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1、程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 1 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 1.0 目的: 规范ESD 测试项目正确的测量作业步骤和方法，减少因不同人员测量方法上的差异，而影响实际量 测数值之精确度。 2.0适用范围 :适用本公司静电防护区域所有需测试项目。 3.0 定义: 3.1 EPA ：Electrostatic discharge Protected Area静电防护区域 3.2 表面电阻：在一给定的通电时间之后，施加于材料表面上的标准电极之间的直流电压对于电极之间 的电流的比值，在电极上可能的极化现
2、象忽略不计。 3.3 体积电阻： 在一给定的通电时间之后，施加于与一块材料的相对两个面上相接触的两个引入电极之间 的直流电压对于该两个电极之间的电流的比值，在该两个电极上可能的极化现象忽略不计。 4.0 权责: 4.1 IQC 负责静电敏感组件来料包材及自购料辅助材料之入厂检测项目； 4.2 行政科负责设备接地主线、静电接地主线、接地桩和防静电地板对地电阻项目测试； 4.3 各部门负责静电皮/ 垫、静电扣、静电环、静电鞋、静电服/ 帽、流水线体、工作台、料架/ 周转车、 防静电工作椅、离子风机、静电地板表面、电烙铁、电动起子等项目测试； 4.4 各 EPA部门主管负责监督本部门人员进入EPA静
3、电环和人体综合电阻测试； 4.5 各 EPA部门主管负责监控本区域环境温湿度并记录； 4.6 各测试项目负责部门保存相关测试记录； 4.7 各部门负责本部门ESD测试设备的维护与保养。 5.0 内容： 5.1 包材/ 生产周转辅材表面阻抗测试： 5.1.1 IQC负责供应商静电敏感组件来料之内包装材料入厂检测，以及气泡袋、保护膜自购料等包装辅 助材料之入厂检测，测试设备使用重锤测试仪，被测件需放于绝缘台上，绝缘台的表面电阻和体 积电阻均要大于1*10 13 ，其几何周边尺寸均大于被测材料 100mm ，且两锤之间的间距不小于 300mm ，测试方法如下： 1）重锤测试仪测试线如下图方式连接，将
4、两锤分别放置于被测材料表面； 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 2 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 2）按住红色按钮“TEST ”键并保持开始测试，直至上面LED 不跳动并读数，LED 假如在 10 8下方， 则表示被测材料表面电阻为10 8； 3）防静电包装材料表面阻抗规格具体如下： ESSD 来料包装辅材：1*10 10，气泡袋： 1*1041*1011；保护膜： 1*109；泡棉垫 1*1010 ,Tray 盘:1*10 41*1011 检验员需将测量结果记录于检验报告中。 5.2 静电皮 / 垫
5、与静电线导通、表面阻抗测试；静电支线（含静电扣）导通测试： 5.2.1 各部门负责静电皮之体积电阻和表面阻抗测试，测试设备使用重锤测试仪，测试方法与步骤如下： 1）重锤测试仪测试线如下图方式连接，表面电阻测试如下左图所示将两锤分别放置于被测材料表 面，两锤之间的间距不小于300mm ；体积电阻测试如下右图所示将一锤放置于被测静电皮上，另 一锤放置于静电地板上，测静电皮体积电阻时工作台本身对地电阻需满足标准要求（工作台对 静电地板电阻测试见5.4 ），两锤之间的间距不小于500mm ； 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 3 -
6、页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 2 ）按住红色按钮“TEST ”键并保持开始测试，直至LED 不跳动并读数； 3）静电皮 / 垫之体积电阻和表面阻抗规格为1*10 41*109，测试结束后即将测试值记录于 【静电 皮阻抗测试记录表】上，并注明测试日期，各部门负责记录之保存。 5.2.2 各部门负责静电支线（静电扣）导通测试，测试设备使用万用表，测试方法与步骤如下： 1）打开万用表开关，将测试档位调整到“200”档； 2）将万用表的测试线一端接触一静电支线，另一测试线端接触另一静电支线金属线部位，读取 电阻值。 3）测试完关闭万用表开关。 4）各部门测试人员需将测试数据记录于
7、【静电线阻抗测试记录表】并保存，测试结果如大于4， 各部门自行负责进行检修 5.2.3 测量结果记录于检验报告中，测试结果如判定合格，需在被测物上贴上测试合格标签，并注明测 试有效期限，如测试后判定不合格，由各部门负责进行检修或按更换，修理或更换后需经再测试 合格后方可投入使用。 5.3 静电服 / 帽子/ 手套表面阻抗测试： 5.3.1 各部门负责静电服和帽子之表面阻抗测量，测试设备使用重锤测试仪，被测件需放于绝缘台上， 绝缘台的表面电阻和体积电阻均要大于1*10 13，要有足够的尺寸，点对点测量至少要测量 3个不 同位置的值，且两锤之间的间距不小于300mm ，点对点表面阻抗测量是指内表面
8、和外表面之间的 电阻，测试方法与步骤如下： 1）准备工作： 被测试静电服 / 帽子应预先洗净。 洗涤后的静电服帽， 在6010温度下干燥 1h后， 测试静电支线导通测试 万用表两侧头测试置位置 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 4 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 以模拟穿用状态（正面朝外，扣上纽扣、拉锁），在常温下静置24h。 2）将两重锤与测试仪用配套之测试线连接后，分别将重锤测试仪两锤放置于静电服内表面和外 表面上（如下图），连接两个电极的轴线应与服装纤维的轴线方向不同。 3）将重锤测试仪测试档打到
9、“100V” 档位，按住红色按钮“TEST ”键并保持开始测试，直至有 读数显示后方可松开按键并读数。 4）静电服帽表面阻抗电阻规格为1*10 61*1011。 5）测试结束后即将测试值记录于【静电服/ 帽阻抗测试记录表】上，并注明测试日期，各部门负 责记录之保存。 重锤测试仪 接缝 电极1 A BD E 电极2 C 测试静电服表面阻抗 重锤测试仪两重锤放置位置 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 5 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 重锤测试 仪 电极 1 防静电工作台 导静电地脚螺栓 导静电地面 导电薄
10、片材料 电极 2 6）测试频率及检验样本要求：每三个月需对全厂人员抽测一次，抽检样本为总人数的5% ，新购服 装需进行抽测合格后再发放各单位人员。 7）测试不合格静电服帽需要求淘汰更换新的合格静电服帽。 5.4 周转车 / 料架、工作台与静电地板导通状况测试： 5.4.1 各部门负责周转车、料架及工作台对防静电地板之阻抗测试，测试设备使用重锤测试仪，测试方 法与步骤如下： 1）将重锤测试仪一端垫一块导电薄片材料，使其与防静电地板充分紧密接触； 2） 将两重锤与测试仪用配套之测试线连接后，分别将重锤测试仪两锤放置于导电薄片材料和周转 车、料架、工作台表面上（如上图），有铺防静电皮之工作台或台车，
11、需将置于台面的一重锤 放置于静电皮上； 电极1 重锤测试仪 导电薄片材料 电极2 重锤测试仪 测试电极 腕带插孔 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 6 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 3）将重锤测试仪测试档打到“100V” 档位，按住红色按钮“TEST ”键并保持开始测试，直至有 读数显示后方可松开按键，显示值如为“7.5 E 8 ”，则其读数以及周转车、料架车、工作台 对地板电阻表示为“7.5*10 8”； 4） 测试时双手不可接触重锤测试仪背面两电极，或是将重锤测试仪仪表部分置于绝缘体上进行测 试。
12、 5）周转车、料架车、工作台对地板电阻规格为1*10 41*109。 6）测试结束后即将测试值记录于【台车阻抗测试记录表】上，并注明测试日期，各部门负责记录 之保存。 7）测试频率及检验样本要求：每周需测试一次，静电防护区域场所周转车、料架车、工作台对地 板电阻需全部进行检测，新购入之工作台/ 车需测试合格后才可验收投入使用。 8）测试后如判定合格， 需在被测物上贴上测试合格标签，并注明测试有效期限，如测试后判定不 合格，由各部门人员对其进行作相关标识要求停止使用，并负责进行检修， 修理后需经再测试 合格后方可投入使用。 5.5 流水线 ( 传送带对地电阻 / 流水线体接地 ) 5.4.1 传
13、送带对地电阻 : 使用重锤式表面阻抗测试仪，一重锤放置于待测之传送带上，另一重锤放置 于静电地板上进行测试。其范围：1*10 41*109。各部门测试人员需将测试数据记录于相应表 单并保存，测试结果如不在此范围内，各部门负责对此流水线进行检修，在检修后需重新确认。 测试传送带对地电阻 重锤测试仪两重锤放置位置 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 7 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 5.4.2 流水线体接地电阻测试：使用万用表进行测试，测试方法与步骤如下： 1）打开万用表开关，将测试档位调整到“200”档；
14、 2）将万用表的测试线一端接触流水线体金属部位，另一测试线端接触电源插座接地端，即可读 取接地阻抗值。 3）测试完关闭万用表开关。 4）各部门测试人员需将测试数据记录于相应表单并保存，测试结果如大于1，各部门负责对此 流水线进行检修，在检修后需重新确认。 5.6 电烙铁 / 电动起子接地电阻测试： 5.6.1各部门每天负责电烙铁接地电阻测试，并记录与保存相关测试记录。使用万用表进行测试，测试 方法与步骤如下图： 1）打开万用表开关，将测试档位调整到“200”档； 2）将万用表的测试线一端接触烙铁头，另一测试线端接触烙铁插头的接地端，即可读取烙铁的 接地阻抗值。 3）测试完关闭万用表开关。 5.
15、6.2 各部门每周一次负责电动起子接地电阻测试，并记录与保存相关测试记录。使用万用表进行测 试，测试方法与步骤如下： 1）打开万用表开关，将测试档位调整到“200”档； 2）将万用表的测试线一端电动起子头，另一测试线端接触电动起子插头的接地端，即可读取电动 起子的接地阻抗值。 3）测试完关闭万用表开关。 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 8 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 5.6.3 电烙铁 / 电动起子接地电阻测试结束后，各部门测试人员需将测试数据记录于【漏电电阻测试】 并 保存，测试结果如大于20，
16、各部门负责对此设备进行维修。 5.7 防静电地板接地电阻、表面阻抗测试与摩擦起电电压测试： 5.7.1 总务课负责防静电地板接地电阻测试，使用重锤测试仪进行测试，每个静电防护区域之防静电地 板均需作检测，测试点应随机取样，测试方法与步骤如下： 1）将重锤测试仪一根测试线连接一个重锤后放置于待测静电地板表面，另一测试线端使用夹子夹 在ESD 静电主线裸线上。 2）将测试仪开关打到“10V ”档，按下红色按钮并保持开始测试，直至有读数显示后方可松开按 键，读其液晶显示屏读数，显示值如为“7.5 E 8 ”，则其读数表示为7.5*10 8。 3）测试时双手不可接触重锤测试仪背面两电极，或是将重锤测试
17、仪置于绝缘体上进行测试。 4）防静电地板对地电阻规格为小于1*10 9，测试频率为每三个月测试一次。 5）测试结果如果超出规格，厂务课需负责检查防静电地板与地板下铜带结束是否良好，综合防静 电地板表面阻抗值等测试数据分析其原因，并采取相应改善措施。 6）厂务课负责将测试数据记录在【接地电阻测试记录表】上并保存。 5.7.2 总务课负责防静电地板表面阻抗测试，使用重锤测试仪进行测试，测试方法与步骤如下： 1）两重锤与测试仪用配套之测试线连接后，将两重锤分别放置于静电地板表面，测试点距地板的 边缘不得小于 100mm ，且两重锤相距 9001000mm 距离（如下左图所示）。 测试电极 R 防静电
18、铺设地面 100VDC兆欧表 50 2kg 0.9 1m 测试电烙铁接地电阻 万用表两测试头放置位置 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 9 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 2）将重锤测试仪开关打到“10V” 档，按住红色按钮“TEST ”键并保持开始测试，直至有读数显 示后方可松开按键，显示值如为“7.5 E 8 ”，则其读数以及地板表面电阻表示为7.5*10 8。 3）测试时双手不可接触重锤测试仪背面两电极，或是将重锤测试仪置于绝缘体上进行测试。 4）测试时每 4m 2随机抽取 5点并取中心对四角 4
19、次测试结果的平均值(如上右图所示 )，并将测试结 果记录于【静电地板阻抗测试记录表】上。 5）防静电地板表面阻抗规格为1*10 41*109，测试频率为每 6个月测试一次。 6）测试结果如果超出规格，采用防静电地板蜡进行打蜡抛光。 5.7.3 总务课负责防静电地板摩擦起电电压测试，使用静电压测试仪进行测试，测试方法与步骤如下： 1）将静电压测试仪接地线接地连接； 2）用绝缘体匀速地在待测地板上来回摩擦至少10次； 3）打开电源开关（按“ POWER”键），按“IB”键将单位转换为“V”，按“ ZERO ”键清零，用带 有激光摄像头面垂直于被测试地板表面，测试摩擦位置表面静电压； 4）测试距离
20、25mm ，当两个激光摄像头光源重合在一起时即可读取数值； 5）测试时如不方便读数，可按一下“HOLD ”键，锁定显示屏方便读数； 6）设备测试工程师负责填写测试记录并保存； 7）防静电地板摩擦起电电压标准为小于100V，测试结果如果超出规格，由总务课采取相应措施。 8）防静电地板测试频率为每6个月测试一次。 9 ）测试结果记录于【静电地板阻抗测试记录表】上并保存。 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 10 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 5.8 离子风扇之离子平衡度和静电消散时间测试： 5.8.1 各部
21、门负责离子风扇之离子平衡度和静电消散时间的测试，或每三个月申请委托供应商测试一次， 测试方法依供应商测试作业规定； 开启离子风扇后， 将静电压测试仪安装测试极板距离风扇介于30cm 50cm 处清零后进行测试， 待读 值稳定后读数 5.8.2 离子风扇之离子平衡度要求小于50V，静电消散时间从1000伏下降到 100伏的时间要求小于5秒； 5.8.3 测试结束后，要求供应商出具记录相应结果数据之离子风扇报告； 5.8.4 测试后如判定合格，需在设备上贴上测试合格标签，并注明测试有效期限，如测试后判定不合格， 由各部门人员对设备进行作相关标识要求停止使用，并负责委外修理或申请报废，修理后之设备
22、需经再测试合格后方可投入使用； 5.8.5 各部门负责相关记录之保存。 5.10 静电环释放能力 / 保护电阻阻值测试 5.10.1 各静电防护区域部门主管负责进入本区域需要佩戴静电环作业人员的测试点检，要求进入EPA 时 必须点检静电环，测试合格后方可进入EPA 现场。 1）测试方法及步骤依静电环点检作业指导书文件规定进行，进入EPA 现场佩戴静电环之人员，每 天至少一次需将测试结果记录于【静电环点检记录表】上，或签上姓名以示检测合格。 2) 测试不合格则要求佩戴人员进行更换新的静电环。 5.10.2 静电环保护电阻阻值：将万用表测试档位调整到“K”档，万用表的测试线一端接触静电手 环腕带金
23、属部位，另一测试线端接触香蕉插头金属部位，读取电阻值。 其值范围： 0.8*10 51.2*106 5.10.3 各部门负责发放相关记录表单至各EPA 区域并定期收集测试记录予以保存 5.11 静电鞋对地电阻/ 静电鞋人体综合电阻点检测试： 5.11.1 使用重锤式表面阻抗测试仪测试静电鞋对地电阻，将待测静电鞋放置于静电地板上，一重锤放 置于静电鞋内，另一重锤放置于静电地板上进行测试。 5.11.2 各静电防护区域部门主管负责进入本区域人员的测试点检，要求进入EPA 前的所有人员必须进行 人体综合电阻测试，测试合格后方可进入EPA 现场。 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编
24、 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 11 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 5.11.3 测试方法及步骤依人体综合电阻测试操作规范文件规定进行，进入EPA 现场人员，每天至少 一次需将测试结果记录于相应表单上，或签上姓名以示检测合格。 5.11.4 测试不合格则要求所测试人员进行清洗更或换新的静电鞋。 5.11.5 静电鞋对地电阻范围：1*10 51*108； 5.11.6 各部门负责发放相关记录表单至各EPA 区域并定期收集测试记录予以保存。 5.12 生产 / 检测设备外壳接地阻抗 5.12.1 各部门负责生产 / 检测设备外壳接地阻抗测试，测试方法如下图
25、： 将万用表测试档位调整到“200”档，万用表的测试线一端接触设备外壳金属部位，另一测试线端 接触电源插座接地端，读取接地阻抗值。测试结果如大于1，各部门负责对此设备进行维。 5.13备主接地线与接地桩对地电阻测试： 5.13.1 总务课负责定期对设备主接地线与接地桩的对地电阻测试，并保存相关测试记录，操作方法与 作业步骤依接地系统操作规范文件规定作业。 测试生产 / 检测设备外壳接地阻抗 万用表两测试头放置位置 测试静电鞋对地电阻 重锤测试仪两锤放置位置 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 12 - 页 共 13 页生 效 日
26、 期: 2012-9-1 5.13.2 测试频率：设备主接地线测试每个月测试一次，接地桩对地电阻测试每个月测试一次。 5.13.3 如厂区出现漏电现象或线路改造，需及时进行测试，并相应增加测试频率。 5.14 静电材料盒静电消散能力: 5.14.1使用重锤式表面阻抗测试仪，将静电盒放置于静电桌面或地板上，一重锤式放置于静电盒内， 另一重锤放置于桌面或者地板上进行测试, 两锤间距不小于 300mm,其范围为 :1*10 41*1011 5.14.2 各部门将检测结果记录于检测表上. 5.15 静电箱表面阻抗测试： 5.15.1 使用重锤式表面阻抗测试仪, 沿静电箱子外侧面对角线将两重锤分别放置于
27、连接线所能构成 之最大距离点上进行测试。1*10 41*1011 5.15.2 由总务课每周负责对所有静电箱测试，检测结果记录于检测表上. 5.16 防静电毛刷、防静电镊子测试： 将表放在被测表面上，按住红色的测量（TEST）按钮，持续发亮的发光二极管（LED ）即指示出测 量的表面阻抗量级 防静电毛刷（直柄刷）阻抗范围是1*10 6-108，防静电镊子阻抗范围是 1*10 6-1*1011 5.17 工装具的使用 操作现场所有必须使用的不具备防静电功能的工具、夹具、设备仪器，都应放在防静电桌(台)垫上。 6.0 附则： 本程序经呈部门最高主管核准后，自发行日起实施之，修改时亦同。 7.0 附表: 测试静电材料盒静电消散能力 重锤测试仪两锤放置位置 程序文件：静电接地系统操作规范 版 本：A 文 件 编 号: XA/QWI/7.5.3/14 第 - 13 - 页 共 13 页生 效 日 期: 2012-9-1 8.0 参考文件： 8.1 静电环点检作业指导书 8.2 人体综合电阻测试操作规范 8.3 接地系统操作规范