建设工程简况19UEH0U1YFMH 2.2.1 工程名称、性质、地点19IAG9QLSGBX 2.2.2 建设内容、生产规模、产品方案20WWGHWVVHPE 2.2.3 工程组成及主要环境问题20ASFPSFPI 4K 2.2.4 工程主要技术经济指标20OOEYYZTJJ1 2.2.5 工程建设进度20BKEGUINKXI 2.2.6 主要工艺设备21PGDO0SRLMO 2.2.7 主要原

5、辅材料、公用工程消耗及来源213CDXWCKM 15 2.2.8 辅助公用工程及设施21H8C52WONGM 3 工程分析24V4BDYGIOUS 3.1 工艺技术方案24J0BM4QMPJ9 3.1.1 工艺技术路线确定24XVAUA9GRYP 3.1.2 生产方法和反应原理24BR9C6TJSCW 3.2 工艺流程及产污分析26PN9LBDDTRD 3.2.1 氢气制备与净化工序26DJ8T7 NHUGT 3.2.2 氯化氢合成工序27QF81D7BVUA 3.2.3 三氯氢硅合成工序274B7A9QFW9H 3.2.4 合成气干法分离工序28IX6IFA8XOX 3.2.5 氯硅烷分离提

6、纯工序28WT6QBKCYDE 3.2.6 三氯氢硅氢还原工序28KP5ZH46ZRK 3.2.7 还原尾气干法分离工序29YL4HDOAA61 3.2.8 四氯化硅氢化工序29CH4PJX4BLI 3.2.9 氢化气干法分离工序30QD3YFHXCZO 3.2.10 氯硅烷贮存工序30E836L11DO5 3.2.11 硅芯制备工序30S42EHLVE3M 3.2.12 产品整理工序31501NNVZFIS 3.2.13 废气及残液处理工序31JW1VIFTGW9 3.2.14 废硅粉处理31XS0DOYWHLP 3.2.15 工艺废料处理工序32LOZMKIQI0W 3.3 水量平衡及物料

7、平衡32ZKZUQSUJED 3.3.1 水量平衡32DGY2MCOKTT 3.3.2 工程多晶硅装置物料平衡33RCYBSWRLIA 3.3.3 主要关心元素平衡33FYXJOFLMWH 3.4 污染物产生、治理措施及排放分析33TUWRUPPOBX 3.4.1 施工期污染物产生、治理及排放337QWAQ9JPQE 3.4.2 营运期污染物产生、治理及排放分析33LLVIWTNQF K 3.4.3 非正常及事故排污分析40YHUQSDGRT1 3.4.4 工程 “ 三废 ” 产生及排放汇总41MDUZYNKS8I 3.5 工程选址及总图布置的环境合理性分析4209T7T6ETNO 3.5.1

8、 工程选址的合理性分析42E5TFZQIUB5 3.5.2 总图布置的合理性分析44S1SOVACVQM 3 / 135 4 建设工程所在区域环境简况46GXRW1KFW5S 4.1 自然环境简况46UTREX49XJ9 4.1.1 地理位置468PQN3NDY YP 4.1.2 地形、地质、地貌46MLPVZX7ZNW 4.1.3 气象条件47AHP35HB02D 4.1.4 水文条件47NDOCB141GT 4.1.5 主要植被及动物资源471ZOK7LY2VA 4.1.6 矿藏 48FUNSDV23KH 4.1.7 旅游资源48TQMB9EW4YX 4.2 社会环境简况48HMMJFY0

9、5DE 4.2.1 行政区划、人口48VILRAIT6SK 4.2.2 社会经济简况499EK0GSX7H1 4.2.3 交通运输49NAK8CCR8VI 4.2.4 文教、卫生49B6JGIVV9AO 4.3 城市规划50P2IPEFPAP5 4.3.1 城市性质及规模503YIXKPSCDM 4.3.2 市域城镇及用地规划50GUHFG9MDSS 4.4 乐山市 “ 十一五 ” 环境保护规划50UQHOMTQ E79 5 环境质量现状评价51IMGWIDKFLP 5.1 大气环境现状监测及评价51WHF4OMOGAW 5.2 地表水环境质量现状监测及评价52ADFDK6HHPD 5.3 地

10、下水环境监测及评价53OZELQQLI4T 5.4 环境噪声现状及评价53CVDTMAFJIA 6 施工期环境影响预测及评价55QRDCRKJKXH 6.1 社会环境影响分析554NCKN3DLMX 6.1.1 拆迁影响分析55IJCSTNGM0E 6.1.2 搬迁安置影响分析55VFB1PXANFK 6.1.3 减缓拆迁影响措施56JBA9VHEOU1 6.2 施工期间水土流失的影响分析56X7AHR18PJI 6.2.1 水土流失评价标准56B3ZQXLCQXO 6.2.2 水土流失的预测56PZYYTU 5RC5 6.3 施工期间噪声影响分析57DVYGZEZSRM 6.3.1 评价标准

11、57RQXPVY3TFS 6.3.2 施工设备噪声强度调查575MXX1IXUU9 6.3.3 施工期间噪声影响预测57JIW5XS0V9P 6.3.4 施工期间噪声影响评价57XEVE2BUWNW 6.4 施工期环境空气影响分析58KAVMYVYXCD 6.5 施工期水环境影响分析58YWUU4FSZRT 6.6 施工期固体废物影响分析59CSTDAPWA6A 6.7 施工期的生态影响分析59QOTL69PBKH 7 运行期环境影响预测及评价60EKSTCSTCZX 7.1 运行期大气环境影响预测评价60SGS28CNDOE 7.1.1 地面常规气象特征606CRAEMRE2K 7.1.2

12、环境空气影响预测模型及参数62K8QIA6LFH1 7.1.3 预测方案64Y3QRGQOGWI 7.1.4 预测及评价65MZPZCAIHKO 7.1.5 环境空气预测评价小结690VOHIJMIZ5 7.2.运行期水环境影响评价71DROQE3GJEM 7.2.1 地表水环境简况71RNNYJNKKTS 4 / 135 7.2.2 运行期工程废水排放情况72FJN6FXD LH9 7.2.3 预测模型选择72TFMFLHHMWP 7.2.4 地表水环境影响预测结果727BLNH0BNBW 7.2.5 地表水环境影响评价73LXLVNKFOPD 7.2.6 地下水环境影响分析73ZTKEJU

13、9PET 7.3 运行期声环境影响评价74NPJMPECQTA 7.3.1 源强分析741LJULY6R8H 7.3.2 预测方法74FHI3RIASMX 7.3.3 预测结果74SCIBNR4TBE 7.3.4 评价结果74G8HJTBYUQK 7.4 运行期固体废物影响分析75U4GSPV1V41 7.5 生态环境影响影响分析7680GAVFVXJI 7.6 煤贮存及运输的环境影响分析76MWFIQPZYYO 7.6.1 煤场环境影响分析76ASERW8TZM5 7.6.2 运煤对沿线区域环境影响分析77OOEZSSX01M 8 清洁生产分析782KD7YCQ1GS 8.1 产业政策符合性

14、分析78GGCGUMU2V9 8.2 循环经济分析78UCCO06O3JP 8.2.1 水资源综合利用79IYBWWQS4YW 8.2.2 物料综合利用79VUBF2ZM5DD 8.3 节能减排情况分析809PANYJP6RT 8.3.1 当前节能减排形势80NL9V43J7GA 8.3.2 本工程节能减排措施80BH94ANN8V H 8.4 清洁生产水平分析82PD8C6XH9AX 8.4.1 生产工艺的先进性与可行性82397KCGKAOE 8.4.2 原、辅材料及产品清洁性分析83H57T70EBDK 8.4.3 设备及装置清洁生产分析84V16BDKICS1 8.4.4 清洁生产指标

15、分析85JX6J9UCD6I 9 总量控制分析85XT5SFEGELO 9.1 总量控制的目的85AP40BY9FA5 9.2 总量控制因子和计划85OL48HHDGOM 9.3 污染物排放总量确定原则85CH3HDR7H3S 9.4 总量控制目标值的确定86QC2PJBBII9 9.5 总量控制污染物来源及分配方案864Y2XFV5JXP 9.5.1 乐山市 “ 十一五 ” 污染物排放总量分配指标86IU1GLFYLLW 9.5.2 本工程总量控制指标来源及分配方案86WQ1OHO2M0D 9.5.3 总量控制目标确认86KM0WN8WNFT 10 环境风险评价87YIZ5IS0OTA 10

16、.1 工程原材料、产品化学性质毒性及储运方式87CEZDOCUPIH 10.1.1 工程原材料、产品化学性质及毒性87PAYLKMXQXX 10.2 风险识别87D6XUQ6RRBE 10.2.1 工艺系统及生产过程危险性识别87R2XCMPVSQK 10.2.2 物质危险性识别875YWKSZPTF1 按单项评价，本工程氯硅烷存贮工序中三氯氢硅储罐为重大危险源。其它物料及装置未构成重大 危险源。 10.3 环境风险评价工作级别确定88JUWTOJTUUI 10.4 评价范围88XQV1U3MV8O 10.5 源项分析88LLU9QNQWN5 10.5.1 事故污染类比案例调查88ZHUIWW

17、KXCM 10.5.2 事故风险因素及源项的确定89DDTQSG OYQS 5 / 135 10.5.3 氯气与氯化氢泄漏量的计算90RZSYY0IZ59 10.6 后果计算90FVSHUKLAKP 10.6.1 扩散模式及参数的确定90SRRPZUFBZW 10.6.2 预测结果906NRXVDJCND 10.7 风险计算和评价92KJQ61X DD2T 10.7.1 风险后果评价92YFPEXHHEHA 10.7.2 风险可接受分析95MBPM3RAFVH 10.8 风险管理9507OVZBEGKX 10.8.1 风险防范及减缓措施95E3ND5V8IZE 10.8.2 风险应急预案100

18、SYNLBECJ DK 10.8.3 区域环境质量保障100GUMU7O6KS1 10.8.4 环境风险管理投资估算101UQM2D8 ZLHI 10.9 环境风险评价结论1017MLA9S3MWO 10.9.1 结论 101LIKJFCXNA5 10.9.2 建议 102ZEKRBL1OPM 11环境保护措施及其经济技术论证102NAJZG5UPES 11.1环保措施综述1021WIICPYQS9 11.1.1 采用先进、成熟的生产技术102FSIQIZSR7P 11.1.2 认真贯彻实施清洁生产和总量控制原则102TOHYEJWSMW 11.1.3 严格执行有关的环保标准和法规102HKG

19、7K3QTBD 11.1.4 采取各种有效措施，避免和减少污染物的排放102VGGFGMTUPT 11.2大气污染防治措施评价1039CFNMWNV4A 11.2.1 硅粉装卸站含尘废气103M7FWIGRWJH 11.2.2 氯化氢合成工序尾气103A3EEO0LXXX 11.2.3 含氯化氢工艺废气及残液104OZDMKKPYME 11.2.4 含 HF、NOX酸洗废气1052VDVQTIZ1K 11.2.5 锅炉燃烧废气105GRC3MDM0F1 11.2.6 食堂油烟106UNBBRXG1UI 11.3废水污染防治措施评价106IJBKNHK2JO 11.3.1 含 HCL废气、残液处

20、理系统废水106WFASTRE3Y5 11.3.2 硅芯制备工序和产品整理工序废水、废液106ABAAPBH4CM 11.3.3 设备 /地坪冲洗水107OXZJVUB6RS 11.3.4 实验室废水107CTYRREF7G9 11.3.5 废硅粉尘处理含酸废液107PPYZXO98UP 11.3.6 脱盐水装置、循环水系统、锅炉房排水1073KX8T8D99W 11.3.7 生活污水107HGWG ZS6AOD 11.3.8 设置废水事故池及消防废水收集池108VCWOVBABCT 10.3.9 防止地下水污染措施评价108J8VX1L4CRA 11.3.10 关于冷却水综合利用建议109X

21、4VFX5YD6H 11.4噪声污染防治措施评价及建议109B0UN3P2ELX 11.5固体废物污染防治措施评价及建议110PWTWYZVFZE 11.6无组织排放拟采取的防范措施110DST44JZGOK 11.7非正常排放拟采取的防范措施111ROSCA2TH31 11.8绿化措施及建议1114KRL6MXIHI 11.9排污口规范化建设112IGRTCWRJWO 11.10 其它防范措施113WCQB8GUKL5 11.11 工程污染防治措施及投资估算113KYQKE0OL0M 12 环境影响经济损益分析113YTPSAJSMES 12.1 效益分析113CPO0GTMNT 9 12.

22、1.1 促进我国太阳能光伏产业的发展113QLO9CDQOIQ 6 / 135 12.1.2 增强企业市场竟争能力114EHNHIXJPWW 12.1.3 解决部分人员就业问题114SDMPEHNQBD 12.1.4 促进区域经济的发展11469MYKRHRQT 12.1.5 具有较好的经济效益114K5LGFALTEA 12.1.6 合理利用副产品，减少污染物排放量114X1LOLUFUTH 12.2 环境影响经济损益分析114LXKXHEIV8X 12.2.1 环保投资114ZTJ5NOCWNE 12.2.2 环保运行费用115DPJDJ8GXBL 12.2.3 环境影响损失分析115RL

23、IMPRAYQ1 13 公众参与115FGHULBDZ5I 13.1 公众参与的目的和意义115TCHCRL7AJO 13.2 公众参与的原则1157YGLN5BBY5 13.3 公众参与的方式、对象和内容116LUGTTP5CNM 13.3.1 调查方法116ZQF1PYZD1S 13.3.2 调查对象的构成116MMEAVI2EG9 13.3.3 公众参与调查结果统计1170IEIQ2WFVQ 13.3.4 调查统计结果分析118EEDQWM0GKW 13.4 公众参与结论和建议119SACZSWU HYD 14 环境管理与环境监测120G6CHYGYIDT 14.1 环境管理与监测的目的

24、120U2BPUZRJSA 14.2 环境管理计划1208YAY0JVKGH 14.2.1 环境管理的总体指导原则120MTA6WTPLVX 14.2.2 环境管理机构设置及职责121AP9E2DTMAE 14.2.3 环境管理制度121OL9NYXNNPL 14.2.4 环境管理实施计划1221H8V4GQOD1 14.2.5 环境管理体系123FD7DAQKPSI 14.3 环境监测计划123TZ7M6AOR7O 14.3.1 环境监测的目的123HV6UCUISL5 14.3.2 环境监测机构124VR527EMTAM 14.3.3 监测制度及实施计划1249N5BDOFUPS 14.3

25、.4 监测报告制度125NJ4J97JV39 14.3.5 监测仪器及技术文件管理125BF4RFRDWIQ 14.3.6 排污口管理126PB3ABBHXXW 15.环境影响评价结论127372IHLBYMD 15.1 工程区域环境质量现状评价结论127H22QD5EZ0T 15.2.环境影响预测评价结论128UY1ZJO80 FA 15.3 工程建设的环境可行性结论130IU07FYC1UH 1、产业政策符合性130WQ0FLI62IX 2、选址与相关规划符合性结论131AMZOH2A3XE 3、厂区平面布置的合理性131OIZWNM34CL 4、清洁生产132CEYEJWX5R1 5、环

26、境保护措施132QAXNOF16FI 9、公众意见1344WXVKZV7UO 15.4 结论与建议134ISW3QJZ895 1、结论 134WOVCMTS9NM 2、建议 134JKVKSDWACS 7 / 135 1 总论 1.1 评价任务由来 多晶硅是制造太阳能电池的重要原料，因为其提炼的过程技术要求很高，目前 世界上掌握多晶硅成熟生产技术的厂家不到十个，且都分布在德美日三国。他们占 有了市场 95以上的份额，对多晶硅市场造成了绝对的垄断。近年多晶硅的产量远 不能满足太阳能光伏产业的需求。2005 年全球多晶硅的产量为2.8 万吨，这其中仅 有 35的多晶硅是用来供给太阳能电池制造商，然

27、而实际的需求量在1.5 万吨，缺 口 5000 吨以上。缺口在2006 年进一步放大。虽然八大多晶硅厂家纷纷制定了一系 列的扩产计划，并且全球范围内又有许多大的多晶硅工程上马。但新的产能乐观估 计最早也只能在07年底投产， 08 年产量才能得以体现。预测2007 年多晶硅产能在 3.6 万吨，需求约 4.5 万吨。可见多晶硅这一环节已经严重影响了整个太阳能光伏发 电市场，在整个产业链中成为一个急需解决的瓶颈。XfUsoWqbR9 为鼓励新能源产业的发展，国家发展和改革委员会文件(发改办高技【 2005】 509号明确要求，组织实施 “ 可再生能源和新能源高技术产业化专项” ，明确提出 “ 解决

28、我国太阳能电池用多晶硅原料生产和光伏产业链发展不平衡的问题” ，“ 开展太 阳能电池用硅锭 /硅片以及高效低成本太阳能电池组件及系统控制部件的产业化” 以 促使我国光伏产业的健康发展。我国可再生能源法的实施，将会进一步推动太 阳能电池行业的发展，为多晶硅创造更广阔的市场。太阳能电池的发展将大大带动 多晶硅需求的增加。 bbUBUGUc5Q 此外，国家发展和改革委员会2005年第40号令产业结构调整指导目录(2005年 本鼓励类产业第二十四项信息产业第38条将6英寸及以上单晶硅、多晶硅及晶片 制造列为当前国家重点鼓励发展的产业。 p7TJqqnekw 基于对以上市场需求的预测以及国家有关产业政策

29、，四川永祥多晶硅有限公司 决定在乐山五通桥区投资建设年产3000 吨多晶硅工程。按照中华人民共和国环 境保护法、中华人民共和国环境影响评价法和国务院第253 号令要求，一切 新建、扩建、技改工程必须进行环境影响评价。为此，四川永祥多晶硅有限公司于 2007 年 12 月正式委托中国环境科学研究院承担此工程的环境影响评价工作。中国 环境科学研究院在接受委托后，派有关技术人员对该工程进行了现场实地踏勘、资 料文献收集，与工程设计单位、业主进行了咨询和交流。在此基础上按照环评技术 导则规范和要求，编制了四川永祥多晶硅有限公司3000 吨/年多晶硅工程环境影 响报告书。D3SRWaRfzd 8 / 1

30、35 1.2 编制依据 1.2.1 法律法规 (1中华人民共和国环境保护法1989年 12月 26 日； (2中华人民共和国环境影响评价法2003年 9 月 1 日； (3中华人民共和国清洁生产促进法2003年 1月 1日； (4中华人民共和国节约能源法1998年 1 月 1 日； (5中华人民共和国可再生能源法2005.3； (6中华人民共和国大气污染防治法2000年 4 月 29 日； (7中华人民共和国水污染防治法1984年 5 月 11日； (8中华人民共和国固体废物污染环境防治法2005年 4 月 1 日； (9中华人民共和国环境噪声防治法1996年 10 月 29日； (10 中华

31、人民共和国国务院令第253号建设工程环境保护管理条例1998年 11月 29日； (11可再生能源中长期发展规划的通知，国家发展和改革委员会发改能源 【2007】2174号。 (12关于加强环境影响评价管理防范环境风险的通知，环发【2005】152 号； (13危险化学品安全管理条例2002年 3 月 15日； (14关于检查化工石化等新建工程环境风险的通知，环办【2006】4 号； 1.2.2 政策规定 (1 中华人民共和国国务院国发200539 号国务院关于落实科学发展观加强 环境保护的决定； (2产业结构调整目录 国家经贸委等六部委 20001015 号文关于加强工业节水工作的意见； (

32、4国家危险废物名录环发1998089 号； (5 四川省政府川府发 (1996142号四川省人民政府关于加强环境保护工作的 决定； (6 四川省人民政府办公厅关于印发四川省地面水水域环境功能划分管理规 定， 1992年 1月，川府发【 1992】5 号；RZS0sUlgOT (7乐山市人民政府关于乐山市地面水水域环境功能划分的通知，1992年 1 月，乐府发【 1992】10号；5VR8YEPh2A 9 / 135 (8 乐山市人民政府办公厅关于印发乐山市环境空气质量功能区划分的规定 的通知， 1997年 9月，乐府办【 1997】13号。jRQgunjihh 1.2.3 技术规范 (1 环境

33、影响评价技术导则(HJ/T2.12.3-93，国家环保局发布， 1994年 4 月 1 日实施；xNQpZ7MjwX (2 环境影响评价技术导则声环境 (HJ/T2.4-1995，国家环保局发布， 1996 年 7 月 1 日实施； LJPxvRgkKE (3 建设工程环境风险评价技术导则(HJ/T169-2004； (4 化学品安全技术说明书编写规范 重大危险源辩识 (GB18218-2000。 (6 化学工业部化工行业标准 环境影响评价公众参与暂行办法 化工建设工程环境保护设计规定(HGT20667-2005。 1.2.4 相关规划文件 mg/L 1.0 8 硝酸盐氮 、夜间 50dB(A

34、。M8KK9vAtTQ 1.7.1.4地下水环境标准 地下水环境质量执行中华人民共和国国家标准地下水质量标准 1 pH 无量纲6.58.5 2 氟化物mg/L 1.0 3 氯化物mg/L 4 硝酸盐氮mg/L 5 高锰酸盐指数mg/L .0 氨氮mg/L 0.2 挥发酚mg/L 0.002 1.7.2 污染物排放标准 1.7.2.1 废气排放标准 13 / 135 工艺废气排放执行大气污染物综合排放标准 2 氯化氢100 0.26(15m 3 氟化物9.0 0.1(15m 4 氯气65 0.52(25m 无组织排放监控年度限制：周界外浓度最高点：氟化物：20g/m 3,氯化氢： 0.2mg/m

35、 3，氯气： 0.4mg/m3。 锅炉大气污染物排放执行：火电厂大气污染物排放标准(GB13223-2003第 3时段标准限值。具体的标准值见表1-7-5、1-7-6。e0I1bZyvmd 表 1-7-5 火力发电锅炉烟尘最高允许排放浓度和烟气黑度限值 工程烟尘最高容许排放浓度烟气黑度 时段第 3 时段 10 燃煤锅炉 mg/ m 3 50 表 1-7-6 火力发电锅炉二氧化硫最高允许排放浓度 时段第 3 时段 燃煤锅炉及燃油锅炉 mg/m 3 400 表 1-7-7 火力发电锅炉及燃汽轮机组氮氧化物最高允许排放浓度 时段第 3 时段 燃煤锅炉及燃油锅炉 mg/m 3 Vdaf20% 450

36、1.7.2.2废水排放标准 本工程的废水水质执行污水综合排放标准、夜间 55dB(A。rWI9GJ2wBT 14 / 135 表 1-7-9 工业企业厂界噪声标准 类 别 标准值 dB(A 依 据 昼间夜间 化工工业区厂界(类 65 55 工业企业厂界噪声标准GB1234890 另外，施工期间噪声控制执行建筑施工场界噪声限值 昼 间夜 间 土石方装载机、挖掘机、推土机、压路机、平土机等75 55 打桩各种打桩机等85 禁止施工 结构混凝土搅拌机、振捣棒、电锯等70 55 装修吊车、升降机等65 55 1.7.2.4固体废物污染控制标准 本工程固体废物按其性质分别执行危险废物贮存污染控制标准0.

37、4MPa，因此满足全厂各装置及辅助生产装置的生产 用水、冲洗用水及其它用水压力。因此生产水通过厂区生产、消防管网直接供给各 用户。4HmJcRn6Fh 生活污水系统 工程生活污水排放量为3.6m 3/h，经二级生化处理后达标排放。 (2生产污水系统 工程生产废水主要来自多晶硅生产装置废气残液处理、产品后处理和硅芯制备 工序的水洗、设备 /地坪冲洗水、实验室废水等，其中约8.26th 经中和处理后做副 产物综合利用，不外排；约3.08th 冷凝液回用配碱液，不外排，约0.8th 经中 和处理后，排入厂二级生化处理站处理达标后排至厂总排污口。cnjoLyMbQI (3清净下水系统 本工程中的清净下

38、水主要是来自循环水系统、锅炉和脱盐水站排放水，排水量 为 80.85 m3/h，经清净下水管网收集排入涌斯江。 qjjxhhgc5o (4雨水系统 主要接纳本工程界区内的雨水，地面雨水的收集采用雨水口、雨水支管和雨水 干管，汇集后以重力流的方式排入涌斯江。 DfiFN1Jdk5 (5污染消防水系统 为避免消防事故水对环境造成污染，杜绝消防后的水引起的水源污染, 消防后 的水经全厂雨水系统送入事故消防废水收集池储存。事故消防废水收集池采用钢筋 混凝土结构，有效容积为2052 m 3。 RahNjLdeyM 2.2.8.3脱盐水、超纯水的制备 工程所用脱盐水由脱盐水站提供，厂区设一级脱盐水和超纯水

39、处理装置各一 套。 2.2.8.4 冷冻站 冷冻站设置两个供冷系统：制冷主机采用螺杆式盐水机组的-15冷冻盐水系统 和制冷主机采用离心式冷水机组的7冷冻水系统。 56hWPvHfNs 2.2.8.5 循环水系统 系统向各工艺生产装置热交换设备提供循环冷却水，循环水量为23513m3/h， 采用逆流式钢筋混凝土结构机力通风冷却塔。j2g4lfbg29 2.2.8.6 压缩空气和制氮站 工程全厂设置一个空压制氮站，统一供气。 23 / 135 本站空气供气系统主机亦设置为一开一备共两套，采用离心式空压机组，仪表 空气的干燥采用吸附式微热再生空气干燥器。仪表空气紧急事故用气的提供，设置 空气增压机和

40、空气球罐，贮存的空气满足最低用气压力可提供约30分钟的用量。 xYfcRZFhhQ 2.2.8.7 锅炉房 本工程所用蒸汽由锅炉房供给。拟建设85t/h，3.82MPa中压循环流化床锅炉二 台-m类型的衍生物。 6wb9s91pVE 主反应 Si+3HCl SiHCl3+H2 Si+4HCl SiCl4+2H2 副反应 2SiHCl3SiH2CI2+SiCl4 2Si+6HCl Si2C16+3H2 2Si+5HCl Si2HCl5+2H2 3.1.2.4合成气干法分离 经三级旋风除尘器组成的干法除尘系统除去部分硅粉，经低温氯硅烷液体洗 涤、分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢气体，分别循环回装置使

41、用。 ksahYTvqal 3.1.2.5氯硅烷分离、提纯 25 / 135 氯硅烷的分离和提纯是根据加压精馏的原理，通过采用合理节能工艺来实现 的。该工艺可以保证制备高纯的用于多晶硅生产的三氯氢硅和四氯化硅(用于氢 化。yoapuDZrp1 3.1.2.6 SiHCl3氢还原 在原始硅芯棒上沉积多晶硅。高纯H2和精制 SiHCl3进入还原炉，在1050的 硅芯发热体表面上反应。 5SiHCl3+H22Si+2SiCl4+5HCl+ SiH2Cl2 3.1.2.7还原尾气干法分离 还原尾气干法分离的原理和流程与三氧氢硅合成气干法分离工序类似。 3.1.2.8 SiCl4 氢化 在三氯氢硅的氢还

42、原过程中生成四氯化硅，在将四氯化硅冷凝和脱除三氯氢硅 之后进行热氢化，转化为三氯氢硅。四氯化硅送入氢化反应炉内，在400500温 度、1.31.5Mpa压力下， SiCl4 转化反应。Mj9y0ntsEI 主反应 SiCl4+H2SiHCl3+HCl 副反应 2SiHCl3SiH2Cl2+SiCl4 3.1.2.9氢化气干法分离 从四氯化硅氢化工序来的氢化气经此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化氢 气体，分别循环回装置使用。氢化气干法分离的原理和流程与三氯氢硅合成气干法 分离工序类似。 0f8Gw7WtSo 3.1.2.10硅芯制备及产品整理 (1硅芯制备 硅芯制备过程中，需要用氢氟酸和硝酸对

43、硅芯进行腐蚀处理，再用超纯水洗净 硅芯，然后对硅芯进行干燥。 (2产品整理 用氢氟酸和硝酸对块状多晶硅进行腐蚀处理，再用超纯水洗净多晶硅块，然后 对多晶硅块进行干燥。 3.1.2.11废气及残液处理 (1工艺废气处理 用 NaOH 溶液洗涤，废气中的氯硅烷(以 SiHCl3 为例和氯化氢与NaOH 发生 反应而被去除。 SiHCl3+3H20=Si02 H20+3HCl+H2 HC1+NaOH=NaC1+H20 废气经液封罐放空。含有NaCl、Si02 的出塔底洗涤液用泵送工艺废料处 理。 26 / 135 (2精馏残液处理 从氯硅烷分离提纯工序中排除的残液主要含有四氯化硅和聚氯硅烷化合物的液

44、 体以及装置停车放净的氯硅烷液体，加入Na0H 溶液使氯硅烷水解并转化成无害物 质。eb8O2Qqu75 水解和中和反应 SiCl4+3H2O=SiO2 H2O +4HCl SiHCl3+3H2O=SiO2 H2O +3HCl+H2 SiH2Cl3+3H2O=SiO2 H2O +3HCl+H2 NaOH+HCl=NaCl+H2O 经过规定时间的处理，用泵从槽底抽出含SiO2、NaCI 的液体，送工艺废料处 理。 3.1.2.12酸洗尾气处理 产品整理及硅芯腐蚀处理挥发出的氟化氢和氮氧化物气体，用石灰乳液作吸收 剂吸收氟化氢；以氨为还原剂、非贵重金属为催化剂，将NOX 还原分解成N2和 水。s7

45、7XyAUvmM 2HF+Ca(OH2=CaF2+H20 6N02+8 NH3=7 N2+12 H20 6 N0+4 NH3=5 N2+6 H20 3.1.2.13酸洗废液处理 硅芯制各及产品整理工序含废氢氟酸和废硝酸的酸洗废液，用石灰乳液中中 和，生成氟化钙固体和硝酸钙溶液，处理后送工艺废料处理。G3754kowAs 2HF+Ca(OH2=CaF2+H2O 2HNO3+Ca(OH2=Ca(NO32+H2O 3.2 工艺流程及产污分析 3.2.1 氢气制备与净化工序 在电解槽内经电解脱盐水制得氢气。电解制得的氢气经过冷却、分离液体后， 进入除氧器，在催化剂的作用下，氢气中的微量氧气与氢气反应生

46、成水而被除去。 除氧后的氢气通过一组吸附干燥器而被干燥。净化干燥后的氢气送入氢气贮罐，然 后送往氯化氢合成、三氯氢硅氢还原、四氯化硅氢化工序。 UZ6dA4SxP9 电解制得的氧气经冷却、分离液体后，送入氧气贮罐。出氧气贮罐的氧气送去 装瓶。 气液分离器排放废吸附剂、氢气脱氧器有废脱氧催化剂排放、干燥器有废吸附 剂排放，均供货商回收再利用。 27 / 135 3.2.2 氯化氢合成工序 从氢气制备与净化工序来的氢气和从合成气干法分离工序返回的循环氢气分别 进入本工序氢气缓冲罐并在罐内混合。出氢气缓冲罐的氢气引入氯化氢合成炉底部 的燃烧枪。从液氯汽化工序来的氯气经氯气缓冲罐，也引入氯化氢合成炉的

47、底部的 燃烧枪。氢气与氯气的混合气体在燃烧枪出口被点燃，经燃烧反应生成氯化氢气 体。出合成炉的氯化氢气体流经空气冷却器、水冷却器、深冷却器、雾沫分离器 后，被送往三氯氢硅合成工序。8V5m6Oly4Q 为保证安全，本装置设置有一套主要由两台氯化氢降膜吸收器和两套盐酸循环 槽、盐酸循环泵组成的氯化氢气体吸收系统，可用水吸收因装置负荷调整或紧急泄 放而排出的氯化氢气体。该系统保持连续运转，可随时接收并吸收装置排出的氯化 氢气体。lR5uCxPziw 为保证安全，本工序设置一套主要由废气处理塔、碱液循环槽、碱液循环泵和 碱液循环冷却器组成的含氯废气处理系统。必要时，氯气缓冲罐及管道内的氯气可 以送入

48、废气处理塔内，用氢氧化钠水溶液洗涤除去。该废气处理系统保持连续运 转，以保证可以随时接收并处理含氯气体。zN4C7hjAxd 3.2.3 三氯氢硅合成工序 原料硅粉经吊运，通过硅粉下料斗而被卸入硅粉接收料斗。硅粉从接收料斗放 入下方的中间料斗，经用热氯化氢气置换料斗内的气体并升压至与下方料斗压力平 衡后，硅粉被放入下方的硅粉供应料斗。供应料斗内的硅粉用安装于料斗底部的星 型供料机送入三氯氢硅合成炉进料管。 NJ3LD1NBMT 从氯化氢合成工序来的氯化氢气，与从循环氯化氢缓冲罐送来的循环氯化氢气 混合后，引入三氯氢硅合成炉进料管，将从硅粉供应料斗供入管内的硅粉挟带并输 送，从底部进入三氯氢硅合

49、成炉。1F3T9LgC1A 在三氯氢硅合成炉内，硅粉与氯化氢气体形成沸腾床并发生反应，生成三氯氢 硅，同时生成四氯化硅、二氯二氢硅、金属氯化物、聚氯硅烷、氢气等产物，此混 合气体被称作三氯氢硅合成气。反应大量放热。合成炉外壁设置有水夹套，通过夹 套内水带走热量维持炉壁的温度。 fB21FvKDfh 出合成炉顶部挟带有硅粉的合成气，经三级旋风除尘器组成的干法除尘系统除 去部分硅粉后，送入湿法除尘系统，被四氯化硅液体洗涤，气体中的部分细小硅尘 被洗下；洗涤同时，通入湿氢气与气体接触，气体所含部分金属氧化物发生水解而 被除去。除去了硅粉而被净化的混合气体送往合成气干法分离工序。 tw2abeeEuX 28 / 135 3.2.4 合成气干法分离工序 从三氯氢硅氢合成工序来的合成气在此工序被分离成氯硅烷液体、氢气和氯化 氢气体，分别循环回装置使用。 三氯氢硅合成气流经混合气缓冲罐，然后进入喷淋洗涤塔，被塔顶流下的低温 氯硅烷液体洗涤。气体中的大部份氯硅烷被冷凝并混入洗涤液中。出